Befestigungsvorrichtung für Vakuumpumpe

Beschreibung

[0001] Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung zum Befestigen einer Vakuumpumpe, insbesondere einer Turbomolekularvakuumpumpe, an einer Basis gemäß dem Oberbegriff des Anspruchs 1, wie beispielsweise aus der JP 2009 209770 A bekannt. Ferner beschreibt die US 6 485 254 B1 eine Energie absorbierende Kupplung, mittels derer sich eine Vakuumpumpe an eine zu evakuierende Kammer anschließen lässt.

[0002] Herkömmlich werden Vakuumpumpen starr an der jeweiligen Basis befestigt, beispielsweise mittels Schrauben. Die Basis selbst ist z.B. am Boden oder an einem so genannten Pumpstand verankert bzw. wird von einem Pumpstand oder einer anderen Einrichtung gebildet.

[0003] Kommt es zu einem Störfall, beispielsweise einem so genannten Crash oder Rotorburst, der Vakuumpumpe, wird die gesamte Energie der Rotationseinheit in sehr kurzer Zeit in die Basis geleitet. Die Basis kann sich hierbei unkontrolliert bewegen und es können sich Teile von der Basis lösen. Dem damit verbundenen Gefahrenpotenzial muss in geeigneter Weise begegnet werden.

[0004] Es ist folglich eine Aufgabe der Erfindung, eine Vorrichtung zum Befestigen einer Vakuumpumpe zu schaffen, welche die Vakuumpumpe derart an einer Basis befestigt, dass bei einem Störfall die Umgebung der Vakuumpumpe nicht gefährdet ist.

[0005] Die Lösung dieser Aufgabe erfolgt durch eine Befestigungsvorrichtung mit den Merkmalen des Anspruchs 1.

[0006] Erfindungsgemäß ist zumindest ein Energieaufnehmer vorgesehen, der mit einem pumpenseitigen Abschnitt an der Stationäreinheit der Vakuumpumpe und mit einem basisseitigen Abschnitt an der Basis, insbesondere lösbar, befestigt werden kann. Bei der Basis kann es sich insbesondere um ein Gestell für die Vakuumpumpe, vorzugsweise einen Pumpstand, handeln. Der basisseitige Abschnitt befindet sich insbesondere an jener Seite der Vakuumpumpe, die der einer zu evakuierenden Kammer zugewandten Seite der Vakuumpumpe gegenüberliegt.

[0007] Die Stationäreinheit der Vakuumpumpe kann insbesondere ein Unterteil und/oder ein Gehäuse der Vakuumpumpe umfassen. Die Rotationseinheit umfasst vorzugsweise einen Rotor, der zur Erzeugung eines Hochvakuums oder Ultrahochvakuums in bekannter Weise mit hohen Drehzahlen drehend angetrieben wird.

[0008] Der pumpenseitige Abschnitt sowie der basisseitige Abschnitt sind miteinander verbunden und im verbundenen Zustand gegeneinander verlagerbar. Der Begriff "Verlagern" umfasst sowohl eine Relativbewegung mehrerer separater Bauteile als auch beispielsweise eine Verformung eines einzigen Bauteils, die mit einer Bewegung des pumpenseitigen Abschnitts und des basisseitigen Abschnitts relativ zueinander einhergeht.

[0009] Der Energieaufnehmer ist dazu ausgebildet, in einem Störfall der Vakuumpumpe von der Rotationseinheit auf die Stationäreinheit übertragene und in den Energieaufnehmer eingeleitete Bewegungsenergie der Vakuumpumpe durch Verlagerung der Abschnitte unter Aufrechterhaltung des verbundenen Zustands der Abschnitte aufzunehmen. Erfindungsgemäß sind hierzu die Abschnitte des Energieaufnehmers als separate Bauteile ausgebildet, wobei die Energieaufnahme durch Bremsen des einen Bauteils mittels des anderen Bauteils erfolgt. Die bei einem Störfall frei werdende Energie wird zumindest teilweise in Reibungswärme umgesetzt.

[0010] Der Energieaufnehmer kompensiert die anderenfalls unbeeinflusst in die Basis eingeleitete Energie der Rotationseinheit. Insbesondere kann der Energieaufnehmer eine Kraft, einen Impuls, einen Drehimpuls und/oder ein Moment, insbesondere ein Crash-Moment, aufnehmen.

[0011] Erfindungsgemäß weisen die beiden Bauteile jeweils einen Grundaufbau auf, wobei zumindest eines der Bauteile wenigstens bereichsweise an dem Grundaufbau zusätzlich mit einem reibungserhöhenden Material versehen ist. Durch das reibungserhöhende Material kann die Bremswirkung verbessert werden.

[0012] Die Zeitdauer des Störfalls, insbesondere die Crashzeit, kann durch den Energieaufnehmer verlängert werden, so dass Energiespitzen bzw. Spitzenmomente reduziert werden können. Die Energieeinleitung in die Basis wird somit minimiert. Dadurch, dass die Abschnitte dennoch miteinander verbunden bleiben, können sich keine Teile lösen, so dass von der Vakuumpumpe keine Gefahr für die Umgebung ausgeht,

[0013] Erfindungsgemäß liegt somit gewissermaßen eine "aufnahmefähige" Befestigungsvorrichtung vor, welche die bei einem Störfall frei werdende Energie kompensieren kann. Bei herkömmlichen, z.B. mit Hilfe gewöhnlicher Schrauben an der Basis angebrachten Vakuumpumpen kann, wenn überhaupt, nur ein geringer Teil der freiwerdenden Energie kompensiert werden, bevor entweder die Schrauben oder andere mehr oder weniger starre Befestigungsmittel unwirksam werden und sich die Pumpe von der Basis löst, oder die Basis aufgrund der eingeleiteten Energie in unkontrollierter Weise reagiert.

[0014] Weiterbildungen der Erfindung sind auch den abhängigen Ansprüchen, der Beschreibung sowie den beigefügten Zeichnungen zu entnehmen.

[0015] Gemäß einer Ausführungsform der Erfindung kann die Verlagerung eine kontrollierte, vorgegebene, insbesondere begrenzte, Relativbewegung der beiden Abschnitte zueinander umfassen. Die Relativbewegung kann insbesondere eine Drehbewegung umfassen. Die bei einem Störfall frei werdende Energie kann somit zumindest teilweise in die Relativbewegung umgesetzt werden, so dass die Energie in geeigneter Weise kompensiert werden kann. Insbesondere kann der basisseitige Abschnitt stationär, d.h. relativ zu Basis festgelegt sein, während sich der pumpenseitige Abschnitt relativ zum basisseitigen Abschnitt bewegen kann.

[0016] Gemäß einer weiteren Ausführungsform ist der basisseitige Abschnitt als Bremseinheit für den pumpenseitigen Abschnitt ausgebildet oder umfasst eine Bremseinheit. Insbesondere ist der basisseitige Abschnitt auch im Störfall fest mit der Basis verbunden, während sich der pumpenseitige Abschnitt relativ zum basisseitigen Abschnitt bewegt und dabei abgebremst wird. Dies ist in konstruktiver Hinsicht besonders einfach zu realisieren, da die Bremseinheit mit der Basis verbunden sein kann. Grundsätzlich ist jedoch umgekehrt auch denkbar, dass der pumpenseitige Abschnitt als Bremseinheit ausgebildet ist oder eine Bremseinheit umfasst. Als Bremseinheit ist vorzugweise eine mechanische Bremse vorgesehen, wobei alternativ oder zusätzlich im Prinzip auch eine elektrische oder magnetische Bremse vorgesehen sein kann.

[0017] Nach einer weiteren Ausführungsform umfasst die Bremseinheit Bremsbacken für den pumpenseitigen Abschnitt, die vorzugsweise als Bremsringe ausgebildet sind. Die Bremsbacken und/oder der Bereich des pumpenseitigen Abschnitts, welcher mit den Bremsbacken zusammenwirkt, können insbesondere das reibungserhöhende Material aufweisen, beispielsweise ein Gummimaterial. Auf diese Weise kann die Bremswirkung verbessert werden. Die Bremseinheit kann auch mehrere Bremsbacken umfassen, die an unterschiedlichen Positionen mit dem pumpenseitigen Abschnitt zusammenwirken. Auch ist es möglich, dass sich die Bremsbacken über den gesamten Umfangsbereich des pumpenseitigen Abschnitts erstrecken.

[0018] In diesem Fall können die Bremsbacken beispielsweise als Bremsringe ausgebildet sein, wobei vorzugsweise ein oberer Bremsring und ein unterer Bremsring einen Flansch des pumpenseitigen Abschnitts zwischen sich aufnehmen und einklemmen können.

[0019] Gemäß einer weiteren Ausführungsform ist die Bremswirkung der Bremseinheit einstellbar, insbesondere durch Verstellen von Bremsbacken der Bremseinheit. Vorzugsweise kann zum Verstellen ein Spannring vorgesehen sein. Die Stärke der Bremswirkung kann dadurch variiert werden. Dies kann alternativ oder zusätzlich durch eine geeignete Materialwahl erfolgen.

[0020] Nach einer weiteren Ausführungsform ist der pumpenseitige Abschnitt als Befestigungsplatte ausgebildet. Die Befestigungsplatte kann insbesondere eine kreisrunde Form aufweisen. Vorzugsweise steht die Befestigungsplatte über die Stationäreinheit der Vakuumpumpe vor und bildet einen Flansch für die Bremsbacken.

[0021] Gemäß einer weiteren Ausführungsform wirken die beiden Bauteile derart zusammen, dass eine im Störfall auftretende Drehbewegung des pumpenseitigen Bauteils durch das basisseitige Bauteil gebremst und eine Bewegung des pumpenseitigen Bauteils mit einer zur Drehachse senkrechten Komponente zumindest im Wesentlichen unterbunden wird.

[0022] Nach einer weiteren Ausführungsform ist eine Begrenzungseinrichtung vorgesehen, welche eine bei dem Störfall entstehende Bewegung, insbesondere eine Drehbewegung, des pumpenseitigen Abschnitts relativ zu dem basisseitigen Abschnitt begrenzt, wobei insbesondere die Begrenzungseinrichtung zusätzlich zu einer Bremseinheit für den pumpenseitigen Abschnitt vorgesehen ist.

[0023] Vorzugsweise kann der Drehwinkel begrenzt werden. Insbesondere kann sich auf diese Weise die Vakuumpumpe nicht beliebig weit relativ zur Basis verdrehen. Die Begrenzungseinrichtung kann einen festen Anschlag umfassen, welcher die Relativbewegung abrupt beendet.

[0024] Gemäß einer weiteren Ausführungsform ist die Begrenzungseinrichtung zusätzlich als Führung für die Bewegung des pumpenseitigen Abschnitts ausgebildet. Insbesondere umfasst die Führung wenigstens einen Stift an dem einen der Abschnitte, der in ein Langloch an dem anderen Abschnitt eingreift. Das Langloch kann insbesondere gekrümmt sein. Vorzugsweise umfasst der basisseitige Abschnitt den Stift, während der pumpenseitige Abschnitt, insbesondere die Befestigungsplatte, das Langloch aufweist. Grundsätzlich ist auch eine umgekehrte Anordnung möglich.

[0025] Die Erfindung betrifft auch ein System mit wenigstens einer Vakuumpumpe, insbesondere Turbomolekularpumpe, und zumindest einer erfindungsgemäßen Befestigungsvorrichtung.

[0026] Die Erfindung wird im Folgenden beispielhaft unter Bezugnahme auf die Zeichnungen beschrieben. Es zeigen:

Fig. 1

eine Schnittansicht einer Vakuumpumpe, die mithilfe einer erfindungsgemäßen Befestigungsvorrichtung gemäß einer Ausführungsform an einer Basis befestigt ist,

Fig. 2

eine Schnittansicht eines Teilbereichs der Befestigungsvorrichtung gemäß Fig. 1,

Fig. 3

eine Draufsicht eines Teilbereichs der Befestigungsvorrichtung gemäß Fig. 1, und

Fig. 4

eine Schnittansicht einer Vakuumpumpe, die mithilfe einer Befestigungsvorrichtung gemäß einer nicht beanspruchten Ausführungsform an einer Basis befestigt ist.

[0027] Zunächst ist festzuhalten, dass die dargestellten Ausführungsformen rein beispielhafter Natur sind. Insbesondere können die Anzahl und die Art und Weise der Anordnung der einzelnen dargestellten Befestigungsmittel, Langlöcher und Stifte variieren.

[0028] In Fig. 1 ist eine Vakuumpumpe 10 mit einer unter anderem das Gehäuse der Pumpe umfassenden Stationäreinheit 12 dargestellt. Im Inneren der Stationäreinheit 12 befindet sich eine in Fig. 1 nur schematisch angedeutete Rotationseinheit 13. Die Stationäreinheit 12 weist im oberen Bereich einen Befestigungsflansch 14 zur Befestigung der Vakuumpumpe 10 an einem zu evakuierenden Behältnis auf.

[0029] Bei der Vakuumpumpe 10 handelt es sich insbesondere um eine Turbomolekularpumpe herkömmlichen Aufbaus mit einer pumpwirksame Rotorscheiben 13b tragenden Rotorwelle 13a als Bestandteil der Rotationseinheit 13, wobei aber auch andere Arten von mit rotierenden Teilen versehenen Vakuumpumpen in Frage kommen.

[0030] Am unteren Bereich weist die Stationäreinheit 12 ein Unterteil 16 der Vakuumpumpe auf, welches mit einer Befestigungsvorrichtung verbunden werden kann. Die Befestigungsvorrichtung umfasst einen Energieaufnehmer 17 und stellt das Bindeglied zwischen der Vakuumpumpe 10 und einer Basis 18 dar. Die Basis 18 kann beispielsweise als Pumpstand ausgebildet sein, welcher selbst fest am Boden verankert sein kann.

[0031] Der Energieaufnehmer 17 weist einen pumpenseitigen Abschnitt 20 auf, welcher mit dem Unterteil 16 der Vakuumpumpe 10 verbunden ist. Ferner umfasst der Energieaufnehmer 17 einen basisseitigen Abschnitt 22, welcher mit der Basis 18 fest verbunden ist. Zur Befestigung der jeweiligen Abschnitte sind Befestigungsmittel 24 vorgesehen, welche beispielsweise als Schrauben ausgebildet sein können.

[0032] Der basisseitige Abschnitt 22 umfasst eine Bremseinheit 26, welche Bremsbacken 28 aufweist. Die beiden Bremsbacken 28 können mit Hilfe einer Schraube 24 oder eines Spannrings verstellt werden, d.h. die Bremswirkung kann gezielt eingestellt werden.

[0033] Der pumpenseitige Abschnitt 20 weist eine Befestigungsplatte 30 auf, welche zwischen den Bremsbacken 28 aufgenommen ist.

[0034] Die Befestigungsplatte 30 kann insbesondere kreisförmig ausgebildet sein, während die Bremsbacken 28 als Bremsringe ausgestaltet sein können.

[0035] Im normalen Betrieb ist die Vakuumpumpe 10 durch die Befestigungsvorrichtung fest mit der Basis 18 verbunden. Kommt es zu einem Störfall, beispielsweise einem so genannten Crash oder Rotorburst, wird die Vakuumpumpe 10 aufgrund der frei werdenden Rotationsenergie der Rotationseinheit in Drehung um die Drehachse D versetzt. Diese Drehbewegung wird auf den pumpenseitigen Abschnitt 20 übertragen und mittels der Bremsbacken 28 des basisseitigen Abschnitts 22 gebremst. Die im Störfall frei werdende Energie kann folglich mittels des Energieaufnehmers 17 kompensiert und in Wärme umgewandelt werden. Die Vakuumpumpe 10 bleibt dabei mit der Basis 18 verbunden.

[0036] Eine Weiterbildung dieses Konzeptes ist in den Fig. 2 und Fig. 3 dargestellt. Demnach kann die Bremseinheit 26 einen Stift 32 umfassen, welcher mit der Befestigungsplatte 30 zusammenwirkt. Wie in Fig. 3 zu sehen ist, greift der Stift 32 des basisseitigen Abschnitts 22 in ein Langloch 34 des pumpenseitigen Abschnitts 20 ein. Die Drehung der Befestigungsplatte 30 wird demnach abrupt gestoppt, sobald der Stift 32 ein Ende des Langlochs 34 erreicht.

[0037] Eine nicht beanspruchte Ausführungsform einer Befestigungsvorrichtung ist in Fig. 4 dargestellt. Der Energieaufnehmer 17 umfasst bei diesem Konzept einen Verformungskörper 36. Der Verformungskörper 36 kann hierbei ein erstes Material 38 und ein zweites Material 40 umfassen. Das erste Material 38 ist insbesondere steifer als das zweite Material 40 und wird jeweils verwendet, um die Vakuumpumpe 10 und die Basis 18 mit der Befestigungsvorrichtung zu verbinden. Das zweite Material 40 ist hingegen derart verformbar, dass die in einem Störfall frei werdende Energie durch den Verformungskörper 36 aufgenommen und in Verformungsenergie umgewandelt werden kann.

[0038] Der von dem zweiten Material 40 gebildete Verformungsabschnitt kann z.B. von einem massiven Materialblock gebildet sein, der über die aus dem ersten Material 38 bestehenden Abschnitte mit der Vakuumpumpe 10 bzw. der Basis 18 verbunden ist. Alternativ kann der Verformungsabschnitt eine Mehrzahl einzelner Elemente z.B. in Form von Stäben, Blechen oder Kunststoff- oder Gummielementen umfassen.

[0039] Durch die Erfindung ist es somit möglich, in einem Störfall frei werdende Energie aufzunehmen und umzuwandeln, d.h. derart zu kompensieren oder zu absorbieren, dass keine Gefahr besteht, dass sich die Vakuumpumpe 10 von der Basis 18 löst.

Bezugszeichenliste

[0040] 

10

Vakuumpumpe

12

Stationäreinheit

13

Rotationseinheit

13a

Rotorwelle

13b

Rotorscheibe

14

Befestigungsflansch

16

Unterteil

17

Energieaufnahme

18

Basis, Pumpstand

20

pumpenseitiger Abschnitt

22

basisseitiger Abschnitt

24

Befestigungsmittel, Schraube

26

Bremseinheit

28

Bremsbacke, Bremsring

30

Befestigungsplatte

32

Stift

34

Langloch

36

Verformungskörper

38

erstes Material

40

zweites Material

D

Drehachse

Ansprüche

1. Vorrichtung zum Befestigen einer Vakuumpumpe (10), insbesondere einer Turbomolekularvakuumpumpe, an einer Basis (18), insbesondere an einem Pumpstand, wobei die Vakuumpumpe (10) eine an der Basis (18) zu befestigende Stationäreinheit (12) sowie eine sich während des Betriebs relativ zur Stationäreinheit (12) drehende Rotationseinheit (13) umfasst,
mit zumindest einem Energieaufnehmer (17), der mit einem pumpenseitigen Abschnitt (20) an der Stationäreinheit (12) der Vakuumpumpe (10) und mit einem basisseitigen Abschnitt (22) an der Basis (18) befestigbar ist, wobei die beiden Abschnitte (20, 22) des Energieaufnehmers (17) miteinander verbunden und im verbundenen Zustand gegeneinander verlagerbar sind, und
wobei der Energieaufnehmer (17) dazu ausgebildet ist, in einem Störfall der Vakuumpumpe (10) von der Rotationseinheit (13) auf die Stationäreinheit (12) übertragene und in den Energieaufnehmer (17) eingeleitete Bewegungsenergie der Vakuumpumpe (10) durch Verlagerung der Abschnitte (20, 22) unter Aufrechterhaltung des verbundenen Zustands der Abschnitte (20, 22) aufzunehmen, wozu die Abschnitte (20, 22) des Energieaufnehmers (17) als separate Bauteile ausgebildet sind, wobei die Energieaufnahme durch Bremsen des einen Bauteils mittels des anderen Bauteils erfolgt;
dadurch gekennzeichnet, dass
die beiden Bauteile jeweils einen Grundaufbau aufweisen, wobei zumindest eines der Bauteile wenigstens bereichsweise an dem Grundaufbau zusätzlich mit einem reibungserhöhenden Material versehen ist.

2. Befestigungsvorrichtung nach Anspruch 1,
dadurch gekennzeichnet, dass
die Verlagerung eine kontrollierte, vorgegebene, insbesondere begrenzte, Relativbewegung der beiden Abschnitte (20, 22) zueinander umfasst.

3. Befestigungsvorrichtung nach Anspruch 1,
dadurch gekennzeichnet, dass der basisseitige Abschnitt (22) als Bremseinheit (26) für den pumpenseitigen Abschnitt (20) ausgebildet ist oder eine Bremseinheit (26) umfasst.

4. Befestigungsvorrichtung nach Anspruch 3,
dadurch gekennzeichnet, dass
die Bremseinheit (26) Bremsbacken (28) für den pumpenseitigen Abschnitt (20) umfasst, die vorzugsweise als Bremsringe ausgebildet sind.

5. Befestigungsvorrichtung nach Anspruch 3 oder 4,
dadurch gekennzeichnet, dass
die Bremswirkung der Bremseinheit (26) einstellbar ist, insbesondere durch Verstellen von Bremsbacken (28) der Bremseinheit (26).

6. Befestigungsvorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche,
dadurch gekennzeichnet, dass
der pumpenseitige Abschnitt (20) als Befestigungsplatte (30) ausgebildet ist.

7. Befestigungsvorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 6,
dadurch gekennzeichnet, dass
die beiden Bauteile derart zusammenwirken, dass eine bei dem Störfall entstehende Drehbewegung des pumpenseitigen Bauteils durch das basisseitige Bauteil gebremst und eine Bewegung des pumpenseitigen Bauteils mit einer zur Drehachse (D) senkrechten Komponente zumindest im Wesentlichen unterbunden wird.

8. Befestigungsvorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche,
dadurch gekennzeichnet, dass
eine Begrenzungseinrichtung vorgesehen ist, welche eine bei dem Störfall entstehende Bewegung, insbesondere eine Drehbewegung, des pumpenseitigen Abschnitts (20) relativ zu dem basisseitigen Abschnitt (22) begrenzt, wobei insbesondere die Begrenzungseinrichtung zusätzlich zu einer Bremseinheit (26) für den pumpenseitigen Abschnitt (20) vorgesehen ist.

9. Befestigungsvorrichtung nach Anspruch 8,
dadurch gekennzeichnet, dass
die Begrenzungseinrichtung zusätzlich als Führung für die Bewegung des pumpenseitigen Abschnitts (20) ausgebildet ist und insbesondere wenigstens einen Stift (32) an dem einen der Abschnitte (20, 22) umfasst, der in ein Langloch (34) an dem anderen Abschnitt (22, 20) eingreift.

10. System mit wenigstens einer Vakuumpumpe (10), insbesondere Turbomolekularvakuumpumpe, und zumindest einer Befestigungsvorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche.

Claims

1. An apparatus for fastening a vacuum pump (10), in particular a turbomolecular vacuum pump, to a base (18), in particular to a pump stand, wherein the vacuum pump (10) comprises a stationary unit (12) to be fastened to the base (18) and a rotation unit (13) which rotates relative to the stationary unit (12) during operation,
said apparatus comprising at least one energy absorber (17) whose pump-side section (20) is fastenable to the stationary unit (12) of the vacuum pump (10) and whose base-side section (22) is fastenable to the base (18); wherein the two sections (20, 22) of the energy absorber (17) are connected to one another and can be displaced with respect to one another in a connected state; and
wherein, in the case of a disturbance of the vacuum pump (10), the energy absorber (17) is configured to absorb kinetic energy of the vacuum pump (10), which is transmitted from the rotation unit (13) onto the stationary unit (12) and introduced into the energy absorber (17), by displacing the sections (20, 22) while maintaining the connected state of the sections (20, 22), for which purpose the sections (20, 22) of the energy absorber (17) are configured as separate components, with the energy absorption taking place by braking the one component by means of the other component,
characterized in that
the two components each have a basic structure, with at least one of the components additionally being provided with a friction-enhancing material at least regionally at the basic structure.

2. A fastening apparatus in accordance with claim 1,
characterized in that
the displacement comprises a controlled, predefined relative movement, in particular a bounded relative movement, of the two sections (20, 22) with respect to one another.

3. A fastening apparatus in accordance with claim 1,
characterized in that
the base-side section (22) is configured as a brake unit (26) for the pump-side section (20) or comprises a brake unit (26).

4. A fastening apparatus in accordance with claim 3,
characterized in that
the brake unit (26) comprises brake shoes (28) for the pump-side section (20) which are preferably configured as brake rings.

5. A fastening apparatus in accordance with claim 3 or claim 4,
characterized in that
the braking effect of the brake unit (26) is settable, in particular by adjusting brake shoes (28) of the brake unit (26).

6. A fastening apparatus in accordance with any one of the preceding claims,
characterized in that
the pump-side section (20) is configured as a fastening plate (30).

7. A fastening apparatus in accordance with any one of the claims 1 to 6,
characterized in that
the two components cooperate such that a rotary movement of the pump-side component occurring in the case of a disturbance is braked by the base-side component and a movement of the pump-side component with a component perpendicular to the axis of rotation (D) is at least substantially suppressed.

8. A fastening apparatus in accordance with any one of the preceding claims,
characterized in that
a bounding device is provided which bounds a movement occurring in the case of a disturbance, in particular a rotary movement, of the pump-side section (20) relative to the base-side section (22), with in particular the bounding device being provided in addition to a brake unit (26) for the pump-side section (20).

9. A fastening apparatus in accordance with claim 8,
characterized in that
the bounding device is additionally configured as a guide for the movement of the pump-side section (20) and in particular comprises at least one pin (32) at the one of the sections (20, 22) which engages into an elongate hole (34) at the other section (22, 20).

10. A system comprising at least one vacuum pump (10), in particular a turbomolecular vacuum pump, and at least one fastening apparatus in accordance with any one of the preceding claims.

Revendications

1. Dispositif de fixation d'une pompe à vide (10), en particulier d'une pompe à vide turbomoléculaire, sur une base (18), en particulier sur un groupe de pompage,
dans lequel
la pompe à vide (10) comprend une unité stationnaire (12) à fixer sur la base (18) ainsi qu'une unité de rotation (13) qui tourne par rapport à l'unité stationnaire (12) pendant le fonctionnement,
comportant au moins un absorbeur d'énergie (17) qui est susceptible d'être fixé par une portion côté pompe (20) sur l'unité stationnaire (12) de la pompe à vide (10) et par une portion côté base (22) sur la base (18),
les deux portions (20, 22) de l'absorbeur d'énergie (17) sont reliées l'une à l'autre et sont mobiles l'une contre l'autre dans l'état relié, et
l'absorbeur d'énergie (17) est réalisé pour, en cas de perturbation de la pompe à vide (10), absorber l'énergie de mouvement de la pompe à vide (10) transmise de l'unité de rotation (13) à l'unité stationnaire (12) et introduite dans l'absorbeur d'énergie (17) par déplacement des portions (20, 22) en maintenant l'état relié des portions (20, 22), ce à quoi les portions (20, 22) de l'absorbeur d'énergie (17) sont réalisées sous forme de composants séparés, l'absorption d'énergie s'effectuant par freinage de l'un des composant au moyen de l'autre composant ;
caractérisé en ce que
les deux composants présentent chacun une structure de base, l'un au moins des composants étant pourvu en supplément d'un matériau augmentant la friction au moins localement sur la structure de base.

2. Dispositif de fixation selon la revendication 1,
caractérisé en ce que
le déplacement inclut un mouvement relatif contrôlé, donné, en particulier limité des deux portions (20, 22) l'un par rapport à l'autre.

3. Dispositif de fixation selon la revendication 1,
caractérisé en ce que
la portion côté base (22) est réalisée sous forme d'unité de freinage (26) pour la portion côté pompe (20) ou comprend une unité de freinage (26).

4. Dispositif de fixation selon la revendication 3,
caractérisé en ce que
l'unité de freinage (26) comprend des mâchoires de freinage (28) pour la portion côté pompe (20), qui sont réalisées de préférence sous forme d'anneaux de freinage.

5. Dispositif de fixation selon la revendication 3 ou 4,
caractérisé en ce que
l'effet de freinage de l'unité de freinage (26) est réglable, en particulier par réglage des mâchoires de freinage (28) de l'unité de freinage (26).

6. Dispositif de fixation selon l'une des revendications précédentes,
caractérisé en ce que
la portion côté pompe (20) est réalisée sous forme de plaque de fixation (30).

7. Dispositif de fixation selon l'une des revendications 1 à 6,
caractérisé en ce que
les deux composants coopèrent de telle sorte qu'un mouvement de rotation généré en cas de perturbation du composant côté pompe est freiné par le composant côté base, et un mouvement du composant côté pompe est au moins sensiblement empêché par une composante perpendiculaire à l'axe de rotation (D).

8. Dispositif de fixation selon l'une des revendications précédentes,
caractérisé en ce que
il est prévu un moyen de limitation qui limite un mouvement généré en cas de perturbation, en particulier un mouvement de rotation de la portion côté pompe (20) par rapport à la portion côté base (22), et en particulier le moyen de limitation est prévu en supplément à une unité de freinage (26) pour la portion côté pompe (20).

9. Dispositif de fixation selon la revendication 8,
caractérisé en ce que
le moyen de limitation est réalisé en supplément sous forme de guidage pour le mouvement de la portion côté pompe (20) et comprend en particulier au moins une tige (32) sur l'une des portions (20, 22), qui vient s'engager dans un trou oblong (34) sur l'autre portion (22, 20).

10. Système comportant au moins une pompe à vide (10), en particulier une pompe à vide turbomoléculaire, et au moins un dispositif de fixation selon l'une des revendications précédentes.

Zeichnung