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(11) |
EP 2 375 074 B1 |
(12) |
EUROPÄISCHE PATENTSCHRIFT |
(45) |
Hinweis auf die Patenterteilung: |
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08.11.2017 Patentblatt 2017/45 |
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Anmeldetag: 17.02.2011 |
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Internationale Patentklassifikation (IPC):
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(54) |
Rotor für eine Vakuumpumpe
Rotor for a vacuum pump
Rotor pour une pompe à vide
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(84) |
Benannte Vertragsstaaten: |
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AL AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT NL
NO PL PT RO RS SE SI SK SM TR |
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Priorität: |
25.03.2010 DE 102010012759
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(43) |
Veröffentlichungstag der Anmeldung: |
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12.10.2011 Patentblatt 2011/41 |
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Patentinhaber: Pfeiffer Vacuum GmbH |
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35614 Asslar (DE) |
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Erfinder: |
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- Oberbeck, Sebastian
35781 Weilburg (DE)
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Vertreter: Manitz Finsterwald Patentanwälte PartmbB |
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Postfach 31 02 20 80102 München 80102 München (DE) |
(56) |
Entgegenhaltungen: :
EP-A1- 2 042 742 DE-C- 810 419 US-A- 6 164 945
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DE-C- 696 509 US-A- 2 491 678
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Anmerkung: Innerhalb von neun Monaten nach der Bekanntmachung des Hinweises auf die
Erteilung des europäischen Patents kann jedermann beim Europäischen Patentamt gegen
das erteilte europäischen Patent Einspruch einlegen. Der Einspruch ist schriftlich
einzureichen und zu begründen. Er gilt erst als eingelegt, wenn die Einspruchsgebühr
entrichtet worden ist. (Art. 99(1) Europäisches Patentübereinkommen). |
[0001] Die Erfindung betrifft einen Rotor für eine Vakuumpumpe nach dem Oberbegriff des
ersten Anspruchs.
[0002] Unter den Vakuumpumpen sind Wälzkolbenpumpen und Schraubenpumpen seit Jahrzehnten
am Markt erfolgreich und aus der Vakuumerzeugung nicht mehr wegzudenken. Beispielhaft
seien hier die Verwendung in Metallurgie, Vakuumtrocknung und Chemietechnik genannt.
In beiden Pumpenarten kommen in der Regel zwei Wellen zum Einsatz, auf denen jeweils
ein Kolben angeordnet ist. Durch Drehung der Wellen und Zusammenwirken der Kolben,
beispielsweise durch Ineinanderkämmen, wird Gas verdrängt und damit die Pumpwirkung
erzielt.
[0003] Konventionell werden die Kolben für diese Art Pumpen aus einer Metalllegierung gegossen,
wie es beispielsweise in der Einleitung der
DE 40 30 702 A1 beschrieben ist. Sie zeichnen sich demnach durch eine im Verhältnis zum Kolbenvolumen
hohe Masse aus. Die hierdurch bedingten hohen Massenträgheitsmomente erfordern hohe
Antriebsleistungen der Pumpe und führten zu hohen Lagerbelastungen. Die im vorgenannten
Patentdokument beschriebene Lösung, den Rotor zur Gewichtsreduzierung aus Scheiben
aufzubauen, hat sich nicht durchgesetzt. Dies dürfte an Nachteilen wie beispielsweise
der Gefahr virtueller Lecks im Scheibenzwischenraum und dem Aufwand zur Sicherung
der mechanischen Stabilität liegen.
[0004] Weiter beschreiben die Druckschriften
DE 810419 C und
US 2491678 A ein Gebläse, welches jeweils hohle Drehkolbenrotoren aufweisen. Die
US 6164945 A zeigt einen hohlen Rotor einer Wälzkolbenvakuumpumpe.
[0005] Es ist daher Aufgabe der Erfindung, einen Rotor für eine Vakuumpumpe mit einem verbesserten
Verhältnis von Volumen zu Masse vorzustellen.
[0006] Diese Aufgabe wird gelöst durch einen Rotor mit den Merkmalen des Anspruchs 1. Die
weiteren Ansprüche 2 bis 8 geben vorteilhafte Weiterbildungen dieser Erfindung an.
[0007] Die in den Ansprüchen definierten Merkmale führten zu einem Kolben mit sehr gutem
Verhältnis von Masse zu Volumen, wodurch vorteilhafte Massenträgheitsmomente erreicht
werden. Die Bauweise mit einem Mantelkörper erlaubt vergleichsweise dünnwandige Kolben.
Der Materialaufwand ist gering, zudem kommen günstige Fertigungsverfahren zum Einsatz,
so dass eine günstige Herstellbarkeit erreicht wird. Die notwendige Antriebsleistung
wird reduziert, ebenso die Belastung der Lager. Zudem ermöglichen die vorgestellten
Maßnahmen höhere Drehzahlen, so dass kompaktere Vakuumpumpen entstehen, die ein höheres
Saugvermögen pro Pumpenvolumen besitzen. Die Konstruktion mit geringeren Massen und
weniger massiven Bauelementen wirkt sich außerdem vorteilhaft im Falle von Rotor-Rotor-
oder Rotor-Gehäuse-Kontakt aus.
[0008] An Hand von Ausführungsbeispielen und deren Weiterbildungen soll die Erfindung näher
erläutert und die Darstellung ihrer Vorteile vertieft werden.
[0009] Es zeigen:
- Fig. 1:
- Schnitt in Wellenrichtung durch eine Wälzkolbenvakuumpumpe,
- Fig. 2:
- Schnitt senkrecht zur Wellenrichtung durch eine Wälzkolbenvakuumpumpe entlang 1-1',
- Fig. 3:
- Schnitt in Wellenrichtung durch einen Rotor für eine Wälzkolbenvakuumpumpe,
- Fig. 4:
- Teilschnitt durch die Deckplatte und den Mantelkörper,
- Fig. 5:
- Schnitt in Wellenrichtung durch einen Rotor für eine mehrstufige Wälzkolbenvakuumpumpe.
[0010] In Fig. 1 ist ein Schnitt durch eine Wälzkolbenvakuumpumpe, nachfolgend Wälzkolbenpumpe,
dargestellt. Im Gehäuse 2 der Wälzkolbenpumpe befindet sich der Schöpfraum 4. Die
Wälzkolbenpumpe weist einen ersten Rotor 10 und einen zweiten Rotor 12 auf. Diese
sind in Lagern 20, 22 und 24, 26 drehbar gelagert. In einem Getrieberaum 6 sind mit
den Rotoren verbundene Synchronisationszahnräder 30 und 32 angeordnet, die eine synchrone
Drehung in entgegengesetztem Drehsinn erzeugen und ein berührungsloses Abwälzen der
Rotoren aufeinander bewirken. Einer der Rotoren wird über eine Magnetkupplung 34 von
einem Motor 36 angetrieben, der sich in einem Antriebsabschnitt 8 des Gehäuses befindet.
[0011] Alternativ kann auf die Magnetkupplung verzichtet werden und ein direkter Antrieb
des Rotors vorgesehen sein. Außerdem kann statt der mechanischen Synchronisation mit
den Synchronisationszahnrädern eine elektrische Synchronisation vorgesehen sein, bei
der dann jeder der beiden Rotoren von einem ihm zugeordneten Motor angetrieben wird.
[0012] Ein Schnitt durch die Wälzkolbenpumpe entlang der Linie 1-1' ist in Fig. 2 dargestellt.
Durch einen Gaseintrittsflansch 14 gelangt Gas aus dem hier nicht gezeigten Rezipienten
in die Wälzkolbenpumpe. Dort wird es durch die gemäß Pfeilrichtung gegensinnig rotierenden
Kolben gefördert, zwischenzeitlich in dem Schöpfraum 4 eingeschlossen und durch den
Gasaustrittsflansch 16 ausgestoßen. Die beiden Rotoren 10 und 12 weisen als Wälzkolbenprofil
einen in etwa achtförmigen Querschnitt auf, wobei je eine Hälfte der Acht einem Flügel
entspricht. In ihrem Inneren sind die Rotoren hohl, wobei der Querschnitt des Hohlraums
im Wesentlichen dem achtförmigen Querschnitt folgt. In Weiterbildungen können die
Rotoren auch mehr als zwei Flügel aufweisen, beispielsweise drei oder vier.
[0013] Der in Fig. 3 gezeigte Schnitt durch einen der Rotoren entlang der Achse verdeutlicht
seinen Aufbau. Er weist einen Kolben 38 auf, mit welchem die Pumpwirkung erzielt wird.
An den sich gegenüberliegenden Stirnseiten sind Wellenzapfen 50 und 52 vorgesehen,
welche von den Lagern der Wälzkolbenpumpe getragen werden. Auch Antrieb, Magnetkupplung,
Synchronisationszahnräder und Ölverteilscheiben werden auf diesen Wellenzapfen angeordnet.
Der Kolben ist aus mehreren Teilen aufgebaut, die zusammen den Hohlraum 54 begrenzen.
Zu diesen Teilen gehört der Mantelkörper 40, der als Zylinder mit achtförmigen Querschnitt
wie in Fig. 2 und Längsachse entlang der Rotationsachse 100 gestaltet ist. Dieser
Mantelkörper ist vorzugsweise aus kohlenstofffaserverstärktem Kunststoff (CFK), glasfaserverstärktem
Kunststoff (GFK) oder Aluminium hergestellt. Die Herstellung des Mantelkörpers umfasst
bei den ersten beiden Stoffen das Wickeln der Fasern auf einen Formkörper. Bei der
Herstellung aus Aluminium kann vorteilhaft Extrudieren, Spritzguss oder Druckguss
zum Einsatz kommen. Mit diesen Werkstoffen wird ein vorteilhaftes Verhältnis von Wandstärke
des Kolbens zu Volumen erreicht. Dadurch ergeben sich geringe Massen, hohe Stabilität
und günstige Herstellung.
[0014] Stirnseitig wird der Mantelkörper von einer ersten Deckplatte 42 und einer zweiten
Deckplatte 44 an der gegenüberliegenden Stirnseite verschlossen. Vorzugsweise ist
der Übergang von Mantelkörper zu Deckplatte vakuumdicht ausgeführt, so dass ein Gasfluss
zwischen Hohlraum 54 und Umgebung des Kolbens, d.h. u.a. dem Schöpfraum, soweit unterbunden
ist, dass die Vakuumdaten der Vakuumpumpe nicht durch aus dem Kolben austretendes
Gas beeinträchtigt werden.
[0015] In dem vorliegenden Ausführungsbeispiel sind beide Deckplatten als Verbundbauteile
ausgeführt. Dem Hohlraum zugewandt sind jeweils Verschlussplatten 420 und 440. Sie
sind aus dem gleichen Material wie der Mantelkörper. Alternativ können unterschiedliche
Materialien eingesetzt werden, wobei dann die Wärmeausdehnungseigenschaften berücksichtig
werden müssen. Beispielsweise kann ein Material mit passender Wärmeausdehnung zum
Einsatz kommen, d.h. die unterschiedliche Ausdehnung ist derart, dass sie nicht zu
Verspannungen führt, welche den Kolben zu stark verformen oder sogar zerstören. Eine
zu starke Verformung des Kolbens ist gegeben, wenn die Spalte zwischen den Kolben
untereinander oder zum Gehäuse aufgezehrt sind.
[0016] Mit den Verschlussplatten sind Übergangsplatten 422 und 442 verbunden. Deren Funktion
ist es, einen Übergang zwischen den Wellenzapfen einerseits und den Verschlussplatten
andererseits zu schaffen. Gerade der Einsatz von CFK oder GFK für Mantelkörper und
Verschlussplatten würde einen direkten Übergang zum metallischen Wellenzapfen erfordern.
Dies ist konstruktiv schwierig und wird durch die Übergangsplatten in vorteilhafter
Weise erleichtert. Die Übergangsplatte kann durch Schweißen, Löten, Pressen oder Schrumpfen
mit dem Wellenzapfen verbunden werden. Hierzu ist es vorteilhaft, die Übergangsplatte
aus einer Metalllegierung zu gestalten. Der Vorteil des Einsatzes von Wellenzapfen
ist in der Gewichtsreduzierung und in der Vermeidung ungleicher Wärmeausdehnung von
Mantelkörper und Welle zu sehen.
[0017] Zwei vorteilhafte Arten der Verbindung zwischen Übergangsplatte und Verschlussplatte
sind in Fig. 3 gezeigt. Eine oder mehrere Schrauben 60 stellen eine direkte Verbindung
her. Alternativ oder zusätzlich kann ein Zuganker 56 vorgesehen sein, der den Hohlraum
komplett durchsetzt und mit dem die Übergangsplatten gegeneinander und damit auch
gegen die Verschlussplatten gezogen werden.
[0018] In einer Weiterbildung ist innerhalb des Hohlraums eine Stützwand 70 vorgesehen,
welche eine oder mehrere Bohrungen besitzen kann, durch die die Zuganker hindurchgeführt
sind. Diese Stützwand reduziert den Verformungsspielraum für den Mantelkörper und
ermöglicht dadurch geringe Wandstärken des Mantelkörpers.
[0019] Der Bereich des Kolbens mit Verschlussplatte, Mantelkörper, Übergangsplatte und Schraube
ist in Fig. 4 nochmals detaillierter dargestellt. Mantelkörper 40 und Verschlussplatte
420 sind an der Verbindung 68 miteinander verbunden. Vorteilhaft umgibt der Mantelkörper
dabei die Verschlussplatte in radialer Richtung. Die Verbindung erfolgt durch Kleben
oder durch Schweißen. Die Übergangsplatte 422 schließt in radialer Richtung bündig
mit dem Mantelkörper ab. Auf diese Weise werden Toträume verhindert. Da Unterschiede
im Temperaturausdehnungsverhalten zwischen Übergangsplatte und Verschlussplatte nicht
ausgeschlossen werden können, ist es vorteilhaft, die Schraube 60 schwimmend anzuordnen.
Hierzu ist die Schraube in ein Relativbewegungen zwischen Verschlussplatte und Übergangsplatte
erlaubendem Element gefasst. In einfacher, kostengünstiger und zudem vakuumdichter
Weise gelingt dies, in dem ein elastomerer Dichtring 66 zwischen dem Schraubenkopf
und der Übergangsplatte liegt. Die Schraube durchsetzt eine Bohrung in der Übergangsplatte
und ist vertieft angeordnet. In der Verschlussplatte greift das Gewinde der Schraube
in das Gewinde einer eingeklebten Gewindebuchse 62. Der Spalt 64 um den Schraubenschaft
erlaubt eine ungleichmäßige Ausdehnung von Übergangsplatte und Verschlussplatte, wobei
der Schraubenkopf auf der Dichtung 66 schwimmt.
[0020] Einige weitere, vorteilhafte Weiterbildungen des vorstehend beschriebenen Beispiels
sind denkbar.
[0021] Anstelle zweier Wellenzapfen kann eine durchgehende Welle verwendet werden. Wird
eine solche durchgehende Welle verwendet, ist bei einer Wahl der Materialien von Welle
und Mantelkörper mit unterschiedlichen Wärmeausdehnungskoeffizienten dafür Sorge zu
tragen, dass Spannungen durch die ungleiche Ausdehnung vermieden werden. Dies gelingt
beispielsweise durch eine schwimmende Gestaltung der Verbindung 68.
[0022] Wenn die Verbindung zwischen 420 und 422 vor Verbindung von Deckplatte und Mantelkörper
erfolgen soll, ist es vorteilhaft, die Stirnseite 69 des Mantelkörpers mit der Übergangsplatte
422 zu verbinden, beispielsweise durch Kleben oder Schweißen.
[0023] Gemäß einer Weiterbildung können Mantelkörper und wenigstens eine Verschlussplatte
aus einem Stück gefertigt sein. Hierdurch werden Dichtheit und Stabilität weiter verbessert.
[0024] Der Rotor kann durch geeignete Form des Mantelkörpers als Schraubenpumpenrotor gestaltet
werden. Hierzu wird der Querschnitt des Mantelkörpers angepasst und eine Verwendelung
entlang der Rotorachse vorgesehen.
[0025] Eine Weiterbildung des Rotors ist in Fig. 5 im Schnitt entlang der Drehachse gezeigt.
Der dort gezeigte Rotor 500 findet in einer zweistufigen Vakuumpumpe Verwendung. Der
nachfolgend beschriebene Aufbau lässt sich leicht auf mehr als zwei Pumpstufen erweitern.
[0026] Der Rotor weist einen ersten und einen zweiten Kolben 502 und 504 auf. Die Länge
L
1 des ersten Kolbens ist größer als die Länge L
2 des zweiten Kolbens. Der erste Kolben ist somit für die Verwendung in der hochvakuumseitigen
Pumpstufe einer zweistufigen Vakuumpumpe angepasst.
[0027] Der erste Kolben weist Deckplatten 520 und 526 auf, die jeweils als Verbund aus einer
Verschlussplatte 522 und 528 mit einer Übergangsplatte 524 und 530 gestaltet sind.
Zwischen den Deckplatten ist ein Mantelkörper 532 angeordnet. Die Übergangsplatte
530 ist mit einem Wellenzapfen 570 verbunden, der zur Aufnahme in einer Lagerung des
Rotors vorgesehen ist.
[0028] Analog zum ersten Kolben weist der zweite Kolben Deckplatten 540 und 546 auf, die
ihrerseits durch einen Verbund aus einer Verschlussplatte 542 und 548 mit einer Übergangsplatte
544 und 550 gebildet werden. Zwischen den Deckplatten ist ein Mantelkörper 552 vorgesehen.
Die Übergangsplatte 544 ist mit einem Wellenzapfen 560 verbunden, der wiederum zur
Aufnahme in einer Lagerung des Rotors vorgesehen ist.
[0029] Beiden Kolben sind durch ein Wellenstück miteinander verbunden. Dieses Wellenstück
weist Abschnitte 562 und 566 auf. Der Abschnitt 562 ist mit der Übergangsplatte 550
des zweiten Kolbens, der Abschnitt 566 mit der Übergangsplatte 524 des ersten Kolbens
verbunden. Die Verbindung der Abschnitte untereinander muss derart gestaltet sein,
dass sie den durch Drehung des Rotors während des Betriebes der Vakuumpumpe entstehenden
Drehmomenten standhält. Denkbar ist eine Verklebung oder eine formschlüssige Verbindungen
wie ein Schwalbenschwanz. Den geringsten Fluchtungsfehler weist die in Fig. 5 gezeigte
Lösung auf. Der Abschnitt 562 besitzt einen Vorsprung 564, der mit einer passenden
Ausnehmung des Abschnitts 566 in Eingriff steht und mittels eines Stifts 568 gesichert
ist. Der mehrstufige Rotor gemäß Ausführungsbeispiel ist sehr gut für den modularen
Aufbau einer Baureihe von mehrstufigen Pumpen geeignet, denn für unterschiedliche
Mitglieder können gemeinsame Teile, bspw. Wellenzapfen, Deckplatten, Verschlussplatten,
Mantelkörper, usw. verwendet werden..
1. Rotor (10, 12; 500) für eine Vakuumpumpe mit einem Kolben (38; 502, 504), wobei der
Kolben einen Mantelkörper (40; 532, 552) und eine mit einer Stirnseite des Mantelkörpers
verbundene Deckplatte (42, 44; 520, 526, 540, 546) aufweist, dadurch gekennzeichnet, dass die Deckplatte (42, 44; 520, 526, 540, 546) eine Verschlussplatte (420, 440; 522,
528, 542, 548) und eine mit der Verschlussplatte verbundene Übergangsplatte (422,
442; 524, 530, 544, 550) umfasst.
2. Rotor (10, 12; 500) für eine Vakuumpumpe nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass eine in einem Relativbewegungen zwischen Verschlussplatte und Übergangsplatte erlaubenden
Element (66) gefasste Schraube (60) die Verschlussplatte (420, 440; 522, 528, 542,
548) und die Übergangsplatte (422, 442; 524, 530, 544, 550) miteinander verbindet.
3. Rotor (10, 12; 500) für eine Vakuumpumpe nach einem der Ansprüche 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, dass Verschlussplatte (420, 440; 522, 528, 542, 548) und Mantelkörper (40; 532, 552) vakuumdicht
miteinander verbunden sind.
4. Rotor (10, 12; 500) für eine Vakuumpumpe nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, dass der Hauptbestandteil der Übergangsplatte (422, 442; 524, 530, 544, 550) Metall und
der Hauptbestandteil von Verschlussplatte (420, 440; 522, 528, 542, 548) und Mantelkörper
(40) ein faserverstärkter Verbundwerkstoff ist.
5. Rotor (10, 12; 500) für eine Vakuumpumpe nach einem der vorhergehenden Ansprüche,
dadurch gekennzeichnet, dass mit der Übergangsplatte (422, 442; 530, 544) ein Wellenzapfen (50, 52; 560, 570)
verbunden ist.
6. Rotor (10, 12; 500) für eine Vakuumpumpe nach einem der vorhergehenden Ansprüche,
dadurch gekennzeichnet, dass er einen zweiten Kolben (504) aufweist.
7. Vakuumpumpe, dadurch gekennzeichnet, dass sie einen Rotor (10, 12; 500) nach einem der vorhergehenden Ansprüche umfasst.
8. Vakuumpumpe nach Anspruch 7, dadurch gekennzeichnet, dass der Mantelkörper (40; 532; 552) im Querschnitt ein Wälzkolbenprofil aufweist.
1. A rotor (10, 12; 500) for a vacuum pump having a piston (38; 502, 504), wherein the
piston has a jacket body (40; 532, 552) and a cover plate (42, 44; 520, 526, 540,
546) connected to an end face of the jacket body, characterized in that the cover plate (42, 44; 520, 526, 540, 546) comprises a closure plate (420, 440;
522, 528, 542, 548) and a transition plate (422, 442; 524, 530, 544, 550) connected
to the closure plate.
2. A rotor (10, 12; 500) for a vacuum pump in accordance with claim 1, characterized in that a screw (60) accommodated in an element (66), which allows relative movements between
the closure plate and the transition plate, connects the closure plate (420, 440;
522, 528, 542, 548) and the transition plate (422, 442; 524, 530, 544, 550) to one
another.
3. A rotor (10, 12; 500) for a vacuum pump in accordance with one of the claims 1 or
2, characterized in that the closure plate (420, 440; 522, 528, 542, 548) and the jacket body (40; 532, 552)
are connected to one another in a vacuum-tight manner.
4. A rotor (10, 12; 500) for a vacuum pump in accordance with any one of the claims 1
to 3, characterized in that the main component of the transition plate (422, 442; 524, 530, 544, 550) is metal
and the main component of the closure plate (420, 440; 522, 528, 542, 548) and of
the jacket body (40) is a fiber-reinforced composite.
5. A rotor (10, 12; 500) for a vacuum pump in accordance with any one of the preceding
claims, characterized in that a shaft extension (50, 52; 560, 570) is connected to the transition plate (422, 442;
530, 544).
6. A rotor (10, 12; 500) for a vacuum pump in accordance with any one of the preceding
claims, characterized in that it has a second piston (504).
7. A vacuum pump, characterized in that it comprises a rotor (10, 12; 500) in accordance with any one of the preceding claims.
8. A vacuum pump in accordance with claim 7, characterized in that the jacket body (40; 532; 552) has a Roots profile in cross-section.
1. Rotor (10, 12 ; 500) pour une pompe à vide, comportant un piston (38 ; 502, 504),
dans lequel
le piston comprend un corps formant enveloppe (40 ; 532, 552) et une plaque de couverture
(42, 44 ; 520, 526, 540, 546) reliée à la face frontale du corps formant enveloppe,
caractérisé en ce que
la plaque de couverture (42, 44 ; 520, 526, 540, 546) comprend une plaque d'obturation
(420, 440 ; 522, 528, 542, 548) et une plaque de transition (422, 442 ; 524, 530,
544, 550) reliée à la plaque d'obturation.
2. Rotor (10, 12 ; 500) pour une pompe à vide selon la revendication 1, caractérisé en ce que
une vis (60) engagée dans un élément (66) permettant des mouvements relatifs entre
la plaque d'obturation et la plaque de transition relie la plaque d'obturation (420,
440 ; 522, 528, 542, 548) et la plaque de transition (422, 442 ; 524, 530, 544, 550)
l'une à l'autre.
3. Rotor (10, 12 ; 500) pour une pompe à vide selon l'une des revendications 1 ou 2,
caractérisé en ce que
la plaque d'obturation (420, 440 ; 522, 528, 542, 548) et le corps formant enveloppe
(40 ; 532, 552) sont reliés l'un à l'autre de façon étanche au vide.
4. Rotor (10, 12 ; 500) pour une pompe à vide selon l'une des revendications 1 à 3,
caractérisé en ce que
le composant principal de la plaque de transition (422, 442 ; 524, 530, 544, 550)
est du métal et le composant principal de la plaque d'obturation (420, 440 ; 522,
528, 542, 548) et du corps formant enveloppe (40) est un matériau composite renforcé
de fibres.
5. Rotor (10, 12 ; 500) pour une pompe à vide selon l'une des revendications précédentes,
caractérisé en ce que
un tourillon d'arbre (50, 52 ; 560, 570) est relié à la plaque de transition (422,
442 ; 530, 544).
6. Rotor (10, 12 ; 500) pour une pompe à vide selon l'une des revendications précédentes,
caractérisé en ce que
il comprend un second position (504).
7. Pompe à vide,
caractérisée en ce que
elle comprend un rotor (10, 12 ; 500) selon l'une des revendications précédentes.
8. Pompe à vide selon la revendication 7,
caractérisée en ce que
le corps formant enveloppe (40 ; 532 ; 552) présente en section transversale un profil
en forme de lobes.
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