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(11) | EP 2 063 206 A3 |
(12) | EUROPÄISCHE PATENTANMELDUNG |
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(54) | Vorrichtung zum Behandeln einer Substratbahn |
(57) Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung (10) zum Behandeln einer Substratbahn (60),
insbesondere zum Trocknen einer Substratbahn. Bei dieser Vorrichtung (10) ist gewährleistet,
dass verschiedene Produkte nacheinander mit reproduzierbarer Reinheit herstellbar
sind und gleichzeitig durch Verkürzung der Reinigungszeit die Produktivität gegenüber
bekannten Vorrichtungen gesteigert wird. Die Vorrichtung (10) weist einen Trocknungsabschnitt
(12) auf, wobei in der geschlossenen Trocknungsvorrichtung (10) ein Reinigungsvorgang
ausführbar ist. Dazu werden von außen flüssige und/oder gasförmige Reinigungssubstanzen
eingeleitet und über Reinigungsdüsen in den Trocknungsabschnitt (12) gesprüht. Diese
Reinigungsdüsen sind horizontal und vertikal innerhalb des Trocknungsabschnittes (12)
bewegbar und sind vorzugsweise an vorhandenen Leiteinrichtungen, wie beispielsweise
Leitwalzen (20), vorgesehen, so dass keine zusätzlichen Bauteile für die Reinigung
in der Vorrichtung (10) vorgesehen werden müssen (Fig.1).
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