[0001] Die Erfindung betrifft eine Vakuumpumpe in der Bauart einer Splitflow-Pumpe.
[0002] So genannte Splitflow-Vakuumpumpen werden in der Praxis eingesetzt, um mehrere Kammern,
beispielsweise eines Massenspektrometersystems gleichzeitig zu evakuieren. Durch die
Splitflow-Vakuumpumpen ist es möglich, auf ein Pumpensystem bestehend aus mehreren
Einzelpumpen zu verzichten und die Evakuierung von mehreren Kammern mit einer einzigen
Pumpe durchzuführen.
[0003] Splitflow-Vakuumpumpen weisen den Vorteil auf, dass sie lediglich einen geringen
Platzbedarf für das Vakuumsystem aufweisen. Die Splitflow-Vakuumpumpen werden nicht
nur in Analysegeräten, sondern zum Beispiel auch in Lecksuchern eingesetzt, deren
Analyseprinzip ebenfalls auf der Massenspektrometrie beruht.
[0004] Aus dem Stand der Technik (
DE 43 31 589 A1) ist eine Turbomolekularpumpe bekannt, welche mehrere Sauganschlüsse aufweist, die
jeweils mit einer der Vakuumkammern einer Vorrichtung, beispielsweise eines Massenspektrometers
verbunden wird. Die Sauganschlüsse führen Gas an verschiedene axial beabstandete Stellen
des Rotors. Entlang der Rotorachse sind mehrere so genannte Rotor-Stator-Pakete angeordnet,
die jeweils Gas komprimieren. Ein hochvakuumseitiges Statorpaket erzeugt ein Druckverhältnis
zwischen seinem Einlass und seinem Auslass. Der Einlass ist mit einer ersten Vakuumkammer
verbunden. Der Auslass ist mit dem Einlass des nächsten Rotor-Stator-Paketes verbunden.
Zusätzlich ist dieser Bereich zwischen zwei Rotor-Stator-Paketen mit einer zweiten
Vakuumkammer verbunden. Aufgrund des von dem ersten Rotor-Stator-Paket erzeugten Druckverhältnisses
und des schlechten Leitwertes zwischen den Vakuumkammern ist der Druck in den beiden
Vakuumkammern unterschiedlich. Durch eine entsprechende Anzahl von Rotor-Stator-Paketen
können mehrere Vakuumkammern auf verschiedene Drücke evakuiert werden, wobei jedem
Sauganschluss ein Rotor-Stator-Paket zugeordnet wird. Es zeigt sich, dass im Vergleich
zum Durchmesser sehr lange Rotoren schwer zu handhaben sind, da die Rotoren mit Drehzahlen
im Bereich von einigen 10.000 Umdrehungen pro Minute betrieben werden.
[0005] Eine weitere Variante, um eine Anordnung mit mehreren Vakuumpumpen zu evakuieren,
besteht darin, jede Vakuumpumpe mit einem eigenen Flansch zu versehen. An diesen wird
dann eine für den Druckbereich geeignete Vakuumpumpe angeschlossen. Dieser Weg ist
aufgrund der hohen Kosten für die Vielzahl der Vakuumpumpen unbeliebt. Zudem besteht
der Bedarf nach kompakten Geräten. Diese lassen sich mit einer Vielzahl von Vakuumpumpen
jedoch nicht realisieren.
[0006] In einer Vielzahl von Anwendungen sind mehrere Vakuumkammern in Reihe angeordnet
und durch Bohrungen mit geringem Leitwert miteinander verbunden. Von einem zum anderen
Ende der Reihe nimmt der innerhalb der Vakuumkammer herrschende Gasdruck ab. Die Bohrungen
sind derart gestaltet, dass ein Teilchenstrahl durch sie und damit durch die Reihe
der Vakuumkammern hindurch treten kann. Die Vakuumkammer mit dem niedrigsten Druck
enthält oft ein Analysegerät, beispielsweise ein Massenspektrometer.
[0007] Aus der Praxis sind Splitflow-Vakuumpumpen bekannt, die drei oder vier radiale Einlässe
aufweisen und die wenigstens vier Pumpstufen aufweisen. Pumpstufen sind in der Regel
Turbomolekularpumpstufen. Diese werden häufig mit weiteren Pumpstufen, beispielsweise
Holweckpumpstufen oder Gaedepumpstufen kombiniert.
[0008] Die Baulänge und Rotordrehzahl der aus der Praxis bekannten Splitflow-Vakuumpumpen
ist unter anderem aufgrund der Eigenschwingungen der Rotoren begrenzt. Ein Rotor kann
nicht dauerhaft im Bereich einer Eigenschwingungsfrequenz betrieben werden. Das limitierende
Element kann zum einen das Motorende sein, bei dem kostenbedingt eine Versteifung
durch größere Wellendurchmesser, das heißt, größere Antriebsmagnete und Motorstatoren,
nicht Ziel führend ist. Zum anderen kann bei sehr großen Baulängen das modale Verhalten
des Rotors und insbesondere der Rotorwelle kritisch sein.
[0009] Das der Erfindung zugrunde liegende technische Problem besteht darin, eine Splitflow-Vakuumpumpe
anzugeben, bei der das Gewicht der Welle reduziert wird bei gleichbleibender Steifigkeit,
um lange Splitflow-Vakuumpumpen mit langen Wellen ausbilden zu können. Darüber hinaus
soll eine Splitflow-Vakuumpumpe angeben werden, die eine Rotorwelle mit wenigstens
einem Wellenende aufweist, welches kostengünstig die gewünschte Versteifung aufweist.
[0010] Dieses technische Problem wird durch eine Splitflow-Vakuumpumpe mit den Merkmalen
gemäß Anspruch 1 oder durch eine Splitflow-Vakuumpumpe mit den Merkmalen gemäß Anspruch
6 oder oder durch eine Splitflow-Vakuumpumpe mit den Merkmalen gemäß Anspruch 15 gelöst.
[0011] Die erfindungsgemäße Splitflow-Vakuumpumpe mit wenigstens zwei radialen Einlässen,
wobei die Vakuumpumpe Statorscheiben und auf einer Welle angeordnete Rotorscheiben
aufweist, wobei auf der Welle wenigstens ein Scheibenpaket angeordnet ist, zeichnet
sich dadurch aus, dass in der Welle in radialer Richtung wenigstens zwei Nuten und/oder
Bohrungen angeordnet sind, die in axialer Richtung der Welle länger ausgebildet sind
als in Umfangsrichtung der Welle oder dass die Welle in axialer Richtung wenigstens
eine Einschnürung aufweist.
[0012] Bei längeren Splitflow-Vakuumpumpen mit mehreren Einlässen kann das modale Verhalten
des Rotors und insbesondere der Rotorwelle kritisch sein. Daher muss versucht werden,
die Masse und damit auch die Gewichtskraft der Welle zu reduzieren bei gleichbleibender
Steifigkeit, besonders in radialer Richtung.
[0013] Dies wird durch die Erfindung erreicht, indem die Welle Nuten und/oder Bohrungen
aufweist. Bei den Nuten und/oder Bohrungen handelt es sich vorteilhaft um axiale Einstiche,
beispielsweise Einfräsungen in der Welle. Vorteilhaft sind die Nuten und/oder Bohrungen
in Bereichen vorgesehen, in denen keine Rotorscheiben angeordnet sind.
[0014] Gemäß einer besonders vorteilhaften Ausführungsform der Erfindung sind die wenigstens
zwei Nuten und/oder Bohrungen radialsymmetrisch in der Welle angeordnet. Dies ist
vorgesehen, damit die Welle rotationssymmetrisch bleibt und keine Unwuchten aufweist.
[0015] Gemäß einer weiteren vorteilhaften Ausführungsform der Erfindung ist vorgesehen,
dass die wenigstens zwei Nuten und/oder Bohrungen wenigstens einen Ring bildend in
der Welle angeordnet sind. Das bedeutet, dass in einem Bereich, in dem keine Rotorscheiben
oder Scheibenpakete angeordnet sind, die Nuten und/oder Bohrungen angeordnet sind,
und zwar über den Umfang der Welle gleichmäßig verteilt.
[0016] Sind mehrere Bereiche in der Welle vorhanden, in der keine Rotorscheiben oder Scheibenpakete
angeordnet sind, können diese Bereiche jeweils mit den Nuten und/oder Bohrungen versehen
sein.
[0017] Vorteilhaft ist vorgesehen, dass die Nuten und/oder Bohrungen einen rechteckförmigen
und/oder einen sich konisch verjüngenden und/oder einen sich konisch erweiternden
und/oder einen stufenförmig abgesetzten Querschnitt aufweisen. Bei der Ausbildung
der Nuten und/oder Bohrungen sind die verschiedensten Querschnitte denkbar. Die Ausgestaltung
der Form der Querschnitte ist von der jeweiligen Anwendung abhängig.
[0018] Eine weitere vorteilhafte Ausführungsform der Erfindung sieht vor, dass die Bohrungen
als Durchgangsbohrungen ausgebildet sind. Neben den Nuten, die nicht bis zur Mittelachse
der Welle angeordnet sind, können damit auch Bohrungen in der Welle angeordnet sein,
die als Durchgangsbohrungen ausgebildet sind, das heißt, dass verschiedene Bohrungen
in der Oberfläche der Welle im Bereich eines Kernes der Welle zusammengeführt sind.
[0019] Eine andere Ausführungsform der Erfindung sieht eine Splitflow-Vakuumpumpe mit wenigstens
zwei radialen Einlässen vor, wobei die Vakuumpumpe Statorscheiben und auf einer Welle
angeordnete Rotorscheiben aufweist, wobei auf der Welle wenigstens ein Scheibenpaket
angeordnet ist, welche dadurch gekennzeichnet ist, dass auf der Welle wenigstens eine
Hülse angeordnet ist.
[0020] Durch die Anordnung einer Hülse auf der Welle lassen sich die Eigenschwingungsfrequenzen
des Rotor verändern, so dass der Rotor nicht im Bereich einer Eigenschwingungsfrequenz
betrieben werden muss. Es lassen sich hierdurch auch die Auflagerkräfte reduzieren.
[0021] Darüber hinaus ist es möglich, große biegesteife Außendurchmesser zu fertigen, ohne
das Ausgangsmaterial der Rotorwelle zu vergrößern, wodurch wiederum eine Kosteneinsparung
möglich ist.
[0022] Eine vorteilhafte Ausführungsform der Erfindung sieht vor, dass die Hülse an wenigstens
einem Ende einen Ring aufweist. Durch den Ring lässt sich die Hülse beispielsweise
an einem sich verjüngenden Wellenende anordnen. Grundsätzlich besteht jedoch auch
die Möglichkeit, die Hülse passgenau auf der Welle anzuordnen, beispielsweise auf
einem konstanten Außendurchmesser der Welle.
[0023] Gemäß einer vorteilhaften Ausführungsform der Erfindung ist auf der Welle zumindest
im Bereich der Nuten und/oder Bohrungen und/oder der wenigstens einen Einschnürung
eine Hülse angeordnet. Durch die Anordnung der Hülse im Bereich der Nuten und/oder
Bohrungen und/oder der wenigstens einen Einschnürung wird die Stabilität der Rotorwelle
erhöht. Insbesondere eine Einschnürung führt zu einem Steifigkeitsverlust der Welle,
der durch die Hülse ausgeglichen werden kann.
[0024] Eine weitere vorteilhafte Ausführungsform der Erfindung sieht vor, dass an wenigstens
einem Wellenende im Bereich einer Verjüngung wenigstens eine Hülse angeordnet ist.
[0025] Die Wellenenden verjüngen sich üblicherweise, um in Lagern, beispielsweise Kugellagern
oder Magnetlagern angeordnet zu werden.
[0026] Die Hülse trägt zur Vergrößerung der Steifigkeit der Welle bei.
[0027] Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform der Erfindung ist vorgesehen, dass die wenigstens
eine Hülse auf einer Seite auf der Welle und auf einer gegenüberliegenden Seite auf
wenigstens einem Tragring gelagert ist. Weist die Welle beispielsweise einen stufenförmigen
Längsschnitt auf, das heißt, sie verjüngt sich stufenförmig, kann die Hülse im Bereich
zweier benachbarter Stufen angeordnet werden. Auf der Stufe mit dem größeren Durchmesser
kann die Hülse unmittelbar auf der Welle aufliegen. Auf der Stufe mit dem kleineren
Durchmesser liegt die Hülse auf dem wenigstens einen Tragring auf.
[0028] Eine besonders bevorzugte Ausführungsform der Erfindung sieht vor, dass zwischen
einem die Hülse tragenden Bereich der Welle und dem wenigstens einen Tragring wenigstens
ein Magnetring eines Magnetlagers angeordnet ist. Hierdurch ist es möglich, die Welle
am Wellenende zu versteifen und dennoch Magnetringe vorzusehen, die auf dem kleineren
Durchmesser der Welle angeordnet und damit kostengünstiger sind.
[0029] Eine andere vorteilhafte Ausführungsform der Erfindung sieht vor, dass die wenigstens
eine Hülse auf einem Bereich der Welle mit Vollmaterial angeordnet ist. Durch diese
Ausführungsform ist es möglich, die Eigenschwingungsfrequenz des Rotors derart zu
verändern, dass der Rotor nicht im Bereich der Eigenschwingungsfrequenz betrieben
wird.
[0030] Eine geänderte vorteilhafte Ausführungsform der Erfindung sieht vor, dass die wenigstens
eine Hülse in einem Bereich ohne Rotorwelle zwischen Wellenelementen angeordnet ist.
In diesem Fall ist die Welle als geteilte Welle ausgebildet und die Hülse verbindet
die Wellenelemente. Hierdurch wird das Gewicht der Rotorwelle deutlich reduziert,
was sich vorteilhaft auf das modale Verhalten der Welle auswirkt.
[0031] Eine weitere vorteilhafte Ausführungsform der Erfindung sieht vor, dass in der Hülse
wenigstens eine Bohrung angeordnet ist. Die Bohrung ist vorteilhaft im Bereich der
Nuten und/oder Bohrungen und/oder Einschnürungen angeordnet. Im Bereich einer Vakuumpumpe
sollen bei der Evakuierung keine gasgefüllten Hohlräume vorhanden sein, da diese gasgefüllten
Hohlräume während des Evakuierungsvorganges entgasen und hierdurch der eigentlich
erzielbare Enddruck der Pumpe nicht erreicht.
[0032] Die wenigstens eine Hülse besteht vorteilhaft aus Metall. Als Metall kann Aluminium,
Titan oder Edelstahl gewählt sein. Die wenigstens eine Hülse kann auch aus einem Verbundwerkstoff
mit Kohlefaser, beispielsweise kohlenstofffaserverstärktem Kunststoff bestehen. Es
besteht auch die Möglichkeit, eine Kombination der Materialien aus Metall und dem
Verbundwerkstoff mit Kohlefasern zu verwenden.
[0033] Vorteilhaft ist die axiale Ausdehnung der Hülse größer als ihr Außendurchmesser.
Gemäß dieser Ausführungsform trägt die Hülse optimal zur Verbesserung der Steifigkeit
der Welle bei.
[0034] Am Motorende des Rotors kann die wenigstens eine Hülse derart ausgeführt sein, dass
sie vor und hinter dem Motormagneten auf der Rotorwelle befestigt ist. Hierdurch es
möglich, die Magnetringe mit einem kleinen Durchmesser zu gestalten und damit kostengünstig
auszuführen. Richtung Hochvakuum kann die wenigstens eine Hülse auf der Rotorwelle
aufgebracht sein und in Richtung Lagerende, beispielsweise durch einen Ring mit der
Welle verbunden werden.
[0035] Soll der Rotor zwischen zwei Scheibenpaketen versteift werden, kann hier ebenfalls
eine erfindungsgemäße Hülse vorgesehen sein. Diese Hülse kann auf der Vollwelle angeordnet
werden. Die Verbindung zwischen der Vollwelle und der Hülse kann beispielsweise durch
Schrumpfen, Pressen und/oder Kleben oder andere Befestigungsarten vorgenommen werden.
[0036] Weiterhin ist es möglich, die Hülse in einem Bereich der Welle mit wenigstens einer
Einschnürung oder wenigstens einer Eindrehung und/oder Nuten und/oder Bohrungen anzuordnen.
Durch die reduzierte Masse, die auf dem kleinen Durchmesser des Rotors wenig zur Steifigkeit
beiträgt, lässt sich die Eigenfrequenz des Rotors durch die Hülse erhöhen. Positiv
ist dabei auch, dass die Auflagerkräfte auf diese Art und Weise reduziert werden und
zum Beispiel beim Einsatz eines Permanentmagnetlagers möglicherweise Ringmagnetpaare
zur Kostensenkung eingespart werden können.
[0037] Sind in Montagerichtung vor der wenigstens einen Hülse Rotorscheiben aufgebracht,
kann der Passungssitz der Rotorscheiben auf einem kleineren Außendurchmesser vorgesehen
sein als dem Außendurchmesser der Hülse. Dies ist vorteilhaft, falls ansonsten der
Bund der Rotorscheibe, um den die Rotorschaufeln angeordnet sind, bei einem zu großen
Passungsdurchmesser zu schwach würde, wodurch die Rotorscheibe im Betrieb nicht mehr
sicher auf dem Rotor festsitzen würde.
[0038] Darüber hinaus ist es möglich, große biegesteife Außendurchmesser zu fertigen, ohne
das Ausgangsmaterial der Rotorwelle vergrößern zu müssen, wodurch eine Kosteneinsparung
möglich ist.
[0039] Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform der Erfindung ist auf der Hülse zusätzlich
auf der äußeren Mantelfläche eine Pumpstruktur aufgebracht. Pumpstrukturen können
beispielsweise eine Turbostruktur, eine Kreuzkanalstruktur, eine Gewindestruktur oder
eine Holweckstruktur oder eine Kombination dieser Strukturen sein.
[0040] Ist wenigstens ein Ring an der Hülse angeordnet, so kann der wenigstens eine Ring
einseitig oder beidseitig vorzugsweise am Ende der Hülse angeordnet sein. Der Ring
kann fest an der Hülse angeordnet sein. Es besteht auch die Möglichkeit, den wenigstens
einen Ring einteilig mit der Hülse auszubilden. Der Ring ist als Innenring an der
Hülse ausgebildet.
[0041] Die Hülse dient dazu, die Stabilität zu erhöhen. Insbesondere im Bereich einer Einschnürung,
das heißt eines Bereiches, in dem die Welle einen geringeren Durchmesser aufweist
als der Durchmesser, auf dem Rotorscheiben und/oder Rotorpakete angeordnet sind, kann
zur Erhöhung der Stabilität eine Hülse vorgesehen sein. In der Hülse können Bohrungen
vorgesehen sein, um von der Hülse abgedeckte Hohlräume in der Welle entgasen zu können.
[0042] Die Hülse besteht vorteilhaft aus einem Material, welches einen Quotienten aus Elastizitätsmodul
und Dichte aufweist, der größer ist als der Quotient aus Elastizitätsmodul und Dichte
der Welle.
[0043] Eine andere Ausführungsform der Erfindung sieht eine Splitflow-Vakuumpumpe mit wenigstens
zwei radialen Einlässen vor, wobei die Vakuumpumpe Statorscheiben und auf einer Welle
angeordnete Rotorscheiben aufweist, wobei auf der Welle wenigstens ein Scheibenpaket
angeordnet ist, die dadurch gekennzeichnet ist, dass die Welle eine entlang einer
Längsachse angeordnete Innenbohrung aufweist.
[0044] Durch diese Maßnahme wird das Gewicht der Welle deutlich reduziert. Dennoch bleibt
die Steifigkeit, insbesondere in radialer Richtung erhalten. Durch diese Maßnahme
wird das modale Verhalten des Rotor deutlich verbessert.
[0045] Gemäß einer weiteren besonders bevorzugten Ausführungsform der Erfindung ist vorgesehen,
dass ein Wellenende, in dem die Innenbohrung angeordnet ist, im Querschnitt topfförmig
ohne inneren Lagerzapfen ausgebildet ist. Durch das Weglassen des inneren Lagerzapfens
ist es möglich, die Innenbohrung in dem genannten Wellenende anzuordnen.
[0046] Eine vorteilhafte Weiterbildung der erfindungsgemäßen Splitflow-Vakuumpumpe mit wenigstens
drei radialen Einlässen und mit wenigstens vier Pumpstufen, wobei wenigstens eine
Pumpstufe als Turbomolekularpumpstufe ausgebildet ist, wobei die wenigstens drei Einlässe
als Haupteinlässe ausgebildet sind, die in axialer Richtung zwischen den Pumpstufen
angeordnet sind, sieht vor, dass zusätzlich wenigstens ein radialer Nebeneinlass vorgesehen
ist, der im Bereich wenigstens einer Turbomolekularpumpstufe angeordnet ist.
[0047] Durch diese vorteilhafte Ausbildung der Vakuumpumpe ist es möglich, zusätzlich zu
den Haupteinlässen wenigstens einen Nebeneinlass vorzusehen. Die Haupteinlässe sind
zwischen den Pumpstufen angeordnet, wie aus dem Stand der Technik bekannt. Gemäß der
vorteilhaften Ausführungsform wird wenigstens ein weiterer Einlass vorgesehen, der
im Bereich wenigstens einer Turbomolekularpumpstufe angeordnet ist. Das bedeutet,
dass eine so genannte Anzapfung, das heißt, der Einlass nicht zwischen den Turbomolekularpumpstufen
ist, sondern dass die Anzapfung radial in ein Scheibenpaket der wenigstens einen Turbomolekularpumpstufe
führt.
[0048] Hierdurch erreicht man deutlich mehr Anzapfungen, das heißt Einlässe mit einer einzigen
Pumpe auf einer bestimmten axialen Baulänge. Durch die Erfindung ist es möglich, auf
einer kurzen axialen Länge möglichst viele Kammern eines Mehrkammersystems zu evakuieren.
[0049] Gemäß einer vorteilhaften Ausführungsform der Erfindung weist der wenigstens eine
Nebeneinlass eine Mittelachse auf und die Mittelachse ist zwischen einer ersten und
einer letzten Scheibe der wenigstens einen Turbomolekularpumpstufe angeordnet.
[0050] Das bedeutet, dass der Nebeneinlass tatsächlich zwischen die Scheiben des Scheibenpaketes
der wenigstens einen Turbomolekularpumpstufe führt. Hierdurch werden zusätzlich zu
den zum Stand der Technik gehörenden Einlässen, die zwischen den Pumpstufen angeordnet
sind, zusätzliche Einlässe geschaffen, so dass eine größere Anzahl von Vakuumkammern
evakuiert werden kann.
[0051] Gemäß einer weiteren vorteilhaften Ausführungsform der Erfindung ist vorgesehen,
dass der wenigstens eine Nebeneinlass zwischen zwei Statorscheiben und/oder zwischen
zwei Rotorscheiben und/oder zwischen einer Statorscheibe und einer Rotorscheibe wenigstens
einer Turbomolekularpumpstufe angeordnet ist.
[0052] Das bedeutet, dass der Nebeneinlass zwischen den Scheiben eines Statorpaketes angeordnet
ist, während ein Haupteinlass zwischen den Statorpaketen angeordnet ist.
[0053] Gemäß einer weiteren vorteilhaften Ausführungsform der Erfindung ist der wenigstens
eine Nebeneinlass zwischen zwei benachbarten Statorscheiben und/oder zwischen benachbarten
Rotorscheiben und/oder zwischen einer Statorscheibe und einer benachbarten Rotorscheibe
wenigstens einer Turbomolekularpumpstufe angeordnet. Das bedeutet, dass die Nebeneinlässe
bezüglich ihres Durchmessers relativ klein gewählt werden und zwischen den Scheiben
angeordnet sind.
[0054] Vorteilhaft ist vorgesehen, dass ein Saugvermögen des wenigstens einen Nebeneinlasses
geringer ist als das Saugvermögen eines Haupteinlasses.
[0055] Die Nebeneinlässe dienen dazu, die Anzahl der Anzapfungen eines zu evakuierenden
Mehrkammersystems zu erhöhen.
[0056] Zwischen den einzelnen Pumpstufen, das heißt zwischen den einzelnen Scheibenpaketen
oder anderen Pumpstufen, beispielsweise Gaede- oder Holweckpumpstufen, ist relativ
viel Platz, so dass die Haupteinlässe einen relativ großen Querschnitt aufweisen können.
Die Nebeneinlässe führen zwischen Scheiben der Turbomolekularpumpstufen und weisen
aus diesem Grunde lediglich einen relativ geringen Querschnitt auf.
[0057] Gemäß einer weiteren vorteilhaften Ausführungsform der Erfindung ist vorgesehen,
dass bei n Scheiben n - 1 Nebeneinlässe vorgesehen sind.
[0058] Das bedeutet, dass die Anzahl der Nebeneinlässe geringer ist als die Anzahl der Scheiben.
Wird ein Scheibenpaket der Turbomolekularpumpstufe aus zwei Scheiben gebildet, kann
zwischen diesen beiden Scheiben ein Nebeneinlass vorgesehen sein.
[0059] Es ist jedoch auch möglich, mehrere radiale Nebeneinlässe im Bereich einer Turbomolekularpumpstufe
vorzusehen. Gleichermaßen ist es auch möglich, bei mehreren Turbomolekularpumpstufen
in jeder dieser Turbomolekularpumpstufen einen oder mehrere Nebeneinlässe vorzusehen.
Verschiedene Turbomolekularpumpstufen können mit und ohne Nebeneinlässe ausgebildet
sein.
[0060] Vorteilhaft ist vorgesehen, dass zusätzlich zu der wenigstens einen Turbomolekularpumpstufe
wenigstens eine Holweckpumpstufe und/oder eine Siegbahnpumpstufe und/oder eine Gaedepumpstufe
und/oder eine Seitenkanalpumpstufe und/oder eine Gewindepumpstufe vorgesehen ist.
[0061] Splitflow-Vakuumpumpen bestehen üblicherweise aus einer oder mehreren Turbomolekularpumpstufen
und wenigstens einer weiteren der genannten Pumpstufen.
[0062] Durch die Kombination verschiedener Pumpstufen können die Druckverhältnisse in den
zu evakuierenden Kammern entsprechend eingestellt werden.
[0063] Beispielsweise ist es möglich, zwischen den Pumpstufen, beispielsweise zwischen zwei
Turbomolekularpumpstufen einen Haupteinlass vorzusehen und beispielsweise zusätzlich
eine Holweckpumpstufe anzuordnen. Gemäß der Erfindung wird zusätzlich im Bereich der
wenigstens einen Turbomolekularpumpstufe wenigstens ein weiterer Nebeneinlass angeordnet.
[0064] Gemäß einer weiteren vorteilhaften Ausführungsform der Erfindung ist vorgesehen,
dass eine Turbomolekularpumpstufe aus einer oder mehreren Rotorscheiben und/oder aus
einer oder mehreren Statorscheiben gebildet ist.
[0065] Eine Pumpstufe besteht üblicherweise aus wenigstens einer Statorscheibe und wenigstens
einer Rotorscheibe. Häufig sind mehrere Statorscheiben und mehrere Rotorscheiben,
die abwechselnd ineinander greifen, vorgesehen. Gemäß der Erfindung ist vorteilhaft
vorgesehen, dass bei n Scheiben n - 1 Nebeneinlässe vorgesehen sind. Sind beispielsweise
eine Statorscheibe und eine Rotorscheibe vorgesehen, die eine Turbomolekularpumpstufe
bilden, ist der Einlass zwischen diesen Scheiben angeordnet.
[0066] Eine weitere vorteilhafte Ausführungsform der Erfindung sieht vor, dass eine Statorscheibe
und eine benachbarte Rotorscheibe einer Turbomolekularpumpstufe eine axiale Länge
L festlegen, und dass ein Abstand zwischen zwei Turbomolekularpumpstufen mindestens
so groß ist wie diese Länge L.
[0067] Hierdurch ist festgelegt, dass mindestens eine Statorscheibe und/oder eine Rotorscheibe
mindestens eine Turbomolekularpumpstufe bilden. Ist der Abstand zwischen benachbarten
Statorscheiben und/oder benachbarten Rotorscheiben so groß, dass die Länge L überschritten
wird, beginnt gemäß der Erfindung eine neue Turbomolekularpumpstufe. Ein Einlass in
diesem Bereich zwischen den Turbomolekularpumpstufen wird als Haupteinlass angesehen.
Ein Einlass im Bereich der Turbomolekularpumpstufe selbst wird als Nebeneinlass angesehen.
[0068] Gemäß einer weiteren Ausführungsform der Erfindung ist vorgesehen, dass eine Turbomolekularpumpstufe
aus wenigstens einer Rotorscheibe gebildet ist.
[0069] Die erfindungsgemäße Ausführungsform bezüglich der Einlässe ist grundsätzlich auch
bei einer Turbomolekularpumpe anwendbar.
[0070] Vorteilhaft besteht eine Pumpstufe aus wenigstens einer Rotorscheibe und wenigstens
einer Statorscheibe. In diesem Fall ist der Nebeneinlass zwischen der Rotorscheibe
und der Statorscheibe angeordnet.
[0071] Eine andere vorteilhafte Ausführungsform der erfindungsgemäßen Splitflow-Vakuumpumpe
mit wenigstens zwei radialen Einlässen, wobei die Vakuumpumpe Statorscheiben und auf
einer Welle angeordnete Rotorscheiben aufweist, wobei auf der Welle wenigstens zwei
Scheibenpakete angeordnet sind, wobei die Welle wenigstens zwei unterschiedliche Außendurchmesser
aufweist und die Scheibenpakete an die Außendurchmesser angepasste Innendurchmesser
aufweisen, sieht vor, dass die Welle zusätzlich zu einem Bereich mit einem größten
Durchmesser in axialer Richtung beidseitig jeweils wenigstens zwei Bereiche mit kleineren
Durchmessern aufweist.
[0072] Die erfindungsgemäße Ausführungsform ermöglicht eine große Anzahl von einzelnen Scheibenpaketen
auf der Welle. Gemäß dieser Ausführungsform ist es möglich, vier oder mehr Scheibenpakete
auf dem Rotor anzuordnen.
[0073] Dadurch, dass die Welle zusätzlich zu einem Bereich mit einem größten Durchmesser
in axialer Richtung beidseitig jeweils wenigstens zwei Bereiche mit kleineren Durchmessern
aufweist, kann in diesen Bereichen jeweils wenigstens ein Scheibenpaket angeordnet
werden. Hierdurch ist es möglich, den Bereich mit dem größten Durchmesser als Anschlag
zu verwenden und in axialer Richtung auf dem daran sich anschließenden Bereich mit
einem etwas kleineren Durchmesser beidseitig des Bereiches mit dem größten Durchmesser
jeweils wenigstens ein Scheibenpaket anzuordnen. Auf den sich daran anschließenden
Bereichen mit wiederum einem etwas kleineren Durchmesser kann jeweils wenigstens ein
weiteres Scheibenpaket angeordnet werden. Die Bereiche mit den größeren Durchmessern
dienen jeweils als Anschlag für die Scheibenpakete, die auf den Bereichen mit den
etwas kleineren Durchmessern montiert sind. In dem beschriebenen Fall werden auf die
Welle von links und von rechts jeweils zwei Pakete aufgeschoben, so dass vier Pakete
mit nur zwei Durchmessern angeordnet werden, was den Vorteil aufweist, dass sehr viele
Gleichteile in Bezug auf die Rotorscheiben und die Scheibenpakete verwendbar sind.
[0074] Bei dem Aufbau einer Splitflow-Vakuumpumpe ist es erforderlich, eine sehr hohe Genauigkeit
bei der Montage einzuhalten. Da die Statorscheibenpakete mit Abstand zueinander angeordnet
sind und damit auch die Rotorscheibenpakete mit Abstand zueinander angeordnet sind,
ist es sinnvoll, auf der Welle mit Anschlägen zu arbeiten. Je mehr Anschläge vorhanden
sind, um so weniger Toleranzen sind bei den Scheiben erforderlich und die Spalte zwischen
den Stator- und Rotorscheiben können kleiner ausgebildet sein.
[0075] Fehlen die Anschläge, müssen die Rotorscheiben entsprechend genau gefertigt sein,
was einen hohen Fertigungsaufwand bedeutet oder der Abstand zwischen Rotor- und Statorscheiben
muss entsprechend groß gewählt werden, damit die Fertigungstoleranz nicht zu einer
Kollision zwischen Stator- und Rotorscheibe führen.
[0076] Das wenigstens eine Scheibenpaket wird vorteilhaft gegen einen Anschlag montiert,
wenn der Anschlag nicht von einer Hülse gebildet wird.
[0077] Gemäß einer besonders bevorzugten Ausführungsform der Erfindung ist vorgesehen, dass
die Bereiche mit den kleineren Durchmessern auf beiden Seiten des Bereiches mit dem
größten Durchmesser jeweils paarweise den gleichen Durchmesser aufweisen. Hierdurch
ist es möglich, auf den ersten kleineren Durchmessern auf beiden Seiten des Bereiches
mit dem größten Durchmesser gleiche Scheibenpakete, das heißt Scheibenpakete mit dem
gleichen Durchmesser zu montieren. Das gleiche gilt für die sich an diese Bereiche
anschließenden Bereiche mit nochmals verringertem Durchmesser. Hierdurch besteht die
Möglichkeit, vier Scheibenpakete zu montieren, die von der Fertigung her jedoch nur
zwei Durchmesser aufweisen müssen. Hierdurch können viele Gleichteile vormontiert
werden, was die Fertigungskosten erheblich senkt.
[0078] Gemäß einer weiteren vorteilhaften Ausführungsform der Erfindung ist vorgesehen,
dass Übergänge zwischen den Bereichen mit unterschiedlichen Durchmessern als Anschlag
für die Scheibenpakete ausgebildet sind. Durch diese Anschläge ist gewährleistet,
dass die Scheibenpakete der Rotorscheiben exakt zwischen den Statorscheiben positioniert
sind und dass Fertigungstoleranzen der einzelnen Scheibenpakete sich nicht über die
gesamte Länge der Welle aufaddieren.
[0079] Gemäß einer weiteren vorteilhaften Ausführungsform der Erfindung ist vorgesehen,
dass die Welle einen pyramidenförmigen symmetrischen Aufbau vorsieht. In diesem Fall
können beide Seiten der Welle jeweils mit gleichen Scheibenpaketen bestückt werden.
Grundsätzlich ist es möglich, die Welle gestuft auszuführen. Es ist auch möglich,
die Welle sich wenigstens teilweise konisch verjüngend auszubilden.
[0080] Die verschiedenen Geometrien, das heißt, die abgestufte und konische Geometrie der
Welle können auch miteinander kombiniert werden.
[0081] Eine weitere vorteilhafte Ausführungsform der erfindungsgemäßen Splitflow-Vakuumpumpe
mit einem Gehäuse, einer in dem Gehäuse drehbar angeordneten Welle, auf der Rotorscheiben
angeordnet sind und an dem Gehäuse angeordneten Statorscheiben, sieht vor, dass das
Gehäuse wenigstens zwei Gehäusebereiche aufweist, die thermisch entkoppelt ausgebildet
sind oder zwischen denen eine reduzierte thermische Kopplung ausgebildet ist. Bei
Vakuumpumpen ist es häufig erwünscht, eine Seite der Pumpe aufzuheizen, um ein besseres
Evakuieren des Rezipienten zu erreichen. Die gegenüberliegende Seite der Pumpe, welche
in den meisten Fällen die Seite ist, in der die Lager angeordnet sind, soll nach Möglichkeit
nicht aufgeheizt werden, beziehungsweise diese Seite wird nach Möglichkeit sogar gekühlt,
um eine störungsfreie Lagerung der Welle zu erreichen.
[0082] Das bedeutet, dass der eine Teil der Vakuumpumpe sehr hohen Temperaturen ausgesetzt
wird, während der gegenüberliegende Teil der Vakuumpumpe relativ niedrige Temperaturen
aufweisen muss.
[0083] Aus diesem Grunde ist es vorgesehen, zwischen den wenigstens beiden Gehäusebereichen
eine thermische Restriktion zu erreichen.
[0084] Gemäß einer vorteilhaften Ausführungsform der Erfindung ist vorgesehen, dass die
wenigstens zwei Gehäusebereiche durch einen Gehäuseabschnitt mit einer gegenüber der
Wandstärke der zwei Gehäusebereiche verringerten Wandstärke verbunden sind.
[0085] Das bedeutet, dass ein Wandbereich zwischen den beiden Gehäusebereichen einen dünneren
Querschnitt aufweist als das restliche Gehäuse. Das Gehäuse weist beispielsweise hierzu
eine Einschnürung auf.
[0086] Gemäß einer weiteren vorteilhaften Ausführungsform der Erfindung ist vorgesehen,
dass im Bereich des Gehäuseabschnittes eine Armierung aus einem Material mit geringerer
Wärmeleitfähigkeit als der Wärmeleitfähigkeit des Gehäuses angeordnet ist. Insbesondere
in einem Bereich mit einer Einschnürung kann eine derartige Armierung vorteilhaft
angeordnet werden.
[0087] Eine weitere vorteilhafte Ausführungsform der Erfindung sieht vor, dass die wenigstens
zwei Gehäusebereiche aus zwei getrennten Gehäusebauteilen gebildet sind und dass zwischen
den Gehäusebauteilen wenigstens eine thermische Dichtung angeordnet ist. Die Dichtung
weist vorteilhaft eine schlechtere Wärmeleitfähigkeit als das Gehäuse auf. Vorteilhaft
kann die Dichtung aus Glas und/oder Keramik und/oder Kunststoff gebildet sein. Durch
diese Dichtung ist gewährleistet, dass keine Wärmeübertragung von dem erwärmten Teil
des Gehäuses auf den gekühlten Teil des Gehäuses stattfindet.
[0088] Vorteilhaft ist vorgesehen, dass in dem Gehäuse wenigstens eine Bohrung und/oder
wenigstens eine Nut angeordnet ist, in denen Heizelemente und/oder Spulen zum Heizen
des Gehäuses und/oder Kühlelemente angeordnet sind. Durch diese Vorrichtungen ist
es möglich, die Bereiche des Gehäuses zu heizen, die eine entsprechend hohe Temperatur
aufweisen sollen, und die Bereiche des Gehäuses, die gekühlt werden sollen, zu kühlen.
[0089] Gemäß einer weiteren vorteilhaften Ausführungsform der Erfindung ist ein Vakuumsystem
mit wenigstens einer Vakuumpumpe und wenigstens einem Rezipienten vorgesehen, bei
dem zwischen der Vakuumpumpe und dem Rezipienten eine lösbare Verbindung vorgesehen
ist, wobei zur Abdichtung der Verbindung zur Atmosphärenseite hin wenigstens eine
Elastomerdichtung und in Richtung Vakuumseite wenigstens eine Spaltdichtung vorgesehen
sind, bei dem vorgesehen ist, dass zwischen der Elastomerdichtung und der Spaltdichtung
wenigstens ein Absaugkanal und/oder wenigstens eine Absaugöffnung vorgesehen sind/ist.
[0090] Diese Ausführungsform weist den Vorteil auf, dass an den Dichtstellen auf der Atmosphärenseite
eine Elastomerdichtung zum Einsatz kommt. Diese ist vorteilhaft als O-Ring ausgebildet.
Zwischen der Elastomerdichtung und dem beispielsweise Ultrahochvakuumanschluss kommt
als zweites Dichtelement wenigstens eine Spaltdichtung zum Einsatz. Die Flächen des
Rezipienten (Kammer) und eine Fläche des Pumpengehäuses werden aufeinander gedrückt.
[0091] Die erfindungsgemäße Vakuumpumpe kann in der Rotorwelle Nuten und/oder Bohrungen
und/oder Einschnürungen aufweisen. An wenigstens einem Ende der Rotorwelle kann wenigstens
eine Hülse angeordnet sein. Es besteht auch die Möglichkeit, wenigstens eine Hülse
vor oder zwischen den Rotorscheibenpaketen und/oder den Rotorscheiben anzuordnen.
Die wenigstens eine Hülse kann im Bereich von Vollmaterial der Rotorwelle angeordnet
sein. Die wenigstens eine Hülse kann wenigstens eine Einschnürung und/oder die Nuten
und/oder die Bohrungen abdeckend ausgebildet sein. Die Hülse kann auch in einem rotorwellenfreien
Bereich angeordnet sein. In diesem Fall ist die Rotorwelle als geteilte Welle ausgebildet
und die wenigstens eine Hülse stützt und überdeckt den rotorwellenfreien Bereich.
Die Welle kann auch als Welle mit einer Innenbohrung entlang der Längsachse der Welle
ausgebildet sein. Diese Ausführungsformen können einzeln oder in beliebigen Kombinationen
bei einer Splitflow-Vakuumpumpe eingesetzt werden.
[0092] Weitere Merkmale und Vorteile der Erfindung ergeben sich anhand der zugehörigen Zeichnung,
in der mehrere Ausführungsbeispiele einer erfindungsgemäßen Vakuumpumpe nur beispielhaft
dargestellt sind. In der Zeichnung zeigen:
- Fig. 1
- einen Längsschnitt durch eine Anordnung mit einer erfindungsgemäßen Vakuumpumpe;
- Fig. 2
- einen Rotor mit Hülse am Wellenende im Längsschnitt;
- Fig. 3
- eine Einzelheit der Fig. 2;
- Fig. 4
- einen Rotor mit Hülse zwischen Scheibenpaketen im Längsschnitt;
- Fig. 5
- einen Rotor mit Hülse zwischen Scheibenpaketen gemäß einem geänderten Ausführungsbeispiel
im Längsschnitt;
- Fig. 6
- einen Rotor mit Einschnürung im Längsschnitt;
- Fig. 7
- einen Rotor mit Hülse zwischen Scheibenpaketen und geteilter Rotorwelle im Längsschnitt;
- Fig. 8
- einen Querschnitt durch eine Rotorwelle;
- Fig. 9
- einen Längsschnitt durch ein geändertes Ausführungsbeispiel einer Welle.
- Fig. 10
- ein Wellenende eines Rotors mit Innenbohrung im Längsschnitt;
- Fig. 11
- eine schematische Darstellung eines Rotors mit Scheibenpaketen mit Haupt- und Nebeneinlässen;
- Fig. 12
- eine Splitflow-Vakuumpumpe im Längsschnitt;
- Fig. 13
- eine Prinzipskizze eines Rotors mit auf dem Rotor angeordneten Rotorscheiben;
- Fig. 14
- einen Längsschnitt durch eine Welle mit aufgepressten Rotorscheiben;
- Fig. 15
- eine Prinzipskizze eines Rotors einer Splitflow-Vakuumpumpe gemäß dem Stand der Technik;
- Fig. 16
- ein geändertes Ausführungsbeispiel;
- Fig. 17
- eine Vakuumpumpe in perspektivischer Ansicht mit Vakuumanschluss;
- Fig. 18
- eine Hülse mit pumpaktiven Strukturen im Querschnitt;
- Fig. 19
- ein geändertes Ausführungsbeispiel einer Hülse mit pumpaktiven Strukturen im Querschnitt.
[0093] Fig. 1 zeigt eine Vakuumpumpe 1, die als so genannte Splitflow-Vakuumpumpe ausgebildet
ist. Die Vakuumpumpe 1 ist an einer Mehrkammervakuumanlage 2 angeschlossen. Die Mehrvakuumanlage
2 weist vier Kammern 3, 4, 5, 6 auf, die von der Vakuumpumpe 1 evakuiert werden sollen.
Der Gasdruck in den Kammern 3, 4, 5, 6 ist in dieser Reihenfolge steigend. Die Kammern
3, 4, 5, 6 sind durch Trennwände 7, 8, 9 voneinander getrennt, wobei Bohrungen 9,
10, 11 eine Verbindung herstellen. Diese Bohrungen 9, 10, 11 sind beispielsweise so
angeordnet und dimensioniert, dass ein Teilchenstrahl durch sämtliche Kammern 3, 4,
5, 6 hindurch treten kann. Insbesondere trennt die erste Trennwand 7 die erste Kammer
3 und die zweite Kammer 4 voneinander, während die zweite Trennwand 8 die zweite Kammer
4 von der dritten Kammer 5 trennt und die dritte Trennwand 9 die dritte Kammer 5 von
der vierten Kammer 6 trennt. Die gestrichelten Pfeile in der Fig. 1 veranschaulichen
den Gasfluss.
[0094] Die Vakuumpumpe 1 weist eine Welle 13 auf, welche Rotorscheiben 14 bis 19 trägt.
Die Rotorscheiben 14 bis 19 stehen in Eingriff mit Statorscheiben 20. Die Rotorscheiben
14, 15, 16 bilden ein erstes Scheibenpaket 21 und die Rotorscheiben 17 bis 19 bilden
ein zweites Scheibenpaket 22. Das Scheibenpaket 22 bildet mit den Statoren 20 ein
hochvakuumseitiges Rotor-Statorpaket. Das Scheibenpaket 21 bildet mit den Statorscheiben
20 ein zwischenvakuumseitiges Rotor-Statorpaket. Die Schaufeln in beiden Paketen sind
dabei, wie im Stand der Technik bekannt, sowohl stator- als auch rotorseitig an Tragringen
befestigt oder mit diesem einstückig ausgebildet. Vor dem hochvakuumseitigen Rotor-Statorpaket
befindet sich ein erster Gaseinlass 23, vor dem vorvakuumseitigen Rotor-Statorpaket
befindet sich ein zweiter Gaseinlass 24.
[0095] Von der Mehrkammervakuumanlage führt ein erster Haupteinlass 23 in die Vakuumpumpe
1. Von der zweiten Kammer 4 führt ein zweiter Haupteinlass 24 in die Vakuumpumpe 1.
Von der Vakuumkammer 5 führt ein weiterer Haupteinlass 25 in die Vakuumpumpe 1 und
von der Vakuumkammer 6 führt ein weiterer Haupteinlass 26 in die Vakuumpumpe 1.
[0096] Die Haupteinlässe 23, 24, 25, 26 sind zwischen den Turbomolekularpumpstufen 21, 22
angeordnet.
[0097] Im Bereich der Turbomolekularpumpstufe 22 ist ein erster Nebeneinlass angeordnet,
der von der Vakuumkammer 5 in die Vakuumpumpe 1 führt. Von der Vakuumkammer 6 führt
darüber hinaus ein weiterer Nebeneinlass 28 im Bereich der Turbomolekularpumpstufe
21 in die Vakuumpumpe 1.
[0098] Damit wird die Anzahl der Einlässe durch die Nebeneinlässe 27, 28 erhöht. Die Nebeneinlässe
27, 28 sind im Bereich der Turbomolekularpumpstufen 21, 22 angeordnet.
[0099] Die Rotorwelle 13 weist Bereiche mit unterschiedlichen Durchmessern auf.
[0100] Ein erster Bereich 29 ist ein Bereich mit dem größten Durchmesser. Beidseitig der
Welle 13 schließen sich zwei Bereiche 30, 31 mit kleineren Durchmessern an. Hieran
schließen sich wiederum Bereiche 32, 33 mit noch kleinerem Durchmesser der Welle 13
an. Im Bereich 29 des größten Durchmessers der Welle 13 sind keine Rotorscheiben angeordnet.
Im Bereich 30 ist die Rotorscheibe 16 angeordnet, die durch einen Anschlag 34, der
durch den stufenförmigen Absatz zwischen dem Bereich 29 und dem Bereich 30 gebildet,
lokal eindeutig festgelegt.
[0101] Gleiches gilt für die Rotorscheibe 15, die durch einen Anschlag 35 zwischen den Bereichen
30, 32 festgelegt wird.
[0102] Gleiches gilt für die Rotorscheibe 17, die durch einen Anschlag 36 auf der Welle
13 festgelegt ist und die Rotorscheibe 18, die durch einen Anschlag 37 an der Welle
13 festgelegt ist. Zwischen den Rotorscheiben 14, 15 und den Rotorscheiben 18, 19
ist jeweils eine Abstandshülse 38 angeordnet. Durch die Anschläge 34 bis 37 werden
die Rotorscheiben 14 bis 19 auf der Welle 13 exakt platziert, so dass zwischen den
Rotorscheiben 14 bis 19 und den Statorscheiben 20 schmale Spalte ausgebildet werden
können.
[0103] Ein weiterer Vorteil der Erfindung liegt darin, dass die Rotorscheiben 14 bis 19
exakt auf der Welle platziert werden, wodurch sehr geringe Spalte ausgebildet werden
können. Hierdurch erhöht sich die Pumpleistung der Vakuumpumpe 1. Durch die Verwendung
vieler Gleichteile ist die Pumpe preiswert in der Herstellung. Im vorliegenden Ausführungsbeispiel
werden auf den beiden Seiten des Bereiches 29 der Welle 13 mit dem größten Durchmesser
jeweils zwei Rotorscheibenpakete mit jeweils gleichem Innendurchmesser angeordnet.
[0104] Eine weitere vorteilhafte Ausführungsform der Erfindung ist eine Ausführungsform,
bei der im Bereich des größten Durchmessers 29 Nuten 39, 40 angeordnet sind, die die
Masse der Welle verringern. Da die Splitflow-Vakuumpumpen eine sehr lange Baulänge
aufweisen, ist das modale Verhalten des Rotors und insbesondere der Rotorwelle kritisch.
Aus diesem Grunde wird gemäß der Erfindung die Masse und damit auch die Gewichtskraft
der Welle reduziert bei gleichbleibender Steifigkeit.
[0105] Die Vakuumpumpe 1 weist ein Gehäuse 41 auf. Um thermische Übergänge zwischen der
Hochvakuumseite und Vorvakuumseite im Gehäuse 41 zu reduzieren, weist das Gehäuse
41 eine Einschnürung 42 auf. Durch diese Einschnürung wird die Wärmeleitfähigkeit
reduziert. Es ist möglich, im Bereich der Einschnürung 42 zusätzlich eine nicht dargestellte
Armierung vorzusehen. Das Gehäuse kann im Bereich der Einschnürung 42 auch geteilt
ausgebildet sein und zwischen beiden Teilen des Gehäuses kann eine thermische Dichtung
angeordnet sein.
[0106] Die Welle 13 ist mittels eines Magnetlagers 43 auf der einen Seite gelagert. In einer
lediglich schematisch dargestellten Halterung 43a sind Gegenlager 43b angeordnet.
Auf der anderen Seite ist das Lager nicht dargestellt. Es kann sich bei der Lagerung
auf der nicht dargestellten Seite beispielsweise um ein Öl geschmiertes Kugellager
handeln.
[0107] In Fig. 1 sind lediglich Turbomolekularpumpstufen 21, 22 dargestellt.
[0108] Es besteht auch die Möglichkeit, zusätzlich zu den Turbomolekularpumpstufen eine
Holweckpumpstufe und/oder eine Siegbahn-Pumpstufe und/oder eine Gaedepumpstufe und/oder
eine Seitenkanal-Pumpstufe und/oder eine Gewinde-Pumpstufe vorzusehen.
[0109] Die Rotorscheibe 15 und die Statorscheibe 20 weisen in axialer Richtung gesehen eine
axiale Länge L auf. Der Abstand zwischen den Turbomolekularpumpstufen 21, 22 ist größer
als die Länge L.
[0110] Fig. 2 und in Fig. 3 zeigen eine Rotorwelle 13, auf der Rotorscheibenpakete 21, 22,
44 angeordnet sind. Die Rotorwelle 13 ist gestuft ausgebildet, so dass die Rotorscheibenpakete
21, 22, 44 jeweils an einer Stufe anliegen und damit exakt positioniert sind.
[0111] An einem Ende 104 der Rotorwelle 13 ist eine Hülse 59 angeordnet, die sich mit einem
Ende 105 auf der Welle 13 abstützt und mit ihrem anderen Ende 106 auf einem Tragring
103. Der Tragring 103 stützt sich wiederum auf der Rotorwelle 13 ab.
[0112] Die Hülse ist damit vor und hinter einem Motormagneten 101 auf der Rotorwelle 13
gelagert. Durch die Hülse 59 wird die Steifigkeit des Rotors, insbesondere an dem
sich stark verjüngendem Ende 104 deutlich erhöht. Gleichzeitig können die Motormagneten
101, das heißt die Magnetringe mit dem üblichen, relativ kleinen Durchmesser hergestellt
werden, was sich kostengünstig auswirkt. Würde die Welle 13 durch eine Wellenende
104 mit größerem Durchmesser hinsichtlich der Steifigkeit verbessert, müssten die
Motormagnete ebenfalls größer gebaut werden, was sich nachteilig auf die Kosten auswirken
würde.
[0113] Fig. 4 zeigt ein geändertes Ausführungsbeispiel. Gemäß Fig. 4 wird die Rotorwelle
13 durch eine Hülse 59 zwischen den Scheibenpaketen 21, 22 versteift. Die Hülse 59
ist auf der Vollwelle 13 angeordnet. Sie kann durch Schrumpfen, Pressen oder Kleben
an der Welle 13 befestigt sein. Die Hülse 59 füllt den Abstand zwischen den Scheibenpaketen
21, 22 vollständig oder fast vollständig aus. Füllt sie die Distanz zwischen den Scheibenpaketen
21, 22 vollständig aus, übernimmt sie gleichzeitig die Funktion einer Distanzhülse
wie die Hülsen 38 in Fig. 1.
[0114] Fig. 5 zeigt ein geändertes Ausführungsbeispiel, bei dem die Hülse 59 auf der Rotorwelle
13 zwischen den Scheibenpaketen 21, 22 angeordnet ist. Die Hülse 59 ist mit Abstand
zu dem Scheibenpaket 21 angeordnet. Die Hülse 59 ist auf der Welle 13 aus Vollmaterial
befestigt und versteift die Rotorwelle 13.
[0115] Fig. 6 zeigt die Rotorwelle 13, die eine Einschnürung 102 aufweist. Im Bereich der
Einschnürung 102 ist die Hülse 59 angeordnet. Die Hülse 59 weist Bohrungen 83 auf,
durch die die Einschnürung 102 entgast werden kann. Wird durch die Vakuumpumpe ein
Rezipient evakuiert, müssen gleichzeitig Hohlräume im Bereich der Vakuumpumpe, wie
beispielsweise die Einschnürung 102, mitevakuiert werden, da ansonsten während des
Evakuierungsvorganges die Hohlräume 102 entgasen und damit der Enddruck der Vakuumpumpe
nicht erzielt werden kann.
[0116] Fig. 7 zeigt die Rotorwelle 13, die als geteilte Rotorwelle mit Wellenelementen 107,
108 gebildet ist. Die Wellenelemente 107, 108 werden durch die Hülse 59 miteinander
verbunden. Durch diese Ausführungsform werden die Eigenschwingungsfrequenzen des Rotors
derart verändert, dass ein dauerhafter und zuverlässiger Betrieb möglich ist.
[0117] Die Hülse 59 weist wiederum Bohrungen 83 auf, durch die ein Hohlraum 109 zwischen
den Wellenelementen 107, 108 evakuiert werden kann.
[0118] In den Fig. 2 bis 7 sind gleiche Teile mit gleichen Bezugszeichen versehen.
[0119] Fig. 8 zeigt verschiedene Möglichkeiten, wie die Nuten 39, 40 ausgebildet sein können.
[0120] In Fig. 8 sind in der Welle 13 verschiedene Ausführungsformen von Nuten dargestellt.
Die Nuten können mit gleichen Querschnitten rotationssymmetrisch in der Welle 13 angeordnet
sein. Die in Fig. 8 dargestellten Ausführungsformen sind lediglich beispielhaft. In
der Praxis wird jeweils eine Ausführungsform gewählt und rotationssymmetrisch in der
Welle angeordnet.
[0121] In Fig. 8 ist eine Nut 53 gezeigt, die einen rechteckförmigen Querschnitt aufweist.
Eine Nut 54 ist gemäß einer zweiten Ausführungsform in Richtung Mittelachse M sich
konisch verjüngend ausgebildet.
[0122] Bohrungen 55 sind derart ausgebildet, dass sie in der Welle 13 Durchgangsbohrungen
bilden. Die Bohrungen 55 laufen in einem Punkt 56 zusammen. Eine Nut 57 weist einen
stufenförmig abgesetzten Querschnitt auf. Eine Nut 58 ist in Richtung der Mittelachse
sich konisch erweiternd ausgebildet. Diese Ausführungsform weist den Vorteil auf,
dass die Welle 13 eine hohe Steifigkeit behält. Das Material am Außenradius der Welle
13 trägt stärker zur modalen Steifigkeit bei als das Material am Innenradius. Aus
diesem Grunde ist die Nut 58 eine besonders vorteilhafte Ausführungsform.
[0123] Zusätzlich zu den Nuten kann eine Hülse 59 vorgesehen sein. Die Hülse 59 sollte aus
einem steifen Material gebildet sein, jedoch eine geringe Masse aufweisen.
[0124] Die Hülse 59 weist vorteilhaft im Bereich der Nuten Bohrungen 83 auf. Diese Bohrungen
dienen dazu, dass die Nuten 53, 54, 57, 58 und/oder Bohrungen 55 evakuiert werden
können, damit diese während der Evakuierung des Rezipienten nicht entgasen.
[0125] Fig. 9 zeigt die Welle 13 mit Nuten 39, 40. Die Nuten 39, 40 sind in axialer Richtung
gesehen in einer Höhe angeordnet, das heißt, sie bilden einen Ring in der Welle 13.
Darüber hinaus sind in einem weiteren Bereich, in dem keine Rotorscheiben 14, 15 angeordnet
sind, weitere Nuten 63, 64 vorgesehen, die ebenfalls in axialer Richtung korrespondierend
zueinander angeordnet sind und einen zweiten Ring aus Nuten bilden. Darüber hinaus
sind zwei Hülsen 59, die die Nuten 39, 40, 63, 64 abdecken. Die Hülsen 59 weisen Bohrungen
83 auf, um die Nuten 39, 40, 63, 64 evakuieren zu können.
[0126] Fig. 10 zeigt ein Wellenende 110 der Rotorwelle 13. Die Welle 13 wird von einem Magnetlager
111 getragen. Die Magnetringe 112 des Magnetlagers 111 sind an der Welle 13 angeordnet.
Magnetringe 113 des Magnetlagers 111 sind an einem Gehäuse 114 angeordnet.
[0127] Zusätzlich ist ein Kugellager 114 vorgesehen, welches als Notlager ausgebildet ist.
Das Kugellager 114 wird durch eine Feder 115 vorgespannt. In der Welle 13 ist eine
Innenbohrung 116 angeordnet. Hierdurch wird das Gewicht der Welle deutlich reduziert,
so dass das modale Verhalten des Rotors verändert wird.
[0128] Fig. 11 zeigt die Welle 13 mit Rotorscheibenpaketen 44, 45, 46, die mit nicht dargestellten
Statorscheiben-Paketen Turbomolekularpumpstufen 44, 45, 46 bilden. Der Gasstrom ist
durch einen Pfeil 47 dargestellt.
[0129] Pfeile 48 stellen den Gasstrom dar, der von zwei Haupteinlässen 24, 25 den Turbomolekularpumpstufen
45, 46 zugeführt wird. Die Pfeile 49 kennzeichnen den Gasstrom, der von zwei Nebeneinlässen
27, 28 im Bereich der Turbomolekularpumpstufen 44, 45 dem Pumpsystem zugeführt wird.
[0130] Die Nebeneinlässe 27, 28 sind im Bereich der Turbomolekularpumpstufen 44, 45 angeordnet,
während die Haupteinlässe 24, 25 ihre Zuführung zwischen den Turbomolekularpumpstufen
44, 45 und 46 haben.
[0131] Fig. 12 zeigt Vakuumpumpe 1 mit der noch einmal verdeutlich wird, die Turbomolekularpumpstufen
44, 45, 46, 49 aufweist. Die Turbomolekularpumpstufen 44, 45, 46, 49 bestehen aus
Rotorscheiben und Statorscheiben, die ineinandergreifend angeordnet sind. Darüber
hinaus sind Haupteinlässe 23, 24, 25, 26 vorgesehen, die vor der Pumpstufe 44 oder
zwischen den Pumpstufen 44, 45, 46, 49 angeordnet sind.
[0132] Die Welle 13 ist mittels eines Magnetlagers 43 und eines Kugellagers 50 gelagert.
Bei dem Kugellager 50 handelt es sich um ein Öl geschmiertes Kugellager. Die Welle
13 wird von einem Motor 51 angetrieben.
[0133] Im Bereich der Turbomolekularpumpstufe 44 ist ein Nebeneinlass 27 vorgesehen. Im
Bereich der Turbomolekularpumpstufe 45 ist ein Nebeneinlass 28 vorgesehen und im Bereich
der Turbomolekularpumpstufe 46 ist ein Nebeneinlass 52 vorgesehen.
[0134] Durch diese Ausführungsform wird die Anzahl der Einlässe von den vier Haupteinlässen
23, 24, 25, 26 auf insgesamt sieben Einlässe, nämlich zuzüglich der drei Nebeneinlässe
27, 28, 52 erhöht.
[0135] Fig. 13 zeigt einen Teilschnitt durch die Welle 13. Die Welle 13 weist die in Fig.
1 dargestellten Bereiche 29 mit dem größten Durchmesser, die daran sich anschließenden
Bereiche 30, 31 mit geringerem Durchmesser und die sich wiederum daran anschließenden
Bereiche 32, 33 mit nochmals vermindertem Durchmesser auf. In den Bereichen 30, 31
sind die Rotorscheiben 16, 17 angeordnet. In den Bereichen 32, 33 sind die Rotorscheiben
15, 18, 19 angeordnet. Die Rotorscheiben 15, 18, 19 weisen sämtlichst denselben Innendurchmesser
auf. Auch die Rotorscheiben 16, 17 weisen denselben Innendurchmesser auf. Hierdurch
ist es möglich, durch eine große Anzahl von Gleichteilen eine preiswerte Pumpe aufzubauen.
[0136] Der Durchmesserunterschied zwischen den Bereichen 29, 30 bildet den Anschlag 34.
Zwischen den Bereichen 29, 31 ist der Anschlag 36 vorgesehen. Zwischen den Bereichen
30, 32 ist der Anschlag 35 angeordnet und zwischen den Bereichen 31, 33 ist der Anschlag
37 vorgesehen.
[0137] Die Montagerichtung der Scheiben 15, 16 ist durch den Pfeil A gekennzeichnet. Die
Montagerichtung der Rotorscheiben 17, 18, 19 ist durch den Pfeil B gekennzeichnet.
Mit M ist eine Mittelachse der Welle 13 gekennzeichnet. Die Welle 13 und die Rotorscheiben
15, 16, 17, 18, 19 sind rotationssymmetrisch um die Mittelachse M aufgebaut.
[0138] Fig. 14 zeigt die Welle 13 mit Turbomolekularpumpstufen 21, 22. Die Welle 13 weist
Nuten 39, 40 auf in einem Bereich, in dem keine Rotorscheiben 14, 15, 16, 17, 18,
19 angeordnet sind.
[0139] Durch die Ausbildung von einer Nut, die eine größere Ausdehnung in axialer Richtung
als in Umfangsrichtung der Welle 13 hat, wird die Masse der Welle reduziert, so dass
sich das modale Verhalten des Rotors deutlich verbessert.
[0140] Fig. 15 zeigt eine Welle 13 mit zwei Turbomolekularpumpstufen 21, 22, die in einem
Gehäuse 41 einer Splitflow-Pumpe angeordnet sind. Das Gehäuse 41 weist einen Einlass
24 auf.
[0141] Diese zum Stand der Technik gehörende Ausführungsform zeigt, dass ein Kundengehäuse
60 einen Einlass 61 aufweist, der in radialer Richtung versetzt zu dem Einlass 24
ausgebildet ist. Die axiale Länge der Pumpe und der Kundenkammer 60 passen nicht zusammen.
[0142] Gemäß Fig. 16 ist eine Lösung dargestellt, wie trotzdem ein möglichst hoher Leitwert
erzielt werden kann. Das Gehäuse 41 weist hierzu im Bereich des Einlasses 24 einen
Steg 62 auf. Durch die Ausbildung des Steges, an dem die Statorscheiben (nicht dargestellt)
befestigt werden können, erhält man im Bereich des Einlasses 24 einen größeren Querschnitt
und damit einen höheren Leitwert.
[0143] Fig. 17 zeigt eine Vakuumpumpe 1 mit Vakuumanschlüssen 72, 73, 75. Der Vakuumanschluss
72 weist eine Elastomerdichtung 76 sowie eine Spaltdichtung 77 auf. Zwischen der Elastomerdichtung
76 und der Spaltdichtung 77 ist ein Absaugkanal 78 angeordnet, in dem Zwischenabsaugungen
79 angeordnet sind. In dem Vakuumanschluss 75 ist eine Absaugöffnung 80 angeordnet.
Die Zwischenabsaugungen 79 führen in eine Durchführungsbohrung 81, die zur Zwischenstufe
73 geführt ist. Für eine Dichtungsanordnung des Vakuumanschlusses 75 ist ein Verbindungskanal
82 vorgesehen, so dass der Vakuumanschluss 75 über die Absaugöffnung 80 ebenfalls
über die Durchführungsbohrung 82 evakuiert wird.
[0144] Fig. 18 zeigt die Hülse 59, die einen Träger 117 aufweist, welcher als im wesentlichen
zylindermantelförmiger Basisabschnitt ausgebildet ist. An der radialen Außenseite
des Trägers 14 ist eine Strukturierung mit mehreren Strukturelementen 118 vorgesehen,
die im vorliegenden illustrativen Ausführungsbeispiel als in Richtung der Längsachse
der Hülse 59 langgestreckte gerade Stege ausgebildet sind. Die Strukturelemente 118
können als Holweck- oder Kreuzkanalpumpstufe ausgebildet sein. Die Strukturelemente
118 können auch andere Pumpstufenstrukturen aufweisen.
[0145] Fig. 19 zeigt die Welle 13, auf der die Hülse 59 angeordnet ist. Die Hülse 59 trägt
eine Turbomolekularpumpstruktur, die aus Scheiben 119, 120 besteht. An der Hülse 59
angrenzend ist die Rotorscheibe 14 vorgesehen.
[0146] In die Turbomolekularpumpstruktur der Hülse 59, gebildet durch die Scheiben 119,
120, greifen Statorscheiben 121, 122, 123.
[0147] Die Scheiben 14, 119 bis 120 sind lediglich schematisch dargestellt.
Bezugszahlen
[0148]
- 1
- Vakuumpumpe
- 2
- Mehrkammervakuumpumpanlage
- 3
- Kammer
- 4
- Kammer
- 5
- Kammer
- 6
- Kammer
- 7
- Trennwände
- 8
- Trennwände
- 9
- Trennwände
- 10
- Bohrungen
- 11
- Bohrungen
- 12
- Bohrungen
- 13
- Welle
- 14
- Rotorscheiben
- 15
- Rotorscheiben
- 16
- Rotorscheiben
- 17
- Rotorscheiben
- 18
- Rotorscheiben
- 19
- Rotorscheiben
- 20
- Statorscheiben
- 21
- Turbomolekularpumpstufe mit Scheibenpaket
- 22
- Turbomolekularpumpstufe mit Scheibenpaket
- 23
- Haupteinlass
- 24
- Haupteinlass
- 25
- Haupteinlass
- 26
- Haupteinlass
- 27
- Nebeneinlass
- 28
- Nebeneinlass
- 29
- Bereich der Welle 13 mit größtem Durchmesser
- 30
- Bereich der Welle 13 mit geringerem Durchmesser
- 31
- Bereich der Welle 13 mit geringerem Durchmesser
- 32
- Bereich der Welle 13 mit kleinstem Durchmesser
- 33
- Bereich der Welle 13 mit kleinstem Durchmesser
- 34
- Anschlag
- 35
- Anschlag
- 36
- Anschlag
- 37
- Anschlag
- 38
- Hülse
- 39
- Nut
- 40
- Nut
- 41
- Gehäuse
- 42
- Einschnürung
- 43
- Magnetlager
- 43a
- Halterung
- 43b
- Gegenlager
- 44
- Turbomolekularpumpstufe mit Rotorscheibenpaketen
- 45
- Turbomolekularpumpstufe mit Rotorscheibenpaketen
- 46
- Turbomolekularpumpstufe mit Rotorscheibenpaketen
- 47
- Pfeil Gasstrom
- 48
- Pfeil Gasstrom
- 49
- Turbomolekularpumpstufe
- 50
- Kugellager
- 51
- Motor
- 52
- Nebeneinlass
- 53
- Nut
- 54
- Nut
- 55
- Bohrungen
- 56
- Schnittpunkt
- 57
- Nut
- 58
- Nut
- 59
- Hülse
- 60
- Gehäuse
- 61
- Einlass
- 62
- Steg
- 72
- Vakuumanschlüsse
- 73
- Vakuumanschlüsse
- 75
- Vakuumanschlüsse
- 76
- Elastomerdichtung
- 77
- Spaltdichtung
- 78
- Absaugkanal
- 79
- Zwischenabsaugungen
- 80
- Absaugöffnung
- 81
- Durchführungsbohrung
- 82
- Verbindung
- 83
- Bohrungen
- 101
- Motormagnet
- 102
- Einschnürung Welle
- 103
- Ring
- 104
- Ende Rotorwelle 13
- 105
- Ende Hülse 59
- 106
- Ende Hülse 59
- 107
- Wellenelement
- 108
- Wellenelement
- 109
- Hohlraum
- 110
- Wellenende
- 111
- Magnetlager
- 112
- Magnetringe
- 113
- Magnetringe
- 114
- Kugellager
- 115
- Feder
- 116
- Innenbohrung
- 117
- Träger
- 118
- Strukturelemente
- 119
- Rotorscheibe
- 120
- Rotorscheibe
- 121
- Statorscheibe
- 122
- Statorscheibe
- 123
- Statorscheibe
- A
- Pfeil
- B
- Pfeil
- L
- axiale Länge
- M
- Mittelachse
1. Splitflow-Vakuumpumpe mit wenigstens zwei radialen Einlässen, wobei die Vakuumpumpe
Statorscheiben und auf einer Welle angeordnete Rotorscheiben aufweist, wobei auf der
Welle wenigstens ein Scheibenpaket angeordnet ist, dadurch gekennzeichnet, dass in der Welle (13) in radialer Richtung wenigstens zwei Nuten (39, 40, 53, 54, 57,
58) und/oder Bohrungen (55, 56) angeordnet sind, die in axialer Richtung der Welle
länger ausgebildet sind als in Umfangsrichtung der Welle (13) oder dass die Welle
(13) in axialer Richtung wenigstens eine Einschnürung aufweist.
2. Vakuumpumpe nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die wenigstens zwei Nuten (39, 40, 53, 54, 57, 58) und/oder Bohrungen (55, 56) radialsymmetrisch
in der Welle (13) angeordnet sind.
3. Vakuumpumpe nach einem der Ansprüche 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, dass die wenigstens zwei Nuten (39, 40, 53, 54, 57, 58) und/oder Bohrungen (55, 56) wenigstens
einen Ring bildend in der Welle (13) angeordnet sind.
4. Vakuumpumpe nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Nuten (39, 40, 53, 54, 57, 58) und/oder Bohrungen (55, 56) einen rechteckförmigen
und/oder einen sich konisch verjüngenden und/oder sich konisch erweiternden und/oder
einen stufenförmig abgesetzten Querschnitt aufweisen.
5. Vakuumpumpe nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Bohrungen (55, 56) als Durchgangsbohrungen ausgebildet sind.
6. Splitflow-Vakuumpumpe mit wenigstens zwei radialen Einlässen, wobei die Vakuumpumpe
Statorscheiben und auf einer Welle angeordnete Rotorscheiben aufweist, wobei auf der
Welle wenigstens ein Scheibenpaket angeordnet ist, dadurch gekennzeichnet, dass auf der Welle (13) wenigstens eine Hülse (59) angeordnet ist.
7. Vakuumpumpe nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, dass die Hülse (59) an wenigstens einem Ende (106) einen Ring (103) aufweist.
8. Vakuumpumpe nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass auf der Welle (13) zumindest im Bereich der Nuten (39, 40, 53, 54, 57, 58, 63, 64)
und/oder Bohrungen und/oder der wenigstens einen Einschnürung eine Hülse (59) angeordnet
ist.
9. Vakuumpumpe nach einem der Ansprüche 6 bis 8, dadurch gekennzeichnet, dass an wenigstens einem Wellenende (104) im Bereich einer Verjüngung wenigstens eine
Hülse (59) angeordnet ist.
10. Vakuumpumpe nach Anspruch 9, dadurch gekennzeichnet, dass die wenigstens eine Hülse (59) auf einer Seite (105) auf der Welle (13) und auf einer
gegenüberliegenden Seite (106) auf wenigstens einem Tragring (103) gelagert ist.
11. Vakuumpumpe nach Anspruch 10, dadurch gekennzeichnet, dass zwischen einem die Hülse (59) tragenden Bereich der Welle (13) und dem wenigstens
einen Tragring (103) wenigstens ein Magnetring (101) eines Magnetlagers angeordnet
ist.
12. Vakuumpumpe nach einem der Ansprüche 6 bis 11,
dadurch gekennzeichnet, dass die wenigstens eine Hülse (59) auf einem Bereich der Welle (13) mit Vollmaterial
angeordnet ist.
13. Vakuumpumpe nach einem der Ansprüche 6 bis 11,
dadurch gekennzeichnet, dass die wenigstens eine Hülse (59) in einem Bereich ohne Rotorwelle zwischen zwei Wellenelementen
(107, 108) angeordnet ist.
14. Vakuumpumpe nach einem der Ansprüche 6 bis 13, dadurch gekennzeichnet, dass in der Hülse (59) wenigstens eine Bohrung (83) angeordnet ist.
15. Splitflow-Vakuumpumpe mit wenigstens zwei radialen Einlässen, wobei die Vakuumpumpe
Statorscheiben und auf einer Welle angeordnete Rotorscheiben aufweist, wobei auf der
Welle wenigstens ein Scheibenpaket angeordnet ist, dadurch gekennzeichnet, dass die Welle (13) eine entlang einer Längsachse angeordnete Innenbohrung (116) aufweist.
16. Vakuumpumpe nach Anspruch 15, dadurch gekennzeichnet, dass ein Wellenende (110), in dem die Innenbohrung (116) angeordnet ist, im Querschnitt
topfförmig ohne inneren Lagerzapfen ausgebildet ist.