(19)
(11) EP 2 607 706 A3

(12) EUROPÄISCHE PATENTANMELDUNG

(88) Veröffentlichungstag A3:
09.04.2014  Patentblatt  2014/15

(43) Veröffentlichungstag A2:
26.06.2013  Patentblatt  2013/26

(21) Anmeldenummer: 12194041.5

(22) Anmeldetag:  23.11.2012
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC): 
F04D 19/04(2006.01)
F04D 29/64(2006.01)
 F04D 29/54(2006.01)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AL AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT NL NO PL PT RO RS SE SI SK SM TR
Benannte Erstreckungsstaaten:
BA ME

(30) Priorität: 23.12.2011 DE 202011109517 U

(71) Anmelder: Oerlikon Leybold Vacuum GmbH
50968 Köln (DE)

(72) Erfinder:
  • Henry, Markus
    51109 Köln (DE)
  • Brezina, Jürgen
    51061 Köln (DE)

(74) Vertreter: von Kreisler Selting Werner 
Deichmannhaus am Dom Bahnhofsvorplatz 1
50667 Köln
50667 Köln (DE)

   


(54) Vakuumpumpe


(57) Eine Vakuumpumpe, bei der es sich insbesondere um eine Turbomolekularpumpe handelt, weist in einem Pumpengehäuse (20) einen mehrere Rotorscheiben (12) aufweisenden Rotor auf. Ferner ist in dem Gehäuse (20) ein Stator angeordnet, dessen Statorscheiben (14) zwischen benachbarten Rotorscheiben (12) angeordnet sind. Zwischen den Statorscheiben (14) sind Statorringe (22) angeordnet. Um eine exakte Positionierung der Statorscheiben (14) und eine gute Wärmeabfuhr an den Gehäuseflächen (30, 36) zu gewährleisten, ist insbesondere in einem mittleren Bereich ein Federelement (24) vorgesehen. Das Federelement (24) ersetzt einen Statorring (22) und erzeugt axiale Kräfte (26, 28).







Recherchenbericht









Recherchenbericht