(19)
(11) EP 2 063 206 A3

(12) EUROPÄISCHE PATENTANMELDUNG

(88) Veröffentlichungstag A3:
02.04.2014  Patentblatt  2014/14

(43) Veröffentlichungstag A2:
27.05.2009  Patentblatt  2009/22

(21) Anmeldenummer: 08020125.4

(22) Anmeldetag:  19.11.2008
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC): 
F26B 13/10(2006.01)
B05B 1/20(2006.01)
F26B 13/14(2006.01)
F26B 25/00(2006.01)
B08B 3/02(2006.01)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MT NL NO PL PT RO SE SI SK TR
Benannte Erstreckungsstaaten:
AL BA MK RS

(30) Priorität: 22.11.2007 DE 202007016425 U

(71) Anmelder: OLBRICH GmbH
46395 Bocholt (DE)

(72) Erfinder:
  • Fieblinger, Lutz
    46395 Bocholt (DE)

(74) Vertreter: Buse, Mentzel, Ludewig Patentanwaltskanzlei 
Kleiner Werth 34
42275 Wuppertal
42275 Wuppertal (DE)

   


(54) Vorrichtung zum Behandeln einer Substratbahn


(57) Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung (10) zum Behandeln einer Substratbahn (60), insbesondere zum Trocknen einer Substratbahn. Bei dieser Vorrichtung (10) ist gewährleistet, dass verschiedene Produkte nacheinander mit reproduzierbarer Reinheit herstellbar sind und gleichzeitig durch Verkürzung der Reinigungszeit die Produktivität gegenüber bekannten Vorrichtungen gesteigert wird. Die Vorrichtung (10) weist einen Trocknungsabschnitt (12) auf, wobei in der geschlossenen Trocknungsvorrichtung (10) ein Reinigungsvorgang ausführbar ist. Dazu werden von außen flüssige und/oder gasförmige Reinigungssubstanzen eingeleitet und über Reinigungsdüsen in den Trocknungsabschnitt (12) gesprüht. Diese Reinigungsdüsen sind horizontal und vertikal innerhalb des Trocknungsabschnittes (12) bewegbar und sind vorzugsweise an vorhandenen Leiteinrichtungen, wie beispielsweise Leitwalzen (20), vorgesehen, so dass keine zusätzlichen Bauteile für die Reinigung in der Vorrichtung (10) vorgesehen werden müssen (Fig.1).







Recherchenbericht









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