[0001] Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung zur Wärmebehandlung eines Werkstücks, insbesondere
zum Sintern, mit einem Induktionsofen, in dem das Werkstück und ggf. Additive - direkt
oder indirekt - induktiv erwärmbar sind.
[0002] Vorrichtungen der in Rede stehenden Art sind seit Jahren aus der Praxis bekannt und
werden insbesondere bei der Herstellung von keramischen Werkstücken, beispielsweise
von Bremsscheiben, eingesetzt. Dabei werden zunächst verschiedene Rohstoffe, bedarfsweise
unter Zugabe von Bindemitteln, miteinander vermischt und beispielsweise durch Verpressen
in die gewünschte Form gebracht. Dieser sogenannte Grünling wird bei relativ geringer
Temperatur einer Wärmebehandlung - dem Entbindern - unterzogen, um zumindest teilweise
Bindemittel aus dem Grünling freizusetzen. Dieser Vorgang wird auch als Pyrolyse bezeichnet.
[0003] Nach der Entbinderung erfolgt die eigentliche Sinterung, bei der das Werkstück in
einem Ofen bei hohen Temperaturen wärmebehandelt wird. Dabei laufen Diffusionsvorgänge
zwischen den einzelnen Rohstoffpartikeln in fester und teilweise auch flüssiger Phase
ab, wodurch die Porosität des Werkstücks verringert und die Festigkeit erhöht wird.
Des Weiteren ist bekannt, das Werkstück in dem Ofen auf eine Schüttung aus einem Additiv,
beispielsweise einem Infiltrationsmaterial wie Silizium, zu legen. Bei entsprechender
Temperatur schmilzt das Infiltrationsmaterial und infiltriert in die Poren des Werkstücks,
so dass das Werkstück die gewünschten Materialeigenschaften erhält. Diese Prozesse
müssen in einer besonderen Gasatmosphäre und/oder bei einem Druck unterhalb des Atmosphärendrucks
erfolgen. Nach der Wärmebehandlung muss das Werkstück abgekühlt werden, was aufgrund
der extremen Temperaturen sehr zeitintensiv ist.
[0004] Aus der Praxis sind zwei verschiedene Typen von Induktionsöfen vorbekannt, der Durchlaufofen
und der Batch-Ofen. Bei einem Durchlaufofen werden die Werkstücke kontinuierlich durch
einen Ofen transportiert, wobei der Ofen unterschiedliche Temperaturzonen aufweist.
Bei dieser Art von Öfen ist nachteilig, dass die Erzeugung einer geeigneten Gasatmosphäre
und der benötigten Temperatur aufgrund der Größe eines Durchlaufofens nur mit großem
konstruktivem Aufwand und unter erheblicher Energieaufwendung möglich ist.
[0005] Bei einem Batch-Ofen, wie er beispielsweise aus der
WO 2007/063562 A1 bekannt ist, wird das Werkstück auf einer Schüttung aus Silizium in den Ofen eingebracht
und in dem Ofen ein Unterdruck erzeugt. Wenn die benötigte Atmosphäre erzeugt ist,
wird das Werkstück und das Silizium über eine Induktionsspule erhitzt, so dass das
Silizium schmilzt und in das Werkstück infiltriert. Nachdem die Infiltration abgeschlossen
ist, wird der gesamte Ofen und somit das Werkstück abgekühlt, das Ofeninnere auf Atmosphärendruck
gebracht und das fertige Werkstück ausgegeben. Dabei ist nachteilig, dass die Bearbeitung
eines Werkstücks sehr viel Zeit in Anspruch nimmt, da zunächst ein Unterdruck erzeugt,
dann der Ofen erhitzt, danach der Ofen abgekühlt und schließlich auf Atmosphärendruck
gebracht werden muss. Daher ist der Durchsatz bei dieser Vorrichtung nicht sehr groß,
auch wenn mehrere Werkstücke gleichzeitig in den Ofen eingebracht werden. Des Weiteren
ist nachteilig, dass bei der Wärmebehandlung sehr viel Energie aufgebracht werden
muss, um das Werkstück und die Schüttung auf die benötigte Temperatur zu erhitzen.
[0006] Der vorliegenden Erfindung liegt daher die Aufgabe zugrunde, eine Vorrichtung zur
Wärmebehandlung eines Werkstücks der eingangs genannten Art derart auszugestalten
und weiterzubilden, dass mit einfachen konstruktiven Mitteln und mit geringem energetischen
Aufwand bei erhöhtem Durchsatz eine sichere und zuverlässige Wärmebehandlung gewährleistet
ist.
[0007] Erfindungsgemäß wird die voranstehende Aufgabe durch die Merkmale des Patentanspruches
1 gelöst. Danach ist die in Rede stehende Vorrichtung dadurch gekennzeichnet, dass
der Induktionsofen als Heizmodul ausgebildet ist und dass dem Heizmodul unmittelbar
oder mittelbar ein Einschleusemodul zum Einbringen des Werkstücks vorgeschaltet und
ein Kühlmodul zum Abkühlen des Werkstücks nachgeschaltet sind.
[0008] In erfindungsgemäßer Weise ist zunächst erkannt worden, dass die zugrunde liegende
Aufgabe durch eine modulare Bauweise der Vorrichtung in verblüffend einfacher Weise
gelöst werden kann. Im Konkreten ist der Induktionsofen dazu als Heizmodul ausgebildet,
in dem die eigentliche Wärmebehandlung des Werkstücks stattfindet. Die Beschickung
der Vorrichtung mit dem Werkstück erfolgt über das Einschleusemodul, das dem Heizmodul
unmittelbar oder mittelbar vorgeschaltet ist. Nach der Wärmebehandlung ist das Werkstück
in dem dem Heizmodul nachgeschalteten Kühlmodul abkühlbar. Durch den modularen Aufbau
muss der Induktionsofen nach der Wärmebehandlung nicht mehr abgekühlt werden, um das
Werkstück zu kühlen. Der Kühlvorgang findet vom Heizmodul entkoppelt in dem Kühlmodul
statt, so dass die Prozesswärme der Wärmebehandlung vorhergehender Werkstücke in dem
Heizmodul nutzbar bleibt. Dadurch verringert sich die für die Wärmebehandlung notwendige
Energie um ein Vielfaches. Direkt nachdem das wärmebehandelte Werkstück aus dem Heizmodul
entfernt und dem Kühlmodul übergeben ist, ist unmittelbar oder mittelbar aus dem Einschleusemodul
ein neues Werkstück in das Heizmodul einbringbar. Dies führt zu einem äußerst hohen
Durchsatz der Vorrichtung, was beispielsweise bei der Herstellung von Bremsscheiben
von besonderem Interesse ist.
[0009] An dieser Stelle sei darauf hingewiesen, dass unter dem Begriff Wärmebehandlung die
Sinterung eines Werkstücks und/oder die Infiltration eines Werkstücks oder jeder andere
Prozess zu verstehen ist, bei dem ein Werkstück hohen Temperaturen ausgesetzt ist.
Des Weiteren ist wesentlich, dass es sich um ein beliebiges Werkstück, beispielsweise
einen Grünling, handeln kann, wobei das Werkstück als solches oder zusammen mit jedweden
Additiven, beispielsweise Infiltrationsmaterial wie Silizium, erwärmbar ist. Im Folgenden
sei zur Vereinfachung von einem Werkstück die Rede, wobei hierunter auch ein ggf.
vorhandenes Additiv verstanden sein soll.
[0010] Um eine indirekte Erwärmung des Werkstücks zu gewährleisten, kann das Heizmodul mindestens
eine Induktionsspule aufweisen, durch die eine Heizplatte induktiv erwärmbar ist.
Bei der Heizplatte kann es sich beispielsweise um eine Graphitplatte oder eine Platte
aus einem beliebigen anderen Stoff handeln, in dem durch die Induktionsspule Wirbelströme
erzeugbar sind. Das Feld der Induktionsspule muss somit nicht in das Werkstück, sondern
lediglich in die Heizplatte eindringen, so dass das Werkstück unmittelbar durch die
Heizplatte und somit nur mittelbar durch die Induktionsspule erwärmbar ist.
[0011] In besonders vorteilhafter Weise kann das Heizmodul einen verfahrbaren Teller aufweisen,
auf dem das Werkstück aufliegt. Dabei kann der Teller beispielsweise vertikal verfahrbar
sein und so das Werkstück von einer von der Induktionsspule oder der Heizplatte entfernten
Beladeposition in eine der Induktionsspule oder der Heizplatte nahen Bearbeitungsposition
verbringbar sein.
[0012] Zur Gewährleistung einer optimalen Funktionsweise des Heizmoduls kann dieses evakuierbar
oder mit Gas spülbar sein. Ergänzend oder alternativ dazu kann in dem Heizmodul eine
besondere Gasatmosphäre, beispielsweise aus einem Schutzgas, erzeugbar sein. Wesentlich
ist lediglich, dass in dem Heizmodul eine dem Prozess entsprechend benötigte Atmosphäre
erzeugbar ist. In weiter vorteilhafter Weise ist in dem Einschleusemodul eine Atmosphäre
erzeugbar, die zumindest weitgehend der in dem Heizmodul herrschenden Atmosphäre entspricht.
[0013] Um eine kontrollierte Abkühlung des Werkstücks zu erreichen, ist es von Vorteil,
wenn das Kühlmodul mit Gas, beispielsweise mit einem Schutzgas, beaufschlagbar ist.
Des Weiteren ist denkbar, dass in dem Kühlmodul zumindest weitgehend die gleiche Atmosphäre
erzeugbar ist wie in dem Heizmodul. Zur optimalen Abkühlung des Werkstücks ist ferner
denkbar, dass das Kühlmodul einen - vorzugweise vertikal - verfahrbaren Teller aufweist,
auf dem das Werkstück aufliegt, wobei der Teller zum Verbringen des Werkstücks von
einer von einer Gasaustrittstelle entfernten Beladeposition in eine einer Gasaustrittsstelle
nahen Kühlposition verbringbar ist. Das Werkstück ist somit in unmittelbare Nähe eines
in das Kühlmodul einströmenden Kühlgases verbringbar.
[0014] Zur weiteren Maximierung des Durchsatzes können mehrere Kühlmodule vorgesehen sein.
Dies können beispielsweise parallel oder hintereinander angeordnet und dem Heizmodul
nachgeschaltet sein. Insbesondere wenn die Abkühlung des Werkstücks nach der Wärmebehandlung
länger dauert als die Wärmebehandlung als solche, ist die Taktrate bzw. der Durchsatz
der gesamten Vorrichtung durch mehrere Kühlmodule optimiert.
[0015] Im Hinblick auf eine optimale Nutzung der Prozesswärme ist es denkbar, ein Entbinderungsmodul
zum Ausgasen bzw. Pyrolysieren von Verfestigungs- oder Bindemittel aus dem Werkstück
vorzusehen. Im Konkreten kann das Entbinderungsmodul zwischen dem Einschleusemodul
und dem Heizmodul vorgesehen sein. Dadurch kann die bei der Entbinderung aufgebrachte
Wärmeenergie auch von dem nachgeschalteten Heizmodul genutzt werden, so dass die Energieeffizienz
der gesamten Vorrichtung optimiert ist.
[0016] In weiter vorteilhafter Weise kann ein Zugabemodul zur Zugabe von Additiven, beispielsweise
Infiltrationsmaterial wie Silizium, zu dem Werkstück vorgesehen sein. Generell ist
es denkbar, beliebige weitere Module dem Einschleusemodul und/oder dem Heizmodul und/oder
dem Kühlmodul vor- oder nachzuschalten. Die Module können den verschiedensten Zwecken
dienen. Des Weiteren kann die Größe bzw. die Länge eines jeden der beschriebenen Module
den Anforderungen entsprechend angepasst sein.
[0017] Von besonderem Vorteil ist es, wenn zueinander benachbarte Module, wie z.B. das Einschleusemodul
und das Heizmodul und/oder das Heizmodul und das Kühlmodul, durch Schleusen voneinander
getrennt sind. Die Schleusen sind vorzugsweise vakuumdicht ausgeführt, wobei der Begriff
Vakuum hier relativ und nicht im physikalischen Sinne zu verstehen ist. Die Schleusen
sollen eine Abdichtung zwischen den einzelnen Modulen ermöglichen, so dass in den
Modulen - zumindest weitgehend - eine beliebige Atmosphäre erzeugbar sein kann. Des
Weiteren können benachbarte Module über einen Flansch miteinander verbunden sein.
Somit ist eine Anpassung der Vorrichtung durch einen Austausch oder eine andere Anordnung
der Module jederzeit und ohne großen Aufwand möglich. Die Vorrichtung ist dadurch
in idealer Weise an unterschiedliche Werkstücke bzw. Wärmebehandlungen anpassbar.
[0018] Zur Förderung des Werkstücks von einem Modul zum anderen, beispielsweise von dem
Einschleusemodul in das Heizmodul und/oder von dem Heizmodul in das Kühlmodul, kann
mindestens eine Schiebereinrichtung vorgesehen sein.
[0019] Um eine möglichst variable und an die Räumlichkeiten anpassbare Vorrichtung zu realisieren,
können die Module derart ausgeführt sein, dass sie in einem beliebigen Winkel zueinander
anordenbar sind.
[0020] Es gibt nun verschiedene Möglichkeiten, die Lehre der vorliegenden Erfindung in vorteilhafter
Weise auszugestalten und weiterzubilden. Dazu ist einerseits auf die dem Patentanspruch
1 nachgeordneten Patentansprüche und andererseits auf die nachfolgende Erläuterung
eines bevorzugten Ausführungsbeispiels der Erfindung anhand der Zeichnung zu verweisen.
In Verbindung mit der Erläuterung des bevorzugten Ausführungsbeispiels der Erfindung
anhand der Zeichnung werden auch im Allgemeinen bevorzugte Ausgestaltungen und Weiterbildungen
der Lehre erläutert. In der Zeichnung zeigen
- Fig. 1
- in einer schematischen Darstellung eine perspektivische Ansicht eines bevorzugten
Ausführungsbeispiels einer erfindungsgemäßen Vorrichtung,
- Fig. 2
- in einer schematischen Darstellung eine Draufsicht der erfindungsgemäßen Vorrichtung
nach Fig. 1,
- Fig. 3
- in einer schematischen Darstellung eine erste Seitenansicht der erfindungsgemäßen
Vorrichtung nach Fig. 1,
- Fig. 4
- in einer schematischen Darstellung eine zweite Seitenansicht der erfindungsgemäßen
Vorrichtung nach Fig. 1,
- Fig. 5
- in einer schematischen Darstellung das Heizmodul der erfindungsgemäßen Vorrichtung
nach Fig. 1,
- Fig. 6
- in einer schematischen Darstellung einen Schnitt durch einen Teil des Heizmoduls der
erfindungsgemäßen Vorrichtung nach Fig. 1.
[0021] Fig. 1 zeigt ein Ausführungsbeispiel einer erfindungsgemäßen Vorrichtung. Die Vorrichtung
weist ein Heizmodul 1 auf, dem ein Einschleusemodul 2 vorgeschaltet und ein Kühlmodul
3 nachgeschaltet ist. Das Einschleusemodul 2 dient zur Aufnahme des zu bearbeitenden
Werkstücks. Nachdem das Werkstück in das Einschleusemodul 2 aufgenommen ist, erfolgt
in dem Einschleusemodul 2 ein Atmosphärenaustausch bzw. die Angleichung an die Atmosphäre
des Heizmoduls 1 und das Werkstück wird in das Heizmodul 1 verbracht. In dem Heizmodul
1 ist das Werkstück und ggf. Additive bei gewünschter Atmosphäre indirekt induktiv
erhitzbar. Nachdem die Wärmebehandlung des Werkstücks in dem Heizmodul 1 bei gewünschter
Temperatur erfolgt ist, wird es in das Kühlmodul 3 verbracht. In dem Kühlmodul 3 ist
das Werkstück kontrolliert abkühlbar, mitunter durch Zugabe eines Gases. Hat das Werkstück
die gewünschte Temperatur erreicht, wird es aus dem Kühlmodul 3 entnommen.
[0022] Das Einschleusemodul 2 und das Heizmodul 1 sowie das Heizmodul 1 und das Kühlmodul
3 sind jeweils über einen Flansch 4 miteinander verbunden. Des Weiteren sind zwischen
dem Einschleusemodul 2 und dem Heizmodul 1 sowie zwischen dem Heizmodul 1 und dem
Kühlmodul 3 Schleusen 5 vorgesehen. Das Einschleusemodul 2 weist eine weitere Schleuse
5 auf, durch die das Werkstück in das Einschleusemodul 2 einbringbar ist. Am Kühlmodul
3 ist eine weitere Schleuse 5 vorgesehen, aus der das Werkstück ausgebbar ist.
[0023] Die Schleusen 5 dichten das Einschleusemodul 2, das Heizmodul 1 und das Kühlmodul
3 derart gegeneinander bzw. gegenüber der Atmosphäre ab, dass in dem Einschleusemodul
2, dem Heizmodul 1 und dem Kühlmodul 3 die für die Wärmebehandlung nötige Atmosphäre
erzeugbar ist. Ferner dienen die Schleusen 5 dazu, das Heizmodul 1 thermisch gegenüber
dem Einschleusemodul 2 und dem Kühlmodul 3 zu isolieren, so dass die Prozesswärme
der Wärmebehandlung vorhergehender Werkstücke in dem Heizmodul 1 nicht verloren geht.
Im Konkreten verhindern die Schleusen 5, dass das Heizmodul 1 zwischen der Ausgabe
eines bearbeiteten Werkstücks und der Aufnahme eines unbearbeiteten Werkstücks möglichst
wenig abkühlt.
[0024] Fig. 2 zeigt die erfindungsgemäße Vorrichtung aus Fig. 1 in einer Draufsicht. Dabei
ist deutlich zu erkennen, dass das Einschleusemodul 2 und das Kühlmodul 3 über die
Flansche 4 in einem rechten Winkel an dem Heizmodul 1 angeordnet sind. Das Einschleusemodul
2 und das Kühlmodul 3 können auch in einem beliebigen anderen Winkel zueinander mit
dem Heizmodul 1 verbunden sein, so dass sich beispielsweise eine lineare Förderstrecke
für das Werkstück ergibt. Die Vorrichtung ist dadurch in idealer Weise an beliebige
Räumlichkeiten anpassbar.
[0025] Das Werkstück ist über Schieber 6 von dem Einschleusemodul 2 in das Heizmodul 1 bzw.
von dem Heizmodul 1 in das Kühlmodul 3 verschiebbar. Die Schieber 6 sind hier jeweils
um 90° versetzt zum Eingang des Einschleusemoduls 2, des Heizmoduls 1 und des Kühlmoduls
3 angeordnet.
[0026] Die Fig. 3 und 4 zeigen das Ausführungsbeispiel aus Fig. 1 in unterschiedlichen Seitenansichten.
In Fig. 3 ist gezeigt, dass das Kühlmodul 3 eine Hubeinrichtung 7 aufweist, um einen
nicht dargestellten Teller, auf dem das Werkstück aufliegt, vertikal zu verfahren.
Das Werkstück ist durch die Hubeinrichtung 7 von einer Beladeposition in eine Abkühlposition
verbringbar. Zur Vermeidung von Wiederholungen sei des Weiteren auf die Ausführungen
zu den Fig. 1 bis 3 verwiesen.
[0027] Fig. 5 zeigt das Heizmodul 1 der erfindungsgemäßen Vorrichtung nach Fig. 1. An dem
Heizmodul 1 ist eine Hubeinrichtung 7 angeordnet, um einen nicht dargestellten Teller,
auf dem das Werkstück aufliegt, von einer Beladeposition in eine Bearbeitungsposition
zu verbringen. Zur Vermeidung von Wiederholungen sei des Weiteren auf die Ausführungen
zu den Fig. 1 bis 4 verwiesen.
[0028] In Fig. 6 ist in einer schematischen Ansicht ein Schnitt durch einen Teil des Heizmodul
1 der erfindungsgemäßen Vorrichtung nach Fig. 1 gezeigt. Das Heizmodul 1 weist eine
oben liegende Induktionsspule 8 auf. Bei Aktivierung der Induktionsspule 8 induziert
diese Wirbelströme in der Heizplatte 9, so dass sich die Heizplatte 9 erwärmt. Die
Heizplatte 9 ist beispielsweise als Graphitplatte ausgebildet. Durch die Heizplatte
9 ist das Werkstück erhitzbar, welches sich - ggf. mit Additiven wie z.B. Silizium
- in dem Tiegel 10 befindet. Das von der Induktionsspule 8 erzeugte Magnetfeld koppelt
bei dieser Ausführungsform kaum in das Werkstück, sondern fast ausschließlich in die
Heizplatte 9 ein.
[0029] Um das Werkstück näher an die Heizplatte 9 heranzuführen, ist ein Teller vorgesehen,
auf dem das Werkstück aufliegt. Durch den Teller ist der Tiegel 10 und somit das Werkstück
von einer von der Induktionsspule 8 bzw. der Heizplatte 9 entfernten Beladeposition
in eine der Induktionsspule 8 bzw. der Heizplatte 9 nahen Bearbeitungsposition verbringbar.
[0030] Hinsichtlich weiterer vorteilhafter Ausgestaltungen der erfindungsgemäßen Vorrichtung
wird zur Vermeidung von Wiederholungen auf den allgemeinen Teil der Beschreibung sowie
auf die beigefügten Patentansprüche verwiesen.
[0031] Schließlich sei ausdrücklich darauf hingewiesen, dass das voranstehend beschriebene
Ausführungsbeispiel der erfindungsgemäßen Vorrichtung lediglich zur Erörterung der
beanspruchten Lehre dient, diese jedoch nicht auf das Ausführungsbeispiel einschränkt.
Bezugszeichenliste
1 |
Heizmodul |
2 |
Einschleusemodul |
3 |
Kühlmodul |
4 |
Flansch |
5 |
Schleuse |
6 |
Schieber |
7 |
Hubeinrichtung |
8 |
Induktionsspule |
9 |
Heizplatte |
10 |
Tiegel |
1. Vorrichtung zur Wärmebehandlung eines Werkstücks, insbesondere zum Sintern, mit einem
Induktionsofen, in dem das Werkstück und ggf. Additive - direkt oder indirekt - induktiv
erwärmbar sind,
dadurch gekennzeichnet, dass der Induktionsofen als Heizmodul (1) ausgebildet ist und dass dem Heizmodul (1) unmittelbar
oder mittelbar ein Einschleusemodul (2) zum Einbringen des Werkstücks vorgeschaltet
und ein Kühlmodul (3) zum Abkühlen des Werkstücks nachgeschaltet sind.
2. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass das Heizmodul (1) mindestens eine Induktionsspule (8) aufweist, durch die eine Heizplatte
(9), insbesondere eine Graphitplatte, induktiv erwärmbar ist.
3. Vorrichtung nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, dass das Heizmodul (1) einen - vorzugweise vertikal - verfahrbaren Teller aufweist, auf
dem das Werkstück aufliegt, wobei der Teller zum Verbringen des Werkstücks von einer
von der Induktionsspule (8) oder der Heizplatte (9) entfernten Beladeposition in eine
der Induktionsspule (8) oder der Heizplatte (9) nahen Bearbeitungsposition verbringbar
ist.
4. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, dass das Heizmodul (1) evakuierbar, mit Gas spülbar und/oder in dem Heizmodul (1) eine
besondere Gasatmosphäre, beispielsweise aus einem Schutzgas, erzeugbar ist.
5. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 4, dadurch gekennzeichnet, dass in dem Einschleusemodul (2) eine Atmosphäre erzeugbar ist, die zumindest weitgehend
der in dem Heizmodul (1) herrschenden Atmosphäre entspricht.
6. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 5, dadurch gekennzeichnet, dass das Kühlmodul (3) mit Gas, beispielsweise mit einem Schutzgas, beaufschlagbar ist,
um das Werkstück kontrolliert abzukühlen und/oder dass das Kühlmodul (3) einen - vorzugweise
vertikal - verfahrbaren Teller aufweist, auf dem das Werkstück aufliegt, wobei der
Teller zum Verbringen des Werkstücks von einer von einer Gasaustrittstelle entfernten
Beladeposition in eine einer Gasaustrittsstelle nahen Kühlposition verbringbar ist.
7. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 6, dadurch gekennzeichnet, dass mehrere Kühlmodule (3) parallel oder hintereinander angeordnet sind.
8. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 7, dadurch gekennzeichnet, dass ein Entbinderungsmodul zum Ausgasen bzw. Pyrolysieren von Verfestigungs-oder Bindemittel
aus dem Werkstück vorgesehen ist.
9. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 8, dadurch gekennzeichnet, dass ein Zugabemodul zur Zugabe von Additiven, beispielsweise von Silizium, zu dem Werkstück
vorgesehen ist.
10. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 9, dadurch gekennzeichnet, dass zwischen benachbarten Modulen, insbesondere zwischen dem Heizmodul (1) und dem Einschleusemodul
(2) und/oder dem Heizmodul (1) und dem Kühlmodul (3), vorzugsweise vakuumdichte Schleusen
(5) vorgesehen sind.
11. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 10, dadurch gekennzeichnet, dass benachbarte Module, insbesondere das Heizmodul (1) und das Einschleusemodul (2) und/oder
das Heizmodul (1) und das Kühlmodul (3) über einen Flansch (4) miteinander verbunden
sind.
12. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 11, dadurch gekennzeichnet, dass mindestens eine Schiebereinrichtung (6) vorgesehen ist, über die das Werkstück aus
einem Modul in das benachbarte Modul, insbesondere aus dem Einschleusemodul (2) in
das Heizmodul (1) und/oder aus dem Heizmodul (1) in das Kühlmodul (3), transportierbar
ist.
13. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 12, dadurch gekennzeichnet, dass benachbarte Module, insbesondere das Heizmodul (1) und das Einschleusemodul (2) und/oder
das Heizmodul (1) und das Kühlmodul (3), in einem beliebigen Winkel zueinander anordenbar
und so an beliebige Räumlichkeiten anpassbar sind.