[0001] Die Erfindung betrifft einen piezohydraulischen Aktor, sowie ein Verfahren zum Betreiben
eines solchen piezohydraulischen Aktors.
[0002] Aktoren, welche üblicherweise auch als Stellglieder bezeichnet werden, sind aus dem
allgemeinen Stand der Technik bereits hinlänglich bekannt und werden üblicherweise
genutzt, um Signale, insbesondere elektrische Signale, in eine mechanische Bewegung
und/oder wenigstens eine andere physikalische Größe umzuwandeln, um dadurch beispielsweise
wenigstens einen Prozess mittels des jeweiligen Aktors aktiv beeinflussen zu können.
Beispielsweise kommen Aktoren in Fahrzeugen zum Einsatz, um mittels der Aktoren jeweilige
Stellelemente wie beispielsweise Klappen oder Ventile zu bewegen. Ferner kann beispielsweise
ein Aktor verwendet werden, um wenigstens ein Werkzeug einer Werkzeugmaschine auszuwerfen.
[0003] Insbesondere vier Eigenschaften eines Aktors sind dabei von besonderer Bedeutung:
Kraft, Auslenkung, Geschwindigkeit und Bauraum. Bei einer Vielzahl von Aktoranwendungen
existieren unterschiedliche Arbeitspunkte, in denen entweder eine hohe Kraft oder
eine hohe Geschwindigkeit des Aktors wünschenswert beziehungsweise erforderlich ist.
Bei dem zuvor genannten Aktor zum Auswerfen eines Werkzeugs bei einer Werkzeugmaschine
besteht beispielsweise zum einen die Anforderung, dass der Aktor beziehungsweise wenigstens
ein Abtriebselement des Aktors einen Weg von einer Ausgangsstellung bis zum Kontakt
mit dem auszuwerfenden Werkzeug mit einer hohen Geschwindigkeit zurücklegen, wobei
keine besonders hohen Kräfte erforderlich sind. Dabei wird das Werkzeug mittels des
Abtriebselements ausgeworfen. Sobald der Aktor beziehungsweise das Abtriebselement
Kontakt mit dem auszuwerfenden Fahrzeug hat, besteht im Gegensatz zu der zuvor genannten
Anforderung die Anforderung, dass hohe Kräfte von dem Aktor beziehungsweise von dem
Abtriebselement bereitgestellt werden sollten, um das Werkzeug ausstoßen und somit
auswerfen zu können. Dabei ist jedoch keine hohe Geschwindigkeit erforderlich, da
ein zum eigentlichen Auswerfen erforderlicher Weg beziehungsweise eine zum Auswerfen
erforderliche Auslenkung des Aktors, insbesondere des Abtriebselements, nur sehr gering
ist. Somit ergeben sich für den Aktor wenigstens zwei voneinander unterschiedliche,
wünschenswerte beziehungsweise erforderliche Modi: Ein erster der Modi ist ein Geschwindigkeitsmodus,
in welchem beispielsweise das Abtriebselement schnell und mit einer nur geringen Kraft
bis zum Kontakt mit dem Werkzeug bewegt wird. Der zweite Modus ist ein Kraftmodus,
in welchem das Abtriebselement zwar mit einer hohen Kraft, jedoch über einen nur geringen
Weg beziehungsweise langsam bewegt wird, um beispielsweise das Werkzeug schließlich
auszuwerfen. Eine solche Aktoranwendung mit den beschriebenen Modi findet auch in
der Robotik immer öfter Verwendung.
[0004] Dabei werden beispielsweise Objekte unterschiedlicher Festigkeit von einem Roboter
gegriffen, wozu wenigstens ein Aktor verwendet wird. Der Roboter wird beispielsweise
verwendet, um wenigstens einen Menschen bei dessen Aufgabe entlang einer Fertigungslinie
zu unterstützen. Dabei ist es wünschenswert, dass der Roboter möglichst sowohl zerbrechliche
beziehungsweise filigrane als auch feste und gegebenenfalls schwere Objekte greifen
und insbesondere bewegen kann. Dies erfordert eine hohe Flexibilität in Form einer
anpassbaren Impedanz des Aktors, welcher beispielsweise Bestandteil eines Greif- beziehungsweise
Aktorsystems des Roboters ist. Mittels des Greif- beziehungsweise Aktorsystems kann
der Roboter entsprechend Objekte greifen und insbesondere im Raum umherbewegen. Das
gleiche Greifsystem sollte dabei sowohl die Möglichkeit haben, sich als ein relativ
weiches System darzustellen, um zum Beispiel feinfühlige Aufgaben zu erledigen, als
auch die Möglichkeit haben, sich als ein System mit hoher Steifigkeit zu verhalten,
um dadurch beispielsweise hohe Kräfte bereitstellen zu können, mittels welchen auch
steife beziehungsweise schwere und große Objekte gegriffen und gegebenenfalls bewegt
werden können.
[0005] Die
WO 2014/146804 A1 offenbart eine Aktorvorrichtung, mit einer Antriebseinheit und einer Abtriebseinheit.
Die Abtriebseinheit weist eine erste Translationseinheit mit einem ersten Abtrieb
und eine über ein Leitungssystem mit der ersten Translationseinheit fluidisch verbundene
zweite Translationseinheit mit einem zweiten Abtrieb auf. Dabei ist die Antriebseinheit
fluidisch mit dem Leitungssystem verbunden. Mittels der Antriebseinheit ist ein Fluid
zwischen der ersten Translationseinheit und der zweiten Translationseinheit zum Auslenken
der Abtriebe austauschbar. Die erste Translationseinheit und die zweite Translationseinheit
weisen jeweils ein Vorspannelement auf, wobei die Vorspannelemente in entgegengesetzter
Richtung gegen eine beweglich gelagerte Einspannung abgestützt sind.
[0006] Außerdem ist der
WO 2017/198420 A1 ein piezohydraulischer Aktor als bekannt zu entnehmen, wobei dieses Dokument unter
Art.54 (3) EPÜ fällt.
[0007] Aufgabe der vorliegenden Erfindung ist es daher, einen Aktor und ein Verfahren zu
schaffen, mittels welchen die oben genannten Modi auf besonders vorteilhafte Weise
realisierbar sind.
[0008] Diese Aufgabe wird durch einen piezohydraulischen Aktor mit den Merkmalen des Patentanspruchs
1, sowie ein Verfahren zum Betreiben eines solchen piezohydraulischen Aktors mit den
Merkmalen des Patentanspruchs 9 gelöst. Vorteilhafte Ausgestaltungen mit zweckmäßigen
Weiterbildungen der Erfindung sind in den übrigen Ansprüchen angegeben.
[0009] Ein erster Aspekt der Erfindung betrifft einen piezohydraulischen Aktor, mit wenigstens
einem Piezoaktor und mit wenigstens einem Antrieb, welcher eine mit einer Hydraulikflüssigkeit
versorgbare Antriebskammer und ein die Antriebskammer teilweise begrenzendes und von
dem Piezoaktor antreibbares und dadurch bewegbares Antriebskolbenelement aufweist.
Mittels des Antriebskolbenelements ist durch Antreiben des Antriebskolbenelements
zumindest ein Teil der Hydraulikflüssigkeit aus der Antriebskammer zu fördern. Mit
anderen Worten, wird das Antriebskolbenelement mittels des Piezoaktors angetrieben
und dadurch bewegt, so wird zumindest ein Teil der zunächst in der Antriebskammer
aufgenommenen Hydraulikflüssigkeit aus der Antriebskammer mittels des Antriebskolbenelements
herausgefördert.
[0010] Der piezohydraulische Aktor umfasst ferner wenigstens einen ersten Abtrieb, welcher
eine erste Abtriebskammer und einen die erste Abtriebskammer teilweise begrenzendes
erstes Abtriebskolbenelement aufweist. In die erste Abtriebskammer ist zumindest ein
Teil der aus der Antriebskammer geförderten Hydraulikflüssigkeit einleitbar. Das erste
Abtriebskolbenelement weist eine hydraulisch wirksame erste Abtriebsfläche auf, welche
mit der in die erste Abtriebskammer eingeleiteten Hydraulikflüssigkeit beaufschlagbar
ist. Durch dieses Beaufschlagen der ersten Abtriebsfläche mit der in die erste Abtriebskammer
eingeleiteten Hydraulikflüssigkeit ist das erste Abtriebskolbenelement antreibbar
und somit, insbesondere translatorisch, bewegbar.
[0011] Der piezohydraulische Aktor weist ferner wenigstens einen zweiten Abtrieb auf, welcher
eine zweite Abtriebskammer und ein die zweite Abtriebskammer teilweise begrenzendes
zweites Abtriebskolbenelement aufweist. In die zweite Abtriebskammer ist zumindest
ein Teil der aus der Antriebskammer geförderten Hydraulikflüssigkeit einleitbar. Das
zweite Abtriebskolbenelement weist eine hydraulisch wirksame zweite Abtriebsfläche
auf, welche mit der in die zweite Abtriebskammer eingeleiteten Hydraulikflüssigkeit
beaufschlagbar ist. Dabei sind die Abtriebsflächen unterschiedlich groß. Mit anderen
Worten ist die zweite Abtriebsfläche größer oder kleiner als die erste Abtriebsfläche.
Das zweite Abtriebskolbenelement ist durch Beaufschlagen der zweiten Abtriebsfläche
mit der in die zweite Abtriebskammer eingeleiteten Hydraulikflüssigkeit antreibbar.
Mit anderen Worten, wird die Hydraulikflüssigkeit in die erste Abtriebskammer eingeleitet,
so wird die erste Abtriebsfläche mit der in die erste Abtriebskammer eingeleiteten
Hydraulikflüssigkeit beaufschlagt, wodurch das erste Abtriebskolbenelement angetrieben
und somit, insbesondere translatorisch, bewegt wird. Wird die Hydraulikflüssigkeit
in die zweite Abtriebskammer eingeleitet, so wird die zweite Abtriebsfläche mit der
in die zweite Abtriebskammer eingeleiteten Hydraulikflüssigkeit beaufschlagt, wodurch
das zweite Abtriebskolbenelement angetrieben und, insbesondere translatorisch, bewegt
wird. Dabei ist es vorzugsweise vorgesehen, dass die Abtriebskammern beziehungsweise
die Abtriebskolbenelemente fluidisch parallel zueinander angeordnet beziehungsweise
geschaltet sind.
[0012] Außerdem weist der piezohydraulische Aktor eine Koppeleinrichtung auf, mittels welcher
die Abtriebskolbenelemente mechanisch miteinander gekoppelt sind. Dies bedeutet, dass
die Abtriebskolbenelemente über die Koppeleinrichtung nicht etwa pneumatisch oder
elektrisch oder hydraulisch miteinander gekoppelt sind, sondern die Abtriebskolbenelemente
sind über die Koppeleinrichtung mechanisch miteinander gekoppelt, wobei beispielsweise
die Koppeleinrichtung sowohl mit dem ersten Abtriebskolbenelement als auch mit dem
zweiten Abtriebskolbenelement mechanisch gekoppelt beziehungsweise verbunden ist.
Durch diese mechanische Kopplung der Abtriebskolbenelemente bewegen sich diese beispielsweise
gleichzeitig beziehungsweise synchron. Wird somit beispielsweise das erste Abtriebskolbenelement
auf die beschriebene Weise angetrieben und, insbesondere translatorisch, bewegt, so
wird das zweite Abtriebskolbenelement dadurch, dass das zweite Abtriebskolbenelement
über die Koppeleinrichtung mechanisch mit dem ersten Abtriebskolbenelement gekoppelt
beziehungsweise verbunden ist, mit dem ersten Abtriebskolbenelement mitbewegt. Wird
beispielsweise umgekehrt das zweite Abtriebskolbenelement auf die beschriebene Weise
angetrieben und, insbesondere translatorisch, bewegt, so wird das erste Abtriebskolbenelement
dadurch, dass das erste Abtriebskolbenelement über die Koppeleinrichtung mechanisch
mit dem zweiten Abtriebskolbenelement gekoppelt beziehungsweise verbunden ist, mit
dem zweiten Abtriebskolbenelement mitbewegt. Mit anderen Worten bewegt das erste Abtriebskolbenelement
über die Koppeleinrichtung das zweite Abtriebskolbenelement beziehungsweise das zweite
Abtriebskolbenelement bewegt über die Koppeleinrichtung das erste Abtriebskolbenelement.
[0013] Mittels des erfindungsgemäßen piezoelektrischen Aktors können auf besonders vorteilhafte
Weise wenigstens zwei voneinander unterschiedliche Modi des piezoelektrischen Aktors
realisiert werden. Ein erster der Modi ist beispielsweise ein Geschwindigkeitsmodus,
in welchem das erste Abtriebskolbenelement insbesondere dann, wenn die zweite Abtriebsfläche
größer als die erste Abtriebsfläche ist, besonders schnell beziehungsweise mit einer
hohen ersten Geschwindigkeit, jedoch mit einer nur geringen ersten Kraft bewegt werden
kann. Der zweite Modus ist ein Kraftmodus, in welchem beispielsweise insbesondere
dann, wenn die zweite Abtriebsfläche größer als die erste Abtriebsfläche ist, das
zweite Abtriebskolbenelement mit einer gegenüber der ersten Geschwindigkeit geringeren
zweiten Geschwindigkeit, jedoch mit einer gegenüber der ersten Kraft höheren zweiten
Kraft bewegt werden kann. Somit ist es beispielsweise möglich, wenigstens ein Abtriebselement
des Aktors in dem Geschwindigkeitsmodus mittels des ersten Abtriebskolbenelements
mit einer hohen ersten Geschwindigkeit, jedoch mit einer nur geringen ersten Kraft
zu bewegen. In dem Kraftmodus kann das Abtriebselement beispielsweise mittels des
zweiten Abtriebskolbenelements mit einer gegenüber der ersten Geschwindigkeit geringeren
zweiten Geschwindigkeit, jedoch mit einer gegenüber der ersten Kraft höheren zweiten
Kraft bewegt werden. Da dabei die Abtriebskolbenelemente mechanisch miteinander gekoppelt
sind, kann besonders vorteilhaft, insbesondere sanft beziehungsweise ruckfrei und/oder
selbstständig oder automatisch, von einem der Modi in den jeweils anderen Modus umgeschaltet
werden und umgekehrt.
[0014] Kommt somit beispielsweise der erfindungsgemäße piezohydraulische Aktor in einer
Werkzeugmaschine zum Einsatz, um mittels des piezohydraulischen Aktors ein Werkzeug
auszuwerfen, indem beispielsweise das Werkzeug mittels des zuvor genannten Abtriebselements
ausgeworfen wird, indem das Abtriebselement mittels des piezohydraulischen Aktors
angetrieben wird, so kann beispielsweise das Abtriebselement ausgehend von einer Ausgangsstellung
mittels des ersten Abtriebskolbenelements in dem Geschwindigkeitsmodus mit einer besonders
hohen ersten Geschwindigkeit und mit einer geringen ersten Kraft bewegt werden, bis
das Abtriebselement in zumindest mittelbaren, insbesondere direkten, Kontakt mit dem
auszuwerfenden Werkzeug kommt. Ab dem Kontakt des Abtriebselements mit dem auszuwerfenden
Werkzeug kann dann beispielsweise das Abtriebselement mittels des zweiten Abtriebskolbenelements
in dem Kraftmodus mit einer gegenüber der ersten Geschwindigkeit geringeren zweiten
Geschwindigkeit und mit einer gegenüber der ersten Kraft höheren zweiten Kraft weiterbewegt
werden, um schließlich mittels des Abtriebselements das Werkzeug auszuwerfen.
[0015] Ferner kann der erfindungsgemäße piezohydraulische Aktor besonders gut in einem Roboter,
insbesondere in einem Greifsystem des Roboters, zum Einsatz kommen, um mittels des
Greifsystems sowohl filigrane beziehungsweise zerbrechliche Objekte, insbesondere
in dem Geschwindigkeitsmodus, als auch demgegenüber stabilere und schwerere Objekte,
insbesondere ein dem Kraftmodus, sicher und fest greifen zu können. Filigrane beziehungsweise
zerbrechliche Objekte werden beispielsweise mithilfe des ersten Abtriebskolbenelements
und somit mit einer nur geringen Kraft gegriffen und bewegt, wobei beispielsweise
schwere beziehungsweise stabile Objekte mittels des zweiten Abtriebskolbenelements
und somit mit einer großen Kraft gegriffen und bewegt werden können. Somit kann mittels
des piezohydraulischen Aktors ein Zielkonflikt zwischen der Realisierung einer schnellen,
jedoch kraftarmen Bewegung und der Realisierung einer langsamen, jedoch sehr kräftigen
Bewegung auf einfache, gewichts- und bauraumgünstige Weise gelöst werden.
[0016] Der piezohydraulische Aktor weist eine mit der Antriebskammer und mit der ersten
Abtriebskammer fluidisch verbundene erste Versorgungsleitung auf, über welche zumindest
der Teil der aus der Antriebskammer geförderten Hydraulikflüssigkeit in die erste
Abtriebskammer einleitbar ist. Außerdem weist der piezohydraulische Aktor eine mit
der ersten Versorgungsleitung und mit der zweiten Abtriebskammer fluidisch verbundene
zweite Versorgungsleitung auf, über welche zumindest der Teil der aus der Antriebskammer
geförderten Hydraulikflüssigkeit in die zweite Abtriebskammer einleitbar ist. Des
Weiteren weist der piezohydraulische Aktor wenigstens ein in der zweiten Versorgungsleitung
angeordnetes erstes Rückschlagventil auf, welches in Richtung der zweiten Abtriebskammer
öffnet und in Richtung der ersten Versorgungsleitung schließt. Darunter ist zu verstehen,
dass das erste Rückschlagventil öffnet, wenn die Hydraulikflüssigkeit durch die zweite
Versorgungsleitung in Richtung der beziehungsweise in die zweite Abtriebskammer strömt.
Das erste Rückschlagventil verhindert jedoch eine unerwünschte Strömung der Hydraulikflüssigkeit
durch die zweite Versorgungsleitung in Richtung der beziehungsweise in die erste Versorgungsleitung.
[0017] Steht beispielsweise dem ersten Abtriebskolbenelement beziehungsweise der Bewegung
des ersten Abtriebskolbenelements eine entsprechend große Gegenkraft entgegen, sodass
beispielsweise ein mittels des Piezoaktors beziehungsweise mittels des Antriebskolbenelements
bewirkter Druck der Hydraulikflüssigkeit nicht ausreicht, um das ersten Abtriebskolbenelement
entgegen der Gegenkraft anzutreiben und somit zu bewegen beziehungsweise sodass das
erste Abtriebskolbenelement nur geringfügig bewegt werden kann, so steigt beispielsweise
der Druck der Hydraulikflüssigkeit an, insbesondere so lange, bis beispielsweise das
erste Rückschlagventil die zweite Versorgungsleitung freigibt, sodass die Hydraulikflüssigkeit
durch die zweite Versorgungsleitung hindurch in die zweite Abtriebskammer strömen
kann. Dann wird das zweite Abtriebskolbenelement angetrieben beziehungsweise bewegt.
Auf diese Weise kann besonders einfach und insbesondere selbsttätig beziehungsweise
automatisch zwischen den genannten Modi umgeschaltet und dabei insbesondere von dem
Geschwindigkeitsmodus in den Kraftmodus umgeschaltet werden.
[0018] Die genannte Gegenkraft wirkt beispielsweise dann auf das ersten Abtriebskolbenelement
und steht somit dann dem ersten Abtriebskolbenelement beziehungsweise dessen Bewegung
entgegen, wenn das Abtriebselement, welches beispielsweise einstückig mit dem jeweiligen
Abtriebskolbenelement ausgebildet beziehungsweise mit dem jeweiligen Abtriebskolbenelement,
insbesondere mechanisch, gekoppelt sein kann, in Kontakt mit dem auszuwerfenden Werkzeug
kommt beziehungsweise steht. Somit kann das Abtriebselement mittels des Geschwindigkeitsmodus
schnell und kraftarm in Kontakt mit dem Werkzeug bewegt und ab dann mittels des Kraftmodus
langsam und kraftvoll weiterbewegt werden.
[0019] Der piezohydraulische Aktor weist wenigstens eine mit der Antriebskammer fluidisch
verbundene dritte Versorgungsleitung auf, über welche die Hydraulikflüssigkeit aus
einem Reservoir in die Antriebskammer einleitbar ist. Das Reservoir ist beispielsweise
Bestandteil des piezohydraulischen Aktors. Ferner weist der piezohydraulische Aktor
ein in der dritten Versorgungsleitung angeordnetes zweites Rückschlagventil auf, welches
in Richtung der Antriebskammer öffnet und in Richtung des Reservoirs schließt. Dadurch
kann beispielsweise die Hydraulikflüssigkeit durch die dritte Versorgungsleitung in
die Antriebskammer strömen, wobei mittels des zweiten Rückschlagventils eine unerwünschte
Strömung der Hydraulikflüssigkeit aus der Antriebskammer durch die dritte Versorgungsleitung
in das Reservoir vermieden wird.
[0020] Wird beispielsweise der Piezoaktor angesteuert, insbesondere bestromt, das heißt
mit Strom versorgt, so dehnt sich beispielsweise wenigstens ein Piezoelement, insbesondere
ein mehrere Piezoelemente umfassender Piezostapel, des Piezoaktors aus, wodurch beispielsweise
eine Volumenverkleinerung der Antriebskammer bewirkt wird. Hierdurch wird zumindest
ein Teil der Hydraulikflüssigkeit aus der Antriebskammer herausgefördert. Wird die
Ansteuerung beziehungsweise Bestromung des Aktors beendet, so zieht sich der Piezoaktor
beziehungsweise das Piezoelement oder der Piezostapel beispielsweise zusammen, was
mit einer Volumenvergrößerung der Antriebskammer einhergeht. Um einen übermäßigen
beziehungsweise unerwünschten, aus der Volumenvergrößerung der Antriebskammer resultierenden
Unterdruck in der Antriebskammer zu vermeiden, kann bei der Volumenvergrößerung der
Antriebskammer Hydraulikflüssigkeit aus dem Reservoir über die dritte Versorgungsleitung
und das zweite Rückschlagventil nachströmen und insbesondere in die Antriebskammer
einströmen.
[0021] Beim Herausfördern der Hydraulikflüssigkeit aus der Antriebskammer verhindert das
zweite Rückschlagventil, dass die Hydraulikflüssigkeit unerwünschterweise über die
dritte Versorgungsleitung zurück in das Reservoir strömt. Dadurch kann eine bedarfsgerechte
Strömung der Hydraulikflüssigkeit auf besonders einfache und somit gewichts- und kostengünstige
Weise gewährleistet werden. Durch entsprechendes Hin- und Herbewegen des Antriebskolbenelements
kann somit Hydraulikflüssigkeit sukzessive über die dritte Versorgungsleitung aus
dem Reservoir in die Antriebskammer eingesaugt sowie Hydraulikflüssigkeit aus der
Antriebskammer zu dem jeweiligen Abtriebskolbenelement gefördert werden, um dadurch
eine bedarfsgerechte Bewegung des jeweiligen Abtriebskolbenelements und somit des
genannten Abtriebselements realisieren zu können.
[0022] Der piezohydraulische Aktor weist wenigstens eine mit der zweiten Abtriebskammer
fluidisch verbundene vierte Versorgungsleitung auf, über welche Hydraulikflüssigkeit
aus dem zuvor genannten Reservoir, unter Umgehen der ersten Versorgungsleitung und
der zweiten Versorgungsleitung in die zweite Abtriebskammer einleitbar ist. Dies bedeutet,
dass die vierte Versorgungsleitung die erste Versorgungsleitung und die zweite Versorgungsleitung
umgeht beziehungsweise die die vierte Versorgungsleitung durchströmende Hydraulikflüssigkeit
umgeht die erste Versorgungsleitung und die zweite Versorgungsleitung und strömt somit
nicht durch die erste Versorgungsleitung oder durch die zweite Versorgungsleitung.
Somit kann der zweiten Abtriebskammer Hydraulikflüssigkeit unabhängig von der ersten
Versorgungsleitung und unabhängig von der zweiten Versorgungsleitung aus dem Reservoir
zugeführt werden.
[0023] Dabei weist der piezohydraulische Aktor ferner ein in der vierten Versorgungsleitung
angeordnetes drittes Rückschlagventil auf, welches in Richtung der zweiten Abtriebskammer
öffnet und in Richtung des Reservoirs schließt. Steht beispielsweise dem ersten Abtriebskolbenelement
die zuvor genannte Gegenkraft nicht entgegen beziehungsweise steht dem ersten Abtriebskolbenelement
eine nur sehr geringe Gegenkraft entgegen, sodass die Hydraulikflüssigkeit nicht die
zweite Versorgungsleitung durchströmen und demzufolge nicht über die zweite Versorgungsleitung
in die zweite Abtriebskammer einströmen kann, da beispielsweise das in der zweiten
Versorgungsleitung angeordnete erste Rückschlagventil noch nicht öffnet beziehungsweise
noch geschlossen ist und somit eine Strömung der Hydraulikflüssigkeit durch die zweite
Versorgungsleitung zu der beziehungsweise in die zweite Abtriebskammer verhindert,
so wird das zweite Abtriebskolbenelement über die Kopplungseinrichtung mittels des
ersten Abtriebskolbenelements bewegt beziehungsweise mit dem ersten Abtriebskolbenelement
mitbewegt, ohne dass Hydraulikflüssigkeit über die zweite Versorgungsleitung in die
zweite Abtriebskammer einströmen kann. Dadurch, dass das zweite Abtriebskolbenelement
mit dem ersten Abtriebskolbenelement mitbewegt wird, wird jedoch eine Volumenvergrößerung
der zweiten Abtriebskammer bewirkt. Um dabei die Entstehung eines unerwünschten beziehungsweise
übermäßigen Unterdrucks in der zweiten Abtriebskammer auf besonders einfache Weise
zu vermeiden, kann nun Hydraulikflüssigkeit nicht etwa über die erste Versorgungsleitung
oder die zweite Versorgungsleitung, sondern über die vierte Versorgungsleitung und
das dritte Rückschlagventil in die zweite Abtriebskammer einströmen beziehungsweise
eingesaugt werden.
[0024] Die zweite Versorgungsleitung ist an einer Verbindungsstelle mit der ersten Versorgungsleitung
fluidisch verbunden, wobei in der ersten Versorgungsleitung stromauf der Verbindungsstelle
ein viertes Rückschlagventil angeordnet ist, welches in Richtung der Verbindungsstelle
öffnet und in Richtung der Antriebskammer schließt. Mit anderen Worten ist das vierte
Rückschlagventil bezogen auf eine Strömungsrichtung des von der Antriebskammer zur
ersten Abtriebskammer durch die erste Versorgungsleitung strömenden Hydraulikflüssigkeit
stromauf der Verbindungsstelle angeordnet, wobei das vierte Rückschlagventil eine
Strömung der Hydraulikflüssigkeit von der Antriebskammer durch die erste Versorgungsleitung
in Richtung der beziehungsweise in die erste Abtriebskammer zulässt, da das vierte
Rückschlagventil entsprechend öffnet. Jedoch kann mittels des vierten Rückschlagventils
eine unerwünschte Strömung der Hydraulikflüssigkeit von der Verbindungsstelle und
somit beispielsweise von der ersten Abtriebskammer in die Antriebskammer vermieden
werden. Hierdurch kann eine bedarfsgerechte Strömung der Hydraulikflüssigkeit auf
einfache und kostengünstige Weise gewährleistet werden.
[0025] Der piezohydraulische Aktor weist wenigstens eine mit zumindest einer der Abtriebskammern
fluidisch verbundene Abführleitung auf, über welche zumindest ein Teil der Hydraulikflüssigkeit
aus der zumindest einen Abtriebskammer abführbar und zu dem Reservoir, insbesondere
zu dem zuvor genannten Reservoir, zu leiten ist. Alternativ oder zusätzlich ist die
Abführleitung mit der ersten Versorgungsleitung und/oder mit der zweiten Versorgungsleitung
und/oder mit der dritten Versorgungsleitung fluidisch verbunden, sodass beispielsweise
zumindest ein Teil der Hydraulikflüssigkeit aus der ersten Versorgungsleitung und/oder
aus der zweiten Versorgungsleitung und/oder aus der dritten Versorgungsleitung abführbar
und zu dem genannten Reservoir zu leiten ist. Dabei weist der piezohydraulische Aktor
ferner ein in der Abführleitung angeordnetes fünftes Rückschlagventil auf, welches
in Richtung des Reservoirs öffnet und in Richtung der zumindest einen Abtriebskammer
beziehungsweise in Richtung der jeweiligen Versorgungsleitung, mit der die Abführleitung
gegebenenfalls fluidisch verbunden ist, schließt. Wirkt beispielsweise eine solche
Gegenkraft auf zumindest einen der Abtriebskolben, dass mittels der Gegenkraft eine
Volumenverkleinerung der jeweiligen Abtriebskammer bewirkt wird, so kann zumindest
ein Teil der zunächst in der jeweiligen Abtriebskammer aufgenommenen Hydraulikflüssigkeit
über die Abführleitung aus der jeweiligen Abtriebskammer abgeführt werden, ohne dass
es zu einer Beschädigung des piezohydraulischen Aktors kommt. Ist die zuvor genannte,
dem jeweiligen Abtriebskolbenelement beziehungsweise dessen Bewegung entgegenstehende
Gegenkraft so groß, dass mittels des Piezoaktors beziehungsweise mittels eines durch
den Piezoaktor bewirkbaren Drucks der Hydraulikflüssigkeit keine solche Bewegung des
jeweiligen Abtriebskolbenelements bewirkt werden kann, dass es zu einer Volumenvergrößerung
der jeweiligen Abtriebskammer kommt, so kann beispielsweise Hydraulikflüssigkeit aus
der jeweiligen Versorgungsleitung über die Abführleitung abgeführt und insbesondere
zu dem beziehungsweise in das Reservoir geleitet werden, ohne dass es zu einer Beschädigung
des piezohydraulischen Aktors kommt. Dadurch können Beschädigungen des piezohydraulischen
Aktors auf einfache und kostengünstige Weise vermieden werden.
[0026] Dabei hat es sich als besonders vorteilhaft gezeigt, wenn eine Öffnungskraft, welche
das fünfte Rückschlagventil öffnet, einstellbar ist. Die Öffnungskraft korrespondiert
mit einem Öffnungsdruck der Hydraulikflüssigkeit. Wird beispielsweise mittels des
Antriebskolbenelements und/oder mittels wenigstens eines der Abtriebskolbenelemente
eine solche Strömung der Hydraulikflüssigkeit bewirkt, dass die Strömung der Hydraulikflüssigkeit
in der Abführleitung in Richtung des Reservoirs gerichtet ist, so öffnet das fünfte
Rückschlagventil dann, wenn die Hydraulikflüssigkeit in der Abführleitung den Öffnungsdruck
beziehungsweise überschreitet erreicht. Da die Öffnungskraft einstellbar ist, kann
der Öffnungsdruck, ab dem das fünfte Rückschlagventil die Strömung der Hydraulikflüssigkeit
durch die Abführleitung in Richtung des Reservoirs freigibt, bedarfsgerecht eingestellt
werden.
[0027] Dabei hat es sich als besonders vorteilhaft gezeigt, wenn das fünfte Rückschlagventil
ein Federelement aufweist, dessen Vorspannung einstellbar ist, um dadurch die Öffnungskraft
einzustellen. Dadurch kann die Öffnungskraft besonders bedarfsgerecht und auf besonders
einfache und kostengünstige Weise eingestellt werden.
[0028] In weiterer vorteilhafter Ausgestaltung der Erfindung ist dem Federelement des fünften
Rückschlagventils ein Einstellelement zugeordnet, welches wenigstens eine Einstellkammer
aufweist. In die Einstellkammer ist zumindest ein Teil der aus der Antriebskammer
geförderten Hydraulikflüssigkeit einleitbar. Ferner weist das Einstellelement ein
die Einstellkammer teilweise begrenzendes Einstellkolbenelement auf, welches mittels
der in die Einstellkammer eingeleiteten Hydraulikflüssigkeit bewegbar ist, wodurch
die Vorspannung des Federelements einstellbar ist. Das Einstellkolbenelement ist beispielsweise
zumindest mittelbar mit dem Federelement gekoppelt beziehungsweise koppelbar, sodass
durch Bewegen des Einstellkolbenelements das Federelement gespannt beziehungsweise
entspannt werden kann. Hierdurch kann die Vorspannung des Federelements auf besonders
einfache Weise bedarfsgerecht und insbesondere selbsttätig beziehungsweise automatisch
eingestellt werden.
[0029] Bei einer weiteren Ausführungsform der Erfindung weist der piezohydraulische Aktor
wenigstens eine mit der Einstellkammer und mit der Antriebskammer fluidisch verbundene
Einstellleitung auf, über welche zumindest der Teil der Hydraulikflüssigkeit in die
Einstellkammer einleitbar ist. Vorzugsweise ist in der Einstellleitung ein sechstes
Rückschlagventil angeordnet, welches in Richtung der Einstellkammer öffnet und in
Richtung der Antriebskammer schließt. Dadurch lässt beispielsweise das sechste Rückschlagventil
eine Strömung der Hydraulikflüssigkeit aus der Antriebskammer durch die Einstellleitung
in Richtung der beziehungsweise in die Einstellkammer zu. Ferner kann mittels des
sechsten Rückschlagventils eine unerwünschte Strömung der Hydraulikflüssigkeit aus
der Einstellkammer durch die Einstellleitung in die Antriebskammer auf einfache Weise
vermieden werden.
[0030] Um die Vorspannung des Federelements und somit den Öffnungsdruck beziehungsweise
die Öffnungskraft besonders bedarfsgerecht sowie auf einfache Weise einstellen zu
können, ist in der Einstellleitung wenigstens eine von der Hydraulikflüssigkeit durchströmbare
Drossel angeordnet, über welche zumindest der Teil der Hydraulikflüssigkeit in die
Einstellkammer einleitbar ist.
[0031] Schließlich hat es sich als besonders vorteilhaft gezeigt, wenn eine von der Hydraulikflüssigkeit
durchströmbare zweite Drossel vorgesehen ist, welche fluidisch seriell zur ersten
Drossel und fluidisch parallel zum Einstellkolbenelement angeordnet ist. Bei einer
mittels des Piezoaktors und des Antriebskolbenelements bewirkten Strömung der Hydraulikflüssigkeit
aus der Antriebskammer durch die Einstellleitung und durch die erste Drossel hindurch
strömt ein erster Teil der Strömung in die Einstellkammer und somit nicht durch die
zweite Drossel, und ein zweiter Teil der Strömung fließt parallel beziehungsweise
gleichzeitig durch die zweite Drossel und somit nicht in die Einstellkammer.
[0032] Ein zweiter Aspekt der Erfindung betrifft ein Verfahren zum Betreiben eines erfindungsgemäßen
piezohydraulischen Aktors. Der piezohydraulische Aktor umfasst dabei wenigstens einen
Piezoaktor und wenigstens einen Antrieb, welcher eine mit einer Hydraulikflüssigkeit
versorgbare Antriebskammer und ein die Antriebskammer teilweise begrenzendes und von
dem Piezoaktor antreibbares und dadurch, insbesondere translatorisch, bewegbares Antriebskolbenelement
aufweist, mittels welchem durch Antreiben des Antriebskolbenelements zumindest ein
Teil der Hydraulikflüssigkeit aus der Antriebskammer zu fördern ist beziehungsweise
gefördert wird.
[0033] Der piezohydraulische Aktor weist ferner wenigstens einen ersten Abtrieb auf, welcher
eine erste Abtriebskammer, in welche zumindest einen Teil der aus der Antriebskammer
geförderten Hydraulikflüssigkeit einleitbar ist, und einen die erste Abtriebskammer
teilweise begrenzendes erstes Abtriebskolbenelement aufweist, welches eine mit der
in die erste Abtriebskammer eingeleiteten Hydraulikflüssigkeit beaufschlagbare, hydraulisch
wirksame erste Abtriebsfläche aufweist und durch Beaufschlagen der ersten Abtriebsfläche
mit der in die erste Abtriebskammer eingeleiteten Hydraulikflüssigkeit antreibbar
und dadurch, insbesondere translatorisch, bewegbar ist.
[0034] Außerdem umfasst der piezohydraulische Aktor wenigstens einen zweiten Abtrieb, der
eine zweite Abtriebskammer, in die zumindest ein Teil der aus der Antriebskammer geförderten
Hydraulikflüssigkeit einleitbar ist, und einen die zweite Abtriebskammer teilweise
begrenzendes zweites Abtriebskolbenelement aufweist, welches eine mit der in die zweite
Abtriebskammer eingeleiteten Hydraulikflüssigkeit beaufschlagbare, hydraulisch wirksame
und gegenüber der ersten Abtriebsfläche größere oder kleinere zweite Abtriebsfläche
aufweist und durch Beaufschlagen der zweiten Abtriebsfläche mit der in die zweite
Abtriebskammer eingeleiteten Hydraulikflüssigkeit antreibbar ist. Außerdem umfasst
der piezohydraulische Aktor eine Koppeleinrichtung, mittels welcher die Abtriebskolbenelemente
mechanisch miteinander gekoppelt sind.
[0035] Bei dem Verfahren wird der Piezoaktor mittels wenigstens eines elektrischen Signals
angesteuert, wodurch das Antriebskolbenelement mittels des Piezoaktors angetrieben
wird. Vorteile und vorteilhafte Ausgestaltungen des ersten Aspekts der Erfindung sind
als Vorteile und vorteilhafte Ausgestaltungen des zweiten Aspekts der Erfindung anzusehen
und umgekehrt.
[0036] Dabei hat es sich als besonders vorteilhaft gezeigt, wenn der Piezoaktor mittels
Pulsweitenmodulation (PWM) angesteuert wird. Somit ist das elektrische Signal beispielsweise
eine elektrische Spannung in PWM-Form.
[0037] Die Antriebskammer, die jeweilige Abtriebskammer und die Einstellkammer werden auch
einfach als Kammern bezeichnet. Das Antriebskolbenelement und/oder das jeweilige Abriebskolbenelement
und/oder das Einstellkolbenelement ist beispielsweise ein Kolben, welcher translatorisch
bewegbar in einem auch als Zylinder bezeichneten Gehäuse aufgenommen ist, sodass beispielsweise
das jeweilige Gehäuse und der jeweilige Kolben die jeweilige Kammer jeweils teilweise
begrenzen. Der jeweilige Kolben und das jeweilige Gehäuse bilden somit beispielsweise
einen Hydraulikzylinder.
[0038] Ferner ist es denkbar, dass das Antriebskolbenelement und/oder das jeweilige Abriebskolbenelement
und/oder das Einstellkolbenelement Bestandteil eines Balgs ist. Der Bestandteil des
Balgs ist dabei beispielsweise eine Stirnwand der Balgs, sodass das Antriebskolbenelement
und/oder das jeweilige Abtriebskolbenelement und/oder das Einstellkolbenelement beispielsweise
eine, insbesondere axiale, Stirnwand eines Balgs ist. Der jeweilige Balg weist dabei
beispielsweise einen Mantel beziehungsweise eine Seitenwand auf, wobei die jeweilige
Kammer durch die jeweilige Stirnwand und den jeweiligen Mantel des jeweiligen Balgs
jeweils teilweise begrenzt ist. Dabei ist beispielsweise die jeweilige Stirnwand mit
dem jeweiligen Mantel verbunden, insbesondere einstückig mit dem jeweiligen Mantel
ausgebildet.
[0039] Beispielsweise ist die jeweilige Stirnwand unter Längenzunahme und Längenverkürzung
des jeweiligen Mantels translatorisch hin- und herbewegbar, wie beispielsweise bei
einem Feder- oder Faltenbalg. Dabei weist der Mantel beispielsweise zumindest in einem
Längenbereich einen gewellten und/oder gezackten beziehungsweise gefalteten oder faltigen
Verlauf auf. Beispielsweise wird der Mantel elastisch verformt, wenn die Stirnwand
in eine Richtung translatorisch bewegt wird. Ferner ist es denkbar, dass - wenn die
beispielsweise einen Kolben bildende Stirnwand translatorisch hin- und herbewegt wird,
der Mantel zumindest teilweise auf den Kolben aufgerollt und von dem Kolben abgerollt
wird, wie beispielsweise bei einem Federbalg, insbesondere einem Luftfederbalg, oder
einem Rollbalg. Der Mantel ist beispielsweise aus einem Kunststoff oder aus einem
metallischen Werkstoff gebildet. Insbesondere kann der Mantel aus einem elastisch
verformbaren Werkstoff, insbesondere aus Gummi, gebildet sein. Ferner kann der Mantel
flexibel beziehungsweise biegeschlaff, das heißt formlabil sein.
[0040] Das jeweilige Rückschlagventil ist beispielsweise als herkömmliches Rückschlagventil
mit einem beispielsweise als Kugel ausgebildeten Ventilelement und einer Feder ausgebildet,
gegen deren Federkraft das Ventilelement und somit das Rückschlagventil insgesamt
öffnen kann. Ferner ist es denkbar, dass das Rückschlagventil als Rückschlagklappe
oder als einfaches Rückschlagventil ausgebildet ist, bei dem beispielsweise ein insbesondere
aus Metall gebildeter Streifen oder Band vorgesehen ist, der in einer Sperrstellung
wenigstens eine Durchströmöffnung für die Hydraulikflüssigkeit überdeckt und dadurch
verschließt. Erreicht beziehungsweise übersteigt ein Druck der auf den Streifen wirkenden
Hydraulikflüssigkeit einen Schwellenwert, so wird der Streifen verformt und dadurch
in eine Freigabestellung bewegt, in welcher der Streifen die Durchströmöffnung freigibt.
[0041] Weitere Vorteile, Merkmale und Einzelheiten der Erfindung ergeben sich aus der nachfolgenden
Beschreibung eines bevorzugten Ausführungsbeispiels sowie anhand der Zeichnung. Die
vorstehend in der Beschreibung genannten Merkmale und Merkmalskombinationen sowie
die nachfolgend in der Figurenbeschreibung genannten und/oder in den Figuren alleine
gezeigten Merkmale und Merkmalskombinationen sind nicht nur in der jeweils angegebenen
Kombination, sondern auch in anderen Kombinationen oder in Alleinstellung verwendbar,
ohne den Rahmen der Erfindung zu verlassen.
[0042] Die Zeichnung zeigt in der einzigen Figur eine schematische Darstellung eines hydraulischen
Schaltbilds eines erfindungsgemäßen, piezohydraulischen Aktors.
[0043] Die einzige Figur zeigt in einer schematischen Darstellung ein hydraulisches Schaltbild
eines piezohydraulischen Aktors 10, mittels welchem beispielsweise - wie im Folgenden
noch genauer erläutert wird - eine Bewegung wenigstens eines in der Figur nicht gezeigten
Abtriebselements bewirkbar ist. Diese Bewegung des Abtriebselements wird auch als
Auslenkung bezeichnet.
[0044] Beispielsweise kommen der piezohydraulische Aktor 10 und das Abtriebselement in einer
Werkzeugmaschine zum Einsatz und werden verwendet, um wenigstens ein Werkzeug der
Werkzeugmaschine auszuwerfen. Dabei wird beispielsweise das Abtriebselement mittels
des piezohydraulischen Aktors 10 angetrieben, um das Werkzeug mittels des Abtriebselements
zu bewegen und insbesondere auszuwerfen. Ferner ist es denkbar, dass das Abtriebselement
und der piezohydraulische Aktor 10 in einem Greifsystem eines Roboters zum Einsatz
kommen, um mittels des Greifsystems und mittels des Roboters Bauelemente zu greifen
und im Raum umherzubewegen.
[0045] Der piezohydraulische Aktor 10 weist dabei wenigstens einen Piezoaktor 12 auf, welcher
wenigstens ein Piezoelement umfasst. Insbesondere weist der Piezoaktor 12 eine Mehrzahl
von Piezoelementen auf, welche einen Piezostapel bilden. Durch Anlegen einer elektrischen
Spannung an das Piezoelement beziehungsweise an den Piezostapel und somit beispielsweise
an den Piezoaktor 12 kann eine mechanische Bewegung des Piezoelements beziehungsweise
des Piezostapels bewirkt werden, wie im Folgenden noch genauer erläutert wird. Die
elektrische Spannung wird beispielsweise im Rahmen einer Ansteuerung des Piezoaktors
12 an diesen beziehungsweise an das Piezoelement oder an den Piezostapel angelegt.
[0046] Der piezohydraulische Aktor 10 weist ferner einen Antrieb 14 auf, welcher eine Antriebskammer
16 und ein Antriebskolbenelement in Form eines Antriebskolbens 18 umfasst. Ferner
umfasst der Antrieb 14 einen Antriebszylinder 20, in welchem der Antriebskolben 18
translatorisch bewegbar aufgenommen ist. Der Antriebszylinder 20 und der Antriebskolben
18 begrenzen die Antriebskammer 16 jeweils teilweise. In die Antriebskammer 16 ist
Hydraulikflüssigkeit 22 aus einem Reservoir 24 einleitbar. Das Reservoir 24 ist dabei
Bestandteil des piezohydraulischen Aktors 10, wobei die Hydraulikflüssigkeit 22 im
Reservoir 24 aufgenommen und zumindest vorübergehend gespeichert werden kann. Mit
anderen Worten kann die Antriebskammer 16 mit zumindest einem Teil der in dem Reservoir
24 aufgenommenen Hydraulikflüssigkeit 22 versorgt werden. Der Antriebskolben 18 ist
mit einer Antriebskolbenstange 26 des Antriebs 14 verbunden, sodass die Antriebskolbenstange
26 mit dem Antriebskolben 18 relativ zu dem Antriebszylinder 20 translatorisch mitbewegbar
ist. Dabei ist die Antriebskolbenstange 26 von dem Piezoaktor 12 antreibbar und dadurch
translatorisch relativ zu dem Antriebszylinder 20 bewegbar. Da der Antriebskolben
18 mit der Antriebskolbenstange 26 verbunden, insbesondere einstückig ausgebildet,
ist, ist der Antriebskolben 18 über die Antriebskolbenstange 26 von dem Piezoaktor
12 antreibbar und dadurch relativ zu dem Antriebszylinder 20 translatorisch bewegbar.
[0047] Der piezohydraulische Aktor 10 umfasst beispielsweise ein in der Figur nur ausschnittsweise
erkennbares und besonders schematisch dargestelltes Gehäuse 28, in welchem beispielsweise
die Antriebskammer 16, der Antriebszylinder 20 und der Antriebskolben 18 aufgenommen
sind. Durch Antreiben des Antriebskolbens 18 kann zumindest ein Teil der zunächst
in der Antriebskammer 16 aufgenommenen Hydraulikflüssigkeit aus der Antriebskammer
16 herausgefördert werden. Wird beispielsweise der Antriebskolben 18 derart über die
Antriebskolbenstange 26 von dem Piezoaktor 12 bewegt, dass es zu einer Volumenverkleinerung
der Antriebskammer 16 kommt, so wird zumindest ein Teil der zunächst in der Antriebskammer
16 aufgenommenen Hydraulikflüssigkeit mittels des Antriebskolbens 18 aus der Antriebskammer
16 herausgefördert. Dabei ist in der Figur mit s
in ein Weg beziehungsweise eine Strecke bezeichnet, um den beziehungsweise die der Antriebskolben
18 über die Antriebskolbenstange 26 mittels des Piezoaktors 12 bewegt wird, insbesondere
um eine Volumenverkleinerung der Antriebskammer 16 zu bewirken.
[0048] Der Antriebskolben 18 weist dabei eine hydraulisch wirksame Antriebsfläche 30 auf,
mittels welcher zumindest der zuvor genannte Teil der zunächst in der Antriebskammer
16 aufgenommenen Hydraulikflüssigkeit aus der Antriebskammer 16 herausgefördert werden
kann. Somit steht die in der Antriebskammer 16 aufgenommene Hydraulikflüssigkeit in
Kontakt mit der hydraulisch wirksamen Antriebsfläche 30, über welche somit mittels
des Antriebskolbens 18 ein erster Druck, insbesondere ein Antriebsdruck, der Hydraulikflüssigkeit
bewirkt werden kann. Die Hydraulikflüssigkeit ist beispielsweise ein inkompressibles
Fluid und kann insbesondere als Öl ausgebildet sein.
[0049] Der piezohydraulische Aktor 10 weist ferner wenigstens einen ersten Abtrieb 32 auf,
welcher eine erste Abtriebskammer 34 aufweist. In die erste Abtriebskammer 34 ist
zumindest ein Teil der aus der Antriebskammer 16 geförderten Hydraulikflüssigkeit
einleitbar. Dabei umfasst der erste Abtrieb 32 einen ersten Abtriebszylinder 36 und
ein erstes Abtriebskolbenelement in Form eines ersten Abtriebskolbens 38, welcher
translatorisch bewegbar in dem ersten Abtriebszylinder 36 aufgenommen ist. Dabei begrenzen
der erste Abtriebszylinder 36 und der erste Abtriebskolben 38 die erste Abtriebskammer
34 jeweils teilweise. Außerdem umfasst der erste Abtrieb 32 eine erste Abtriebskolbenstange
40, welche mit dem ersten Abtriebskolben 38 verbunden, insbesondere einstückig ausgebildet,
ist. Dadurch ist die erste Abtriebskolbenstange 40 mit dem ersten Abtriebskolben 38
relativ zu dem ersten Abtriebszylinder 36 translatorisch mitbewegbar. Wird beispielsweise
die Hydraulikflüssigkeit in die erste Abtriebskammer 34 eingeleitet, sodass es zu
einer Volumenvergrößerung der ersten Abtriebskammer 34 kommt, so wird beispielsweise
die Abtriebskolbenstange 40 aus dem Abtriebszylinder 36 ausgefahren. Dabei ist in
der Figur mit s
out ein Weg beziehungsweise eine Strecke bezeichnet, um den beziehungsweise die der erste
Abtriebskolben 38 und mit diesem die erste Abtriebskolbenstange 40 infolge der genannten
Volumenvergrößerung der ersten Abtriebskammer 34 translatorisch relativ zu dem ersten
Abtriebszylinder 36 bewegt werden.
[0050] Da beispielsweise das zuvor genannte Abtriebselement zumindest mittelbar mit der
ersten Abtriebskolbenstange 40 gekoppelt ist, wird das Abtriebselement, insbesondere
translatorisch, mit der ersten Abtriebskolbenstange 40 mitbewegt, insbesondere um
den Weg s
out.
[0051] Der erste Abtriebskolben 38 weist dabei eine hydraulisch wirksame erste Abtriebsfläche
42 auf, welche mit der in die erste Abtriebskammer 34 eingeleiteten Hydraulikflüssigkeit
beaufschlagbar ist. Die in die erste Abtriebskammer 34 eingeleitete Hydraulikflüssigkeit
kommt somit in Kontakt mit der ersten Abtriebsfläche 42 und wirkt auf die erste Abtriebsfläche
42, woraus in Kombination mit dem zuvor genannten Druck der Hydraulikflüssigkeit eine
auf den ersten Abtriebskolben 38 wirkende erste Kraft resultiert. Mittels dieser ersten
Kraft kann der erste Abtriebskolben 38 relativ zu dem ersten Abtriebszylinder 36 translatorisch
bewegt werden, um dadurch insbesondere eine Volumenvergrößerung der ersten Abtriebskammer
34 zu bewirken und demzufolge die erste Abtriebskolbenstange 40 aus dem ersten Abtriebszylinder
36 auszufahren. Somit ist der erste Abtriebskolben 38 durch Beaufschlagen der ersten
Abtriebsfläche 42 mit der in die erste Abtriebskammer 34 eingeleiteten Hydraulikflüssigkeit
antreibbar und dadurch relativ zu dem Abtriebszylinder 36 translatorisch bewegbar.
[0052] Der piezohydraulische Aktor 10 weist ferner wenigstens einen zweiten Abtrieb 44 auf,
welcher eine zweite Abtriebskammer 46 aufweist. In die zweite Abtriebskammer 46 ist
zumindest ein Teil der aus der Antriebskammer 16 geförderten Hydraulikflüssigkeit
einleitbar. Ferner umfasst der zweite Abtrieb 44 einen zweiten Abtriebszylinder 48
und ein zweites Abtriebskolbenelement in Form eines zweiten Abtriebskolbens 50, welcher
translatorisch bewegbar in dem zweiten Abtriebszylinder 48 aufgenommen ist. Dabei
begrenzen der zweite Abtriebszylinder 48 und der zweite Abtriebskolben 50 die zweite
Abtriebskammer 46 jeweils teilweise. Der zweite Abtriebskolben 50 weist eine hydraulisch
wirksame zweite Abtriebsfläche 52 auf, welche mit der in die zweite Abtriebskammer
46 eingeleiteten Hydraulikflüssigkeit beaufschlagbar ist. Dabei sind die Abtriebsflächen
42 und 52 unterschiedlich groß. Bei dem in der Figur veranschaulichten Ausführungsbeispiel
ist die zweite Abtriebsfläche 52 größer als die erste Abtriebsfläche 42.
[0053] Außerdem weist der zweite Abtrieb 44 eine zweite Abtriebskolbenstange 54 auf, welche
mit dem zweiten Abtriebskolben 50 verbunden, insbesondere einstückig ausgebildet,
ist. Somit ist die zweite Abtriebskolbenstange 54 mit dem zweiten Abtriebskolben 50
relativ zu dem zweiten Abtriebszylinder 48 translatorisch mitbewegbar. Durch Beaufschlagen
der zweiten Abtriebsfläche 52 mit der in die zweite Abtriebskammer 46 eingeleiteten
Hydraulikflüssigkeit ist der zweite Abtriebskolben 50 antreibbar und dadurch relativ
zu dem zweiten Abtriebszylinder 48 translatorisch bewegbar. Aus der zweiten Abtriebsfläche
52 und dem Druck der Hydraulikflüssigkeit resultiert eine auf den zweiten Abtriebskolben
50 wirkende zweite Kraft, mittels welcher der zweite Abtriebskolben 50 relativ zu
dem zweiten Abtriebszylinder 48 translatorisch bewegt werden kann, wodurch insbesondere
eine Volumenvergrößerung der zweiten Abtriebskammer 46 bewirkt werden kann. Da die
zweite Abtriebskolbenstange 54 mit dem zweiten Abtriebskolben 50 translatorisch mitbewegbar
ist, kann durch Bewirken einer Volumenvergrößerung der zweiten Abtriebskammer 46 die
zweite Abtriebskolbenstange 54 aus dem zweiten Abtriebszylinder 48 ausgefahren werden.
Dabei ist beispielsweise das zuvor genannte Abtriebselement zumindest mittelbar mit
der zweiten Abtriebskolbenstange 54 gekoppelt beziehungsweise verbunden, sodass das
Abtriebselement durch Bewegen der zweiten Abtriebskolbenstange 54 angetrieben und
somit, insbesondere translatorisch, bewegt werden kann.
[0054] Die Hydraulikflüssigkeit kann beispielsweise mit dem zuvor genannten, als Antriebsdruck
ausgebildeten ersten Druck in die jeweilige Abtriebskammer 34 beziehungsweise 46 einströmen.
Da die Abtriebsflächen 42 und 52 unterschiedlich groß ausgebildet sind, resultiert
aus dem Antriebsdruck und der ersten Abtriebsfläche 42 die erste Kraft, und aus dem
Antriebsdruck und der zweiten Abtriebsfläche 52 resultiert die genannte zweite Kraft.
Dabei ist die zweite Kraft größer als die erste Kraft.
[0055] Der piezohydraulische Aktor 10 umfasst ferner eine Koppeleinrichtung 56, welche bei
dem in der Figur veranschaulichten Ausführungsbeispiel wenigstens ein mechanisches
Koppelelement 58 aufweist. Mittels des Koppelelements 58 und somit mittels der Koppeleinrichtung
56 sind die Abtriebskolben 38 und 50, insbesondere über die Abtriebskolbenstangen
40 und 54, mechanisch miteinander gekoppelt, sodass sich die Abtriebskolben 38 und
50 und somit die Abtriebskolbenstangen 40 und 54 synchron beziehungsweise gleichzeitig
und dabei um denselben Weg s
out bewegen. Beispielsweise sind die Abtriebskammern 34 und 46, die Abtriebszylinder
36 und 48 sowie die Abtriebskolben 38 und 50 in dem Gehäuse 28 aufgenommen. In der
Figur ist eine parallele Kopplung der Abtriebskolben 38 und 50 dargestellt. Selbstverständlich
ist ferner eine serielle Kopplung der Abtriebskolben 38 und 50 möglich.
[0056] Der piezohydraulische Aktor 10 weist ferner eine mit der Antriebskammer 16 und mit
der ersten Abtriebskammer 34 fluidisch verbundene erste Versorgungsleitung 60 auf,
über welche zumindest der genannte Teil der aus der Antriebskammer 16 geförderten
Hydraulikflüssigkeit in die erste Abtriebskammer 34 einleitbar ist.
[0057] Außerdem umfasst der piezohydraulische Aktor 10 eine mit der ersten Versorgungsleitung
60 und mit der zweiten Abtriebskammer 46 fluidisch verbundene zweite Versorgungsleitung
62, über welche zumindest der Teil der aus der Antriebskammer 16 geförderten Hydraulikflüssigkeit,
insbesondere über zumindest einen Teil der ersten Versorgungsleitung 60, in die zweite
Abtriebskammer 46 einleitbar ist. Dabei ist in der zweiten Versorgungsleitung 62 ein
erstes Rückschlagventil 64 angeordnet, welches in Richtung der zweiten Abtriebskammer
46 öffnet und in Richtung der ersten Versorgungsleitung 60 schließt.
[0058] Des Weiteren ist eine mit der Antriebskammer 16 und mit dem Reservoir 24 fluidisch
verbundene dritte Versorgungsleitung 66 vorgesehen, über welche die Hydraulikflüssigkeit
22 aus dem Reservoir 24 in die Antriebskammer 16 einleitbar ist. Dabei ist in der
dritten Versorgungsleitung 66 ein zweites Rückschlagventil 68 angeordnet, welches
in Richtung der Antriebskammer 16 öffnet und in Richtung des Reservoirs 24 schließt.
[0059] Der piezohydraulische Aktor 10 umfasst außerdem wenigstens eine mit der zweiten Abtriebskammer
46 und mit dem Reservoir 24 fluidisch verbundene vierte Versorgungsleitung 70, über
welche die Hydraulikflüssigkeit 22 aus dem Reservoir 24 unter Umgehen der Versorgungsleitungen
60 und 62 in die zweite Abtriebskammer 46 einleitbar ist. Dabei bildet beispielsweise
ein den Versorgungsleitungen 66 und 70 gemeinsamer Leitungsteil 72 sowohl einen Teil
der Versorgungsleitung 66 als auch einen Teil der Versorgungsleitung 70. Somit kann
beispielsweise die Hydraulikflüssigkeit 22 aus dem Reservoir 24 zunächst durch den
Leitungsteil 72 und dann zu der Abtriebskammer 46 beziehungsweise zu der Antriebskammer
16 strömen. In der vierten Versorgungsleitung 70 ist ein drittes Rückschlagventil
74 angeordnet, welches in Richtung der zweiten Abtriebskammer 46 öffnet und in Richtung
des Reservoirs 24 schließt.
[0060] Die zweite Versorgungsleitung 62 ist an einer Verbindungsstelle V fluidisch mit der
Versorgungsleitung 60 verbunden. In Strömungsrichtung des von der Antriebskammer 16
zu der ersten Abtriebskammer 34 strömenden und dabei die Versorgungsleitung 60 durchströmende
Hydraulikflüssigkeit 22 ist stromauf der Verbindungsstelle V und stromab der Antriebskammer
16 ein viertes Rückschlagventil 76 in der ersten Versorgungsleitung 60 angeordnet,
wobei das vierte Rückschlagventil 76 in Richtung der Verbindungsstelle V öffnet und
in Richtung der Antriebskammer 16 schließt.
[0061] Des Weiteren umfasst der piezohydraulische Aktor 10 eine als Abführzweig ausgebildete
Abführleitung 78, welche, insbesondere über den Leitungsteil 72, fluidisch mit dem
Reservoir 24 und fluidisch mit den Abtriebskammern 34 und 46 beziehungsweise mit den
Versorgungsleitungen 60 und 62 verbunden ist, sodass über die Abführleitung 78 die
Hydraulikflüssigkeit aus der jeweiligen Abtriebskammer 34 beziehungsweise 46 beziehungsweise
aus der jeweiligen Versorgungsleitung 60 beziehungsweise 62 abführbar und zu dem Reservoir
24 zu leiten und somit rückführbar ist. Dabei bildet der Leitungsteil 72 auch einen
Teil der Abführleitung 78. In der Abführleitung 78 ist ein fünftes Rückschlagventil
80 angeordnet, welches in Richtung des Reservoirs 24 öffnet und in Richtung der Abtriebskammer
34 beziehungsweise 46 beziehungsweise in Richtung der Versorgungsleitung 60 beziehungsweise
62 schließt.
[0062] Mittels des piezohydraulischen Aktors 10 ist es nun möglich, auf besonders einfache
und insbesondere bauraum-, gewichts- und kostengünstige Weise wenigstens zwei voneinander
unterschiedliche Modi, das heißt Betriebsmodi, des piezohydraulischen Aktors 10 zu
realisieren. Ein erster der Modi ist ein sogenannter Geschwindigkeitsmodus, in welchem
das Abtriebselement mit einer hohen ersten Geschwindigkeit, jedoch mit einer geringen
ersten Kraft angetrieben und dadurch bewegt werden kann. Dabei wird das Abtriebselement
in dem Geschwindigkeitsmodus insbesondere mittels des ersten Abtriebs 32 aktiv angetrieben.
[0063] Der zweite Modus ist ein Kraftmodus, in welchem das Abtriebselement mit einer gegenüber
der ersten Geschwindigkeit geringeren zweiten Geschwindigkeit, jedoch mit einer gegenüber
der ersten Kraft größeren zweiten Kraft angetrieben und somit bewegt wird. Dabei wird
in dem Kraftmodus das Abtriebselement insbesondere über den zweiten Abtrieb 44 aktiv
angetrieben. Dabei kann auf besonders einfache Weise und insbesondere selbsttätig
zwischen den Modi, insbesondere aus dem Geschwindigkeitsmodus und dem Kraftmodus,
umgeschaltet werden.
[0064] Der jeweilige Abtrieb 32 beziehungsweise 44 ist als Hydraulikzylinder ausgebildet,
wobei die Hydraulikzylinder Bestandteile eines hydraulischen Systems sind, mit welchem
der Piezoaktor 12 als Antriebselement gekoppelt ist. Dabei wird der Piezoaktor 12
genutzt, um den jeweiligen Abtriebskolben 38 beziehungsweise 50 und in der Folge das
Abtriebselement zu bewegen.
[0065] Wie aus der Figur besonders gut erkennbar ist, sind die Abtriebe 32 und 44, insbesondere
die Abtriebskolben 38 und 50, fluidisch parallel zueinander geschaltet. Beispielsweise
sind die Abtriebszylinder 36 und 48 sowie der Antriebszylinder 20 an dem Gehäuse 28
festgelegt beziehungsweise mit diesem fest verbunden. Die Abtriebszylinder 36 und
48 und der Antriebszylinder 20 sind jeweilige Gehäuse, in denen die jeweiligen Abtriebskolben
38 und 50 beziehungsweise der Antriebskolben 18 translatorisch bewegbar aufgenommen
sind. Die jeweilige Abtriebsfläche 42 beziehungsweise 52 wird auch als hydraulische
Querschnittsfläche bezeichnet, wobei auch die Antriebsfläche 30 als hydraulische Querschnittsfläche
bezeichnet wird. Dabei ist die Abtriebsfläche 42 kleiner als die Abtriebsfläche 52.
Außerdem ist die Abtriebsfläche 42 kleiner als die Antriebsfläche 30, wobei die Antriebsfläche
30 kleiner als die Abtriebsfläche 52 ist.
[0066] Um den Piezoaktor 12 anzusteuern, wird an diesen beziehungsweise an das Piezoelement
oder an den Piezostapel eine Spannung in PWM-Form (PWM - Pulsweitenmodulation) angelegt.
Mit anderen Worten wird der Piezoaktor 12 im Rahmen eines Verfahrens zum Betreiben
des piezohydraulischen Aktors 10 mittels wenigstens eines elektrischen Signals angesteuert,
wodurch der Antriebskolben 18 mittels des Piezoaktors 12 angetrieben und somit translatorisch
relativ zu dem Antriebszylinder 20 bewegt wird. Das elektrische Signal ist dabei ein
PWM-Signal in Form einer elektrischen Spannung, mittels welcher der Piezoaktor 12
angesteuert wird. Durch diese Ansteuerung des Piezoaktors 12 dehnt sich das Piezoelement
beziehungsweise der Piezostapel aus, wodurch der Antriebskolben 18 derart bewegt wird,
dass es zu einer Volumenverkleinerung der Antriebskammer 16 kommt. Dadurch wird die
in der Antriebskammer 16 aufgenommene Hydraulikflüssigkeit komprimiert beziehungsweise
der Druck der Hydraulikflüssigkeit steigt aufgrund der Quasi-Inkompressibilität der
Hydraulikflüssigkeit.
[0067] Steht beispielsweise der Bewegung des Abtriebskolbens 38 beziehungsweise des Abtriebselements
keine oder nur eine geringe Gegenkraft entgegen, so bleibt das Rückschlagventil 64
geschlossen, und das Rückschlagventil 76 öffnet sich, sodass Hydraulikflüssigkeit
von dem Antrieb 14 in die Abtriebskammer 34 strömt. Dadurch, dass die Abtriebsfläche
42 kleiner als die Antriebsfläche 30 ist, erfolgt eine Übersetzung des Wegs s
in in den Weg s
out beziehungsweise von einer Geschwindigkeit, mit welcher der Antriebskolben 18 bewegt
wird, in eine demgegenüber höhere Geschwindigkeit, mit welcher der Abtriebskolben
38 bewegt wird. Dann wird beispielsweise die elektrische Spannung beziehungsweise
das PWM-Signal, mit welchem der Piezoaktor 12 angesteuert wird oder wurde, auf Null
gesetzt, wodurch sich der Druck im Antrieb 14 verringert. In der Folge ergibt sich
beispielsweise eine Volumenvergrößerung der Antriebskammer 16, wodurch zumindest vorübergehend
ein Unterdruck in der Antriebskammer 16 entsteht. Dadurch wird das Rückschlagventil
68 geöffnet, sodass Hydraulikflüssigkeit von dem Reservoir 24 in den Antrieb 14 beziehungsweise
in die Antriebskammer 16 gesaugt wird. Dann kann die elektrische Spannung zum Ansteuern
des Piezoaktors 12 wieder erhöht werden, wodurch der zuvor beschriebene Zyklus wiederholt
wird. Durch sukzessives Bewirken einer Volumenverkleinerung und einer Volumenvergrößerung
der Antriebskammer 16 wird Hydraulikflüssigkeit aus dem Reservoir 24 in die Antriebskammer
16 gesaugt und von dieser in die Abtriebskammer 34 gefördert. In der Folge wird der
Abtriebskolben 38 ausgelenkt.
[0068] Da der Abtriebskolben 38 über das Kopplungselement 58 mechanisch mit dem Abtriebskolben
50 verbunden ist, wird der Abtriebskolben 50 um den gleichen Weg s
out wie der Abtriebskolben 38 ausgelenkt, das heißt bewegt. Da jedoch keine Hydraulikflüssigkeit
aktiv in die Abtriebskammer 46 über die Versorgungsleitungen 60 und 62 gepumpt wird,
würde - wenn keine entsprechenden Gegenmaßnahmen getroffen sind - in der Abtriebskammer
46 ein Unterdruck entstehen. Dadurch würde ein Widerstand entstehen, der der Auslenkung
der Abtriebskolben 38 und 50 entgegenstehen würde. Um dies zu vermeiden, ist durch
die Versorgungsleitung 70 eine fluidische Verbindung zwischen der Abtriebskammer 46
und dem Reservoir 24 geschaffen. Dadurch kann auf die beschriebene Weise Hydraulikflüssigkeit
aus dem Reservoir 24 über die Versorgungsleitung 70 und das Rückschlagventil 74 in
die Abtriebskammer 46 einströmen, wenn der Abtriebskolben 50 mittels des Abtriebskolbens
38 derart bewegt wird, dass es zu einer Volumenvergrößerung der Abtriebskammer 46
kommt. Somit öffnet sich das Rückschlagventil 74, wenn es durch das beschriebene Pumpen
der Hydraulikflüssigkeit in den ersten Abtrieb 32 zu einem Unterdruck in dem zweiten
Abtrieb 44 beziehungsweise in der zweiten Abtriebskammer 46 kommt. Hierdurch wird
auf passive Weise dafür gesorgt, dass der Abtrieb 44 keinen oder nur einen geringen
Einfluss auf die Auslenkung des Abtriebskolbens 38 hat.
[0069] Fährt beispielsweise das Abtriebselement gegen ein Hindernis, welches beispielsweise
als auszuwerfendes Werkzeug einer Werkzeugmaschine ausgebildet ist, so kommt es zu
der zuvor genannten Gegenkraft, die der Auslenkung beziehungsweise Bewegung des Abtriebselements
und somit der Abtriebskolben 38 und 50 entgegensteht. Dann ist es wünschenswert, dass
der piezohydraulische Aktor 10 eine möglichst hohe Kraft aufbaut, um trotz der Gegenkraft
das Abtriebselement weiter auszulenken. Dies ist mithilfe des ersten Abtriebs 32 jedoch
nur bedingt möglich, da dessen Abtriebsfläche 42 sehr klein gewählt wurde, um eine
hohe Geschwindigkeitsübersetzung zu realisieren und somit das Abtriebselement beziehungsweise
die Abtriebskolben 38 und 50 mit einer hohen Geschwindigkeit, das heißt möglichst
schnell, zu bewegen. Je kleiner die Abtriebsfläche 42, insbesondere im Vergleich zur
Antriebsfläche 30, ist, desto geringer ist die als Abtriebskraft wirkende erste Kraft
bei einem maximalen Druck in dem ersten Abtrieb 32. Aus diesem Grund sind zwischen
den Abtrieben 32 und 44 das Rückschlagventil 64 und die Versorgungsleitung 62 verbaut.
Steigt beispielsweise der Druck im Abtrieb 32 aufgrund der der Bewegung des Abtriebselements
entgegenstehenden Gegenkraft, so öffnet sich das Rückschlagventil 64, wodurch die
Hydraulikflüssigkeit - insbesondere zusätzlich zu dem Abtrieb 32 - auch zu dem und
insbesondere in den Abtrieb 44, insbesondere in die Abtriebskammer 46, gepumpt wird.
Da die Abtriebsfläche 52 deutlich größer ist als die Abtriebsfläche 42 und als die
Antriebsfläche 30, steigt bei gleichbleibendem Druck der Hydraulikflüssigkeit im Vergleich
zum Abtrieb 32 die Abtriebskraft.
[0070] Überschreitet beispielsweise der Druck des in den Versorgungsleitungen 60 und 62,
in den Abtriebskammern 34 und 46 und in der Abführleitung 78 aufgenommene Hydraulikflüssigkeit
einen Öffnungsdruck des Rückschlagventils 80, so öffnet das Rückschlagventil 80. Aus
dem Öffnungsdruck resultiert eine auf das Rückschlagventil 80 wirkende Öffnungskraft,
ab welcher das Rückschlagventil 80 öffnet. Dabei ist die Öffnungskraft beziehungsweise
der Öffnungsdruck, ab der beziehungsweise dem das fünfte Rückschlagventil 80 öffnet,
einstellbar. Hierzu umfasst das Rückschlagventil 80 ein Federelement 82, dessen Vorspannung
einstellbar ist, um dadurch die Öffnungskraft beziehungsweise den Öffnungsdruck einzustellen.
Dabei ist dem Federelement 82 ein Einstellelement 84 zugeordnet, welches wenigstens
eine Einstellkammer 86 und ein Einstellkolbenelement in Form eines Einstellkolbens
88 aufweist. Ferner weist das Einstellelement 84 einen Einstellzylinder 90 auf, wobei
der Einstellkolben 88 translatorisch bewegbar in dem Einstellzylinder 90 aufgenommen
ist. Der Einstellkolben 88 und der Einstellzylinder 90 begrenzen jeweils teilweise
die Einstellkammer 86. Ferner begrenzen der Einstellkolben 88 und der Einstellzylinder
90 eine der Einstellkammer 86 gegenüberliegende weitere Einstellkammer 92 des Einstellelements
84. Dabei ist beispielsweise in die jeweilige Einstellkammer 86 beziehungsweise 92
ein Teil der Hydraulikflüssigkeit einleitbar, um dadurch den Einstellkolben 88 relativ
zu dem Einstellzylinder 90 translatorisch hin- und herbewegen zu können. Dabei ist
beispielsweise der Einstellzylinder 90 in dem Gehäuse 28 angeordnet und an dem Gehäuse
28 festgelegt. Insbesondere ist in die Einstellkammer 86 zumindest ein Teil der aus
der Antriebskammer 16 geförderten Hydraulikflüssigkeit einleitbar, um dadurch die
Vorspannung des Federelements 82 einzustellen.
[0071] Der Einstellkolben 88 ist mit einer Einstellkolbenstange 94 verbunden, sodass die
Einstellkolbenstange 94 mit dem Einstellkolben 88 relativ zu dem Einstellzylinder
90 mitbewegbar ist. Dabei ist der Einstellkolben 88 über die Einstellkolbenstange
94 mit dem Federelement 82 mechanisch verbunden. Dabei ist beispielsweise wenigstens
eine mit der Einstellkammer 86 und mit der Antriebskammer 16 fluidisch verbundene
Einstellleitung 96 vorgesehen, über welche zumindest der Teil der Hydraulikflüssigkeit
in die Einstellkammer 86 einleitbar ist.
[0072] Wird beispielsweise Hydraulikflüssigkeit, insbesondere aus der Antriebskammer 16
und über die Einstellleitung 96 in die Einstellkammer 86 eingeleitet, insbesondere
gefördert, so resultiert daraus eine Volumenvergrößerung der Einstellkammer 86 und
eine Volumenverkleinerung der Einstellkammer 92. In der Folge wird die Einstellkolbenstange
94 aus der Einstellkammer 92 ausgefahren, wodurch beispielsweise das Federelement
82 gespannt, insbesondere komprimiert, wird. Dadurch werden beispielsweise die Vorspannung
des Federelements 82 und somit die Öffnungskraft beziehungsweise der Öffnungsdruck
erhöht. Mit andere Worten wirkt von der in der Einstellkammer 86 aufgenommenen Hydraulikflüssigkeit
auf den Einstellkolben 88 ein Druck, mittels welchem zum Vorspannen des Federelements
82 der Einstellkolben 88 translatorisch bewegt beziehungsweise der Einstellkolben
88 entgegen einer von dem vorgespannten Federelement 82 bereitgestellten Federkraft
in einer Stellung gehalten wird, um dadurch die durch die Stellung des Einstellkolbens
88 eingestellte Vorspannung des Federelements 82 zu halten, insbesondere zumindest
im Wesentlichen konstant zu halten.
[0073] Kommt es beispielsweise zu einer Volumenverkleinerung der Einstellkammer 92 und zu
einer Volumenvergrößerung der Einstellkammer 86, so kann zunächst in der Einstellkammer
94 aufgenommene Hydraulikflüssigkeit beispielsweise über eine Leitung 104 aus der
Einstellkammer 92 ausströmen und insbesondere in das Reservoir 24 strömen.
[0074] Dabei wird Hydraulikflüssigkeit aus der Antriebskammer 16 mittels des Antriebskolbens
18 so lange in die Einstellkammer 86 gefördert beziehungsweise in der Einstellkammer
86 wird mittels der darin aufgenommenen Hydraulikflüssigkeit der zuvor genannte auf
den Einstellkolben 88 wirkende Druck, mittels welchem der Einstellkolben bewegt beziehungsweise
in der genannten Stellung gehalten wird, so lange aufrechterhalten, wie der Piezoaktor
12 betätigt beziehungsweise angesteuert, das heißt aktuiert wird.
[0075] Außerdem sind in der Einstellleitung 96 zwei Drosseln 100 und 102 angeordnet. Insbesondere
über die Drossel 100 kann Hydraulikflüssigkeit aus der Antriebskammer 16 in die Einstellkammer
86 mittels des Piezoaktors 12 gefördert werden. Die Drosseln 100 und 102 weisen einen
jeweiligen, von der Hydraulikflüssigkeit durchströmbaren Strömungsquerschnitt auf,
wobei der Strömungsquerschnitt der Drossel 102 geringer als der Strömungsquerschnitt
der Drossel 100 ist. Durch die Möglichkeit, den Öffnungsdruck beziehungsweise die
Öffnungskraft des Rückschlagventils 80 einzustellen, ist das Rückschlagventil als
variables Rückschlagventil ausgebildet. Dabei ist die Drossel 102 fluidisch parallel
zu der Einstellkammer 86 beziehungsweise dem Einstellkolben 88 angeordnet beziehungsweise
geschaltet.
[0076] Wird beispielsweise die Ansteuerung beziehungsweise Aktuierung des Piezoaktors 12
beendet, so fällt der Druck in der Einstellkammer 86 ab und der Einstellkolben 88
kann nicht mehr in seiner mittels des Druck eingestellten und gehaltenen Stellung
entgegen der Federkraft gehalten werden. Dann wird der Einstellkolben 88 mittels der
Federkraft derart verschoben, dass es zu einer Volumenverkleinerung der Einstellkammer
86 und zu einer Volumenvergrößerung der Einstellkammer 94 kommt. Dabei kann Hydraulikflüssigkeit
über die Leitung 104, insbesondere aus dem Reservoir 24, in die Einstellkammer 92
einströmen, und beispielsweise über die Drossel 102 kann Hydraulikflüssigkeit aus
der Einstellkammer 86 ausströmen, insbesondere in das Reservoir 24.
[0077] Bei einer solchen Volumenvergrößerung der Einstellkammer 92 und einer Volumenverkleinerung
der Einstellkammer 86 wird die Einstellkolbenstange 94 in die Einstellkammer 92 eingefahren.
Dadurch wird beispielsweise das Federelement 82 entspannt, insbesondere gelängt, wodurch
beispielsweise der Öffnungsdruck und somit die Öffnungskraft reduziert werden.
[0078] Die jeweilige Einstellkammer 86 beziehungsweise 92 fungiert dabei als hydraulische
Vorspannkammer, mittels welcher die Vorspannung des Federelements 82 eingestellt werden
kann. Je höher beispielsweise der Druck in der Einstellkammer 86 ist, desto weiter
wird der Einstellkolben 88 ausgelenkt und desto stärker wird das Federelement 82 gespannt
und desto höher ist der Öffnungsdruck beziehungsweise der Öffnungskraft. Außerdem
ist in der Einstellleitung 96 ein sechstes Rückschlagventil 98 angeordnet, welches
jedoch nur optional vorgesehen ist und entfallen kann und in Richtung der Einstellkammer
86 beziehungsweise 92 öffnet und in Richtung der Antriebskammer 16 schließt. Dadurch
kann Hydraulikflüssigkeit aus der Antriebskammer 16 über die Einstellleitung 96 und
das Rückschlagventil 98 in die Einstellkammer 86 einströmen, wobei eine unerwünschte
Strömung der Hydraulikflüssigkeit aus der jeweiligen Einstellkammer 86 beziehungsweise
92 über das Rückschlagventil 98 in die Antriebskammer 16 mittels des Rückschlagventils
98 verhindert wird.
[0079] Insgesamt ist erkennbar, dass bezogen auf eine Strömung der Hydraulikflüssigkeit
von der Antriebskammer 16 zu der und in die Einstellkammer 86 und durch die Drosseln
100 und 102 die Drossel 100 fluidisch seriell zu der Einstellkammer 86 angeordnet
ist, wobei die Drossel 102 fluidisch seriell zur Drossel 100 und fluidisch parallel
zur Einstellkammer 86 angeordnet ist. Daraus resultiert das Folgendes: Um den Druck
in der Einstellkammer 86 und somit die Stellung des Einstellkolbens 88 und somit die
Vorspannung des Federelements 82 aufrechtzuerhalten, muss eine Menge der Hydraulikflüssigkeit
mittels des Piezoaktors 12 beziehungsweise mittels des Antriebskolbens 18 gefördert
werden, da dabei stets ein erster Teil der Menge in die Einstellkammer 86 und ein
zweiter Teil der Menge durch die Drossel 102 und somit nicht in die Einstellkammer
86 strömt und da bei Beenden der Aktuierung des Piezoaktors 12 zunächst in der Einstellkammer
86 aufgenommene Hydraulikflüssigkeit über die Drossel 102 aus der Einstellkammer 86
ausströmen kann. Das der Strömungsquerschnitt der Drossel 102 geringer als der der
Drossel 100 ist, strömt die mittels des Piezoaktors 12 und des Antriebskolbens 16
geförderte Menge durch die Drossel 100, und der zweite Teil der Menge ist geringer
als die Menge selbst, und der erste Teil strömt nicht durch die Drossel 102 sondern
in die Einstellkammer 86.
[0080] Das variable Rückschlagventil 80 fungiert somit wie ein menschlicher Muskel, der
sich dann wenn er nicht mehr mit Energie versorgt wird, entspannt. So ist es auch
bei dem Rückschlagventil 80. Wird keine Energie mehr aufgebracht, um den Druck in
der Einstellkammer 86 aufrechtzuerhalten und den Einstellkolben 88 in seiner Stellung
zu halten, so wird keine Energie mehr aufgebracht, um das Federelement 82 gespannt
zu halten, sodass sich das Federelement 82 entspannt.
[0081] Mit anderen Worten: Solange beispielsweise das PWM-Signal, mittels welchem der Piezoaktor
12 angesteuert wird, zumindest im Wesentlichen konstant bleibt, wird ein aufgebauter
Druck in der Antriebskammer 16 über die Drossel 100 abgebaut, sodass Hydraulikflüssigkeit
von dem Antrieb 14 in die Einstellkammer 86 strömt. Die jeweilige Drossel 100 beziehungsweise
102 weist dabei einen hydraulischen Widerstand für die Hydraulikflüssigkeit auf. Der
hydraulische Widerstand der jeweiligen Drossel 100 beziehungsweise 102 hat zusammen
mit anderen Parametern einen Einfluss auf eine je gegebener Zeit in die jeweilige
Einstellkammer 86 einströmende Menge der Hydraulikflüssigkeit und somit auf den Öffnungsdruck
des Rückschlagventils 80.
[0082] Sobald der Druck der Hydraulikflüssigkeit den eingestellten Öffnungsdruck übersteigt,
fließt Hydraulikflüssigkeit von den Abtrieben 32 und 44 beziehungsweise von den Versorgungsleitungen
60 und 62 über die Abführleitung 78 und das Rückschlagventil 80 zurück in das Reservoir
24. Dadurch kann sich der piezohydraulische Aktor 10 als ein weicher Aktor verhalten,
insbesondere dann, wenn das Signal zum Ansteuern des Piezoaktors 12 nur während einer
kurzen Zeitspanne eine konstante elektrische Spannung hat, die auf einen relativ geringen
Öffnungsdruck übersetzt wird. Andererseits kann der piezohydraulische Aktor 10 insbesondere
dann, wenn der Öffnungsdruck hoch ist, als ein besonders steifer Aktor agieren, der
das Abtriebselement auch entgegen einer besonders hohen Gegenkraft bewegen kann beziehungsweise
bei welchem eine hohe Gegenkraft auf das Abtriebselement beziehungsweise auf die Abtriebskolben
38 und 50 aufgebracht werden muss, um die Abtriebskolben 38 und 50 derart zu bewegen,
dass es zu einer Volumenverkleinerung der Abtriebskammern 34 und 46 kommt.
[0083] Kommt es beispielsweise zu einer Volumenverkleinerung der Einstellkammer 86 und zu
einer Volumenvergrößerung der Einstellkammer 92, so kann beispielsweise die Hydraulikflüssigkeit
aus der Einstellkammer 86 über die Leitung 104 abgeführt werden, wobei beispielsweise
die Hydraulikflüssigkeit über die Abführleitung 78 in die Einstellkammer 92 strömen
kann.
[0084] Das Reservoir 24 umfasst einen Reservoirzylinder 106 und einen translatorisch bewegbar
in dem Reservoirzylinder 106 aufgenommenen Reservoirkolben 108, wobei der Reservoirzylinder
106 und der Reservoirkolben 108 eine Reservoirkammer 110 des Reservoirs 24 jeweils
teilweise begrenzt. Dabei ist die Hydraulikflüssigkeit 22 in der Reservoirkammer 110
aufgenommen. Wird beispielsweise zumindest ein Teil der Hydraulikflüssigkeit 22 aus
der Reservoirkammer 110 abgeführt, so kommt es zu einer Volumenverkleinerung der Reservoirkammer
110, wodurch der Reservoirkolben 108 translatorisch relativ zu dem Reservoirzylinder
106 um einen Weg beziehungsweise um eine Strecke s
res bewegt wird. Wird beispielsweise die Hydraulikflüssigkeit in die Reservoirkammer
110 eingeleitet, so kommt es zu einer Volumenvergrößerung der Reservoirkammer 110
und zu einer entsprechenden translatorischen Bewegung des Reservoirkolbens 108 relativ
zum Reservoirzylinder 106.
[0085] Insgesamt ist ferner erkennbar, dass der Piezoaktor 12 beispielsweise während einer
Zeitspanne angesteuert wird, während welcher das PWM-Signal eine zumindest im Wesentlichen
konstante elektrische Spannung aufweist. Diese Zeitspanne wird auch als Zeitdauer,
Dauer oder Duty Cycle bezeichnet. Somit stellt ein geringer Duty Cycle, das heißt
eine kurze Dauer, den piezohydraulischen Aktor 10 als weichagierenden Aktor ein, wobei
ein hoher Duty Cycle, das heißt eine lange Dauer, den piezohydraulischen Aktor als
steifen beziehungsweise harten Aktor agieren lässt. Bei dem piezohydraulische Aktor
10 besteht somit eine Abhängigkeit zwischen dem Duty Cycle und einer variablen Impedanz,
welche durch die Ansteuerung des Piezoaktors 12 in Kombination mit der Funktion des
variablen Rückschlagventils 80 nach Art eines menschlichen Muskels realisiert wird.
[0086] Wenn über die Drossel 100 Hydraulikflüssigkeit in die Einstellkammer 86 mittels des
Piezoaktors 12 und des Antriebskolbens 16 gefördert, dass heißt gepumpt wird, um das
Federelement 82 vorzuspannen, fließt ein Teil (der oben genannte zweite Teil der Menge)
der geförderten Hydraulikflüssigkeit über die Drossel 102 ab und nicht in die Einstellkammer
86. Wenn die Aktuierung des Piezoaktors 12 beendet wird, fließt die gesamte, in der
Einstellkammer 86 aufgenommene Hydraulikflüssigkeit über die Drossel 102 ab, das heißt
aus der Einstellkammer 86. Daher muss, um die Vorspannung des Federelements 82 aufrechtzuhalten,
der Piezoaktors stets aktuiert beziehungsweise Hydraulikflüssigkeit in die Einstellkammer
86 gepumpt werden. Ist beispielsweise keine Hydraulikflüssigkeit in der Einstellkammer
86 aufgenommen, so ist das Federelement 82 beispielsweise immer weich beziehungsweise
nicht vorgespannt. Durch Betreiben beziehungsweise Aktuieren des Piezoaktors 12 wird
das Federelement 82 zunächst vorgespannt. Die Drossel 100 hat insbesondere die Funktion,
dass bei Aktuieren des Piezoaktors 12 und dadurch bewirkter Strömung der Hydraulikflüssigkeit,
die grundsätzlich über das Rückschlagventil 76 zu den Antrieben 32 und 44 strömen
soll, ein geringer Teil der Strömung der Hydraulikflüssigkeit über die Drossel 100
in die Einstellkammer 86 strömt, um das Federelement 82 vorzuspannen beziehungsweise
vorgespannt zu halten.
[0087] Die variable Impedanz des Aktors 10 wird nun beispielsweise durch die variable und
bedarfgerecht einstellbare Vorspannung des Federelements 82 realisiert. Die oben genannten
Abhängigkeit zwischen dem Duty Cycle und der variablen Impedanz besteht nun beispielsweise
darin: Ist der Duty Cycle kurz, so wird die zumindest nahezu gesamte, beispielsweise
als Öl ausgebildete über das Rückschlagventil 76 zu den Antrieben 32 und 44 gepumpt.
Aus einem demgegenüber langen beziehungsweise längeren Duty Cycle resultiert jedoch
Folgendes: Nachdem das Rückschlagventil 76 geöffnet hat, herrscht in der Antriebskammer
16 ein insbesondere durch den Antriebskolben 18 und durch den langen Duty Cycle bewirkter
Restdruck, sodass Hydraulikflüssigkeit, insbesondere eine gegenüber dem kurzen Duty
Cycle größere Menge der Hydraulikflüssigkeit, über die Drossel 100 in die Einstellkammer
86 einströmt. Dadurch wird beispielsweise das Federelement 82 mittels eines langen
Duty Cycles stärker vorgespannt als mittels eines demgegenüber kürzeren Duty Cycles.
[0088] Somit stellt der piezohydraulische Aktor 10 eine Aktoreinheit dar, wobei durch Einstellen
der Frequenz des auch als Ansteuersignal bezeichneten PWM-Signals die Aktoreinheit
hinsichtlich ihres Geschwindigkeits-/Kraftarbeitspunkts bedarfsgerecht eingestellt
werden kann, wobei über den genannten Duty Cycle die Aktoreinheit hinsichtlich ihrer
Impedanz beziehungsweise Nachgiebigkeit eingestellt werden kann.
1. Piezohydraulischer Aktor (10), mit:
- wenigstens einem Piezoaktor (12);
- wenigstens einem Antrieb (14), welcher eine mit einer Hydraulikflüssigkeit (22)
versorgbare Antriebskammer (16) und ein die Antriebskammer (16) teilweise begrenzendes
und von dem Piezoaktor (12) antreibbares Antriebskolbenelement (18) aufweist, mittels
welchem durch Antreiben des Antriebskolbenelements (18) zumindest ein Teil der Hydraulikflüssigkeit
(22) aus der Antriebskammer (16) zu fördern ist;
- wenigstens einem ersten Abtrieb (32), welcher eine erste Abtriebskammer (34), in
welche zumindest ein Teil der aus der Antriebskammer (16) geförderten Hydraulikflüssigkeit
(22) einleitbar ist, und ein die erste Abtriebskammer (34) teilweise begrenzendes
erstes Abtriebskolbenelement (38) aufweist, welches eine mit der in die erste Abtriebskammer
(34) eingeleiteten Hydraulikflüssigkeit (22) beaufschlagbare, hydraulisch wirksame
erste Abtriebsfläche (42) aufweist und durch Beaufschlagen der ersten Abtriebsfläche
(42) mit der in die erste Abtriebskammer (34) eingeleiteten Hydraulikflüssigkeit antreibbar
ist;
- wenigstens einem zweiten Abtrieb (44), welcher eine zweite Abtriebskammer (46),
in welche zumindest ein Teil der aus der Antriebskammer (16) geförderten Hydraulikflüssigkeit
(22) einleitbar ist, und ein die zweite Abtriebskammer (46) teilweise begrenzendes
zweites Abtriebskolbenelement (50) aufweist, welches eine mit der in die zweite Abtriebskammer
(46) eingeleiteten Hydraulikflüssigkeit (22) beaufschlagbare, hydraulisch wirksame
und gegenüber der ersten Abtriebsfläche (42) größere oder kleinere zweite Abtriebsfläche
(52) aufweist und durch Beaufschlagen der zweiten Abtriebsfläche (52) mit der in die
zweite Abtriebskammer (46) eingeleiteten Hydraulikflüssigkeit (22) antreibbar ist;
- einer Koppeleinrichtung (56), mittels welcher die Abtriebskolbenelemente (38, 50)
mechanisch miteinander gekoppelt sind;
- einer mit der Antriebskammer (16) und mit der ersten Abtriebskammer (34) fluidisch
verbundenen ersten Versorgungsleitung (60), über welche zumindest der Teil der aus
der Antriebskammer (16) geförderten Hydraulikflüssigkeit (22) in die erste Abtriebskammer
(34) einleitbar ist;
- einer mit der ersten Versorgungsleitung (60) und mit der zweiten Abtriebskammer
(46) fluidisch verbundenen zweiten Versorgungsleitung (62), über welche zumindest
der Teil der aus der Antriebskammer (16) geförderten Hydraulikflüssigkeit (22) in
die zweite Abtriebskammer (46) einleitbar ist;
- wenigstens einem in der zweiten Versorgungsleitung (62) angeordneten ersten Rückschlagventil
(64), welches in Richtung der zweiten Abtriebskammer (46) öffnet und in Richtung der
ersten Versorgungsleitung (60) schließt;
- wenigstens einer mit der Antriebskammer (16) fluidisch verbundenen dritten Versorgungsleitung
(66), über welche die Hydraulikflüssigkeit (22) aus einem Reservoir (24) in die Antriebskammer
(16) einleitbar ist;
- einem in der dritten Versorgungsleitung (66) angeordneten zweiten Rückschlagventil
(68), welches in Richtung der Antriebskammer (16) öffnet und in Richtung des Reservoirs
(24) schließt;
- wenigstens einer mit der zweiten Abtriebskammer (46) fluidisch verbundenen vierten
Versorgungsleitung (70), über welche Hydraulikflüssigkeit (22) aus dem Reservoir (24)
unter Umgehen der ersten und zweiten Versorgungsleitung (60, 62) in die zweite Abtriebskammer
(46) einleitbar ist;
- einem in der vierten Versorgungsleitung (70) angeordneten dritten Rückschlagventil
(74), welches in Richtung der zweiten Abtriebskammer (46) öffnet und in Richtung des
Reservoirs (24) schließt, wobei die zweite Versorgungsleitung (62) an einer Verbindungsstelle
(V) mit der ersten Versorgungsleitung (60) fluidisch verbunden ist, und wobei in der
ersten Versorgungsleitung (60) stromauf der Verbindungsstelle (V) eine viertes Rückschlagventil
(76) angeordnet ist, welches in Richtung der Verbindungsstelle (V) öffnet und in Richtung
der Antriebskammer (14) schließt;
- wenigstens einer mit zumindest einer der Abtriebskammern (34, 46) verbundenen Abführleitung
(78), über welche zumindest ein Teil der Hydraulikflüssigkeit (22) aus der zumindest
einen Abtriebskammer (34, 46) abführbar und zu dem Reservoir (24) zu leiten ist; und
- einem in der Abführleitung (78) angeordneten fünften Rückschlagventil (80), welches
in Richtung des Reservoirs (24) öffnet und in Richtung der zumindest einen Abtriebskammer
(34, 46) schließt.
2. Piezohydraulischer Aktor (10) nach Anspruch 1, wobei eine Öffnungskraft, ab welcher
das fünfte Rückschlagventil (09) öffnet, einstellbar ist.
3. Piezohydraulischer Aktor (10) nach Anspruch 2, wobei das fünfte Rückschlagventil (80)
ein Federelement (82) aufweist, dessen Vorspannung einstellbar ist, um dadurch die
Öffnungskraft einzustellen.
4. Piezohydraulischer Aktor (10) nach Anspruch 3, mit einer dem Federelement (82) zugeordneten
Einstellelement (84), welches wenigstens eine Einstellkammer (86), in welche zumindest
ein Teil der aus der Antriebskammer (16) geförderten Hydraulikflüssigkeit (22) einleitbar
ist, und ein die Einstellkammer (86) teilweise begrenzendes Einstellkolbenelement
(88) aufweist, welches mittels der in die Einstellkammer (86) eingeleiteten Hydraulikflüssigkeit
(22) bewegbar ist, wodurch die Vorspannung des Federelements (82) einstellbar ist.
5. Piezohydraulischer Aktor (10) nach Anspruch 4, mit wenigstens einer mit der Einstellkammer
(86) und mit der Antriebskammer (14) fluidisch verbundenen Einstellleitung (96), über
welche zumindest der Teil der Hydraulikflüssigkeit (22) in die Einstellkammer (86)
einleitbar ist.
6. Piezohydraulischer Aktor (10) nach Anspruch 5, mit einem in der Einstellleitung (96)
angeordneten sechsten Rückschlagventil (98), welches in Richtung der Einstellkammer
(86) öffnet und in Richtung der Antriebskammer (14) schließt.
7. Piezohydraulischer Aktor (10) nach Anspruch 5 oder 6, mit wenigstens einer in der
Einstellleitung (96) angeordneten Drossel (100), über welche zumindest der Teil der
Hydraulikflüssigkeit (22) in die Einstellkammer (86) einleitbar ist.
8. Piezohydraulischer Aktor (10) nach Anspruch 7, mit einer fluidisch seriell zur Drossel
(100) und fluidisch parallel zum Einstellkolbenelement (88) angeordneten zweiten Drossel,
wobei bei einer mittels des Piezoaktors (12) und des Antriebskolbenelements (18) bewirkten
Strömung der Hydraulikflüssigkeit aus der Antriebskammer (16) durch die Einstellleitung
(96) und die erste Drossel (100) ein erster Teil der Strömung in die Einstellkammer
(86) und parallel ein zweiter Teil der Strömung durch die zweite Drossel (102) strömt.
9. Verfahren zum Betreiben eines piezohydraulischen Aktors (10), mit:
- wenigstens einem Piezoaktor (12);
- wenigstens einem Antrieb (14), welcher eine mit einer Hydraulikflüssigkeit (22)
versorgbare Antriebskammer (16) und ein die Antriebskammer (16) teilweise begrenzendes
und von dem Piezoaktor (12) antreibbares Antriebskolbenelement (18) aufweist, mittels
welchem durch Antreiben des Antriebskolbenelements (18) zumindest ein Teil der Hydraulikflüssigkeit
(22) aus der Antriebskammer (16) zu fördern ist;
- wenigstens einem ersten Abtrieb (32), welcher eine erste Abtriebskammer (34), in
welche zumindest ein Teil der aus der Antriebskammer (16) geförderten Hydraulikflüssigkeit
(22) einleitbar ist, und ein die erste Abtriebskammer (34) teilweise begrenzendes
erstes Abtriebskolbenelement (38) aufweist, welches eine mit der in die erste Abtriebskammer
(34) eingeleiteten Hydraulikflüssigkeit (22) beaufschlagbare, hydraulisch wirksame
erste Abtriebsfläche (42) aufweist und durch Beaufschlagen der ersten Abtriebsfläche
(42) mit der in die erste Abtriebskammer (34) eingeleiteten Hydraulikflüssigkeit (22)
antreibbar ist;
- wenigstens einem zweiten Abtrieb (44), welcher eine zweite Abtriebskammer (46),
in welche zumindest ein Teil der aus der Antriebskammer (16) geförderten Hydraulikflüssigkeit
(22) einleitbar ist, und ein die zweite Abtriebskammer (46) teilweise begrenzendes
zweites Abtriebskolbenelement (50) aufweist, welches eine mit der in die zweite Abtriebskammer
(46) eingeleiteten Hydraulikflüssigkeit (22) beaufschlagbare, hydraulisch wirksame
und gegenüber der ersten Abtriebsfläche (42) größere oder kleinere zweite Abtriebsfläche
(52) aufweist und durch Beaufschlagen der zweiten Abtriebsfläche (52) mit der in die
zweite Abtriebskammer (46) eingeleiteten Hydraulikflüssigkeit (22) antreibbar ist;
- einer Koppeleinrichtung (56), mittels welcher die Abtriebskolbenelemente (38, 50)
mechanisch miteinander gekoppelt sind, wobei der Piezoaktor (12) mittels wenigstens
eines elektrischen Signals angesteuert wird, wodurch das Antriebskolbenelement (18)
mittels des Piezoaktors (12) angetrieben wird;
- einer mit der Antriebskammer (16) und mit der ersten Abtriebskammer (34) fluidisch
verbundenen ersten Versorgungsleitung (60), über welche zumindest der Teil der aus
der Antriebskammer (16) geförderten Hydraulikflüssigkeit (22) in die erste Abtriebskammer
(34) einleitbar ist;
- einer mit der ersten Versorgungsleitung (60) und mit der zweiten Abtriebskammer
(46) fluidisch verbundenen zweiten Versorgungsleitung (62), über welche zumindest
der Teil der aus der Antriebskammer (16) geförderten Hydraulikflüssigkeit (22) in
die zweite Abtriebskammer (46) einleitbar ist;
- wenigstens einem in der zweiten Versorgungsleitung (62) angeordneten ersten Rückschlagventil
(64), welches in Richtung der zweiten Abtriebskammer (46) öffnet und in Richtung der
ersten Versorgungsleitung (60) schließt;
- wenigstens einer mit der Antriebskammer (16) fluidisch verbundenen dritten Versorgungsleitung
(66), über welche die Hydraulikflüssigkeit (22) aus einem Reservoir (24) in die Antriebskammer
(16) einleitbar ist;
- einem in der dritten Versorgungsleitung (66) angeordneten zweiten Rückschlagventil
(68), welches in Richtung der Antriebskammer (16) öffnet und in Richtung des Reservoirs
(24) schließt;
- wenigstens einer mit der zweiten Abtriebskammer (46) fluidisch verbundenen vierten
Versorgungsleitung (70), über welche Hydraulikflüssigkeit (22) aus dem Reservoir (24)
unter Umgehen der ersten und zweiten Versorgungsleitung (60, 62) in die zweite Abtriebskammer
(46) einleitbar ist;
- einem in der vierten Versorgungsleitung (70) angeordneten dritten Rückschlagventil
(74), welches in Richtung der zweiten Abtriebskammer (46) öffnet und in Richtung des
Reservoirs (24) schließt, wobei die zweite Versorgungsleitung (62) an einer Verbindungsstelle
(V) mit der ersten Versorgungsleitung (60) fluidisch verbunden ist, und wobei in der
ersten Versorgungsleitung (60) stromauf der Verbindungsstelle (V) eine viertes Rückschlagventil
(76) angeordnet ist, welches in Richtung der Verbindungsstelle (V) öffnet und in Richtung
der Antriebskammer (14) schließt;
- wenigstens einer mit zumindest einer der Abtriebskammern (34, 46) verbundenen Abführleitung
(78), über welche zumindest ein Teil der Hydraulikflüssigkeit (22) aus der zumindest
einen Abtriebskammer (34, 46) abführbar und zu dem Reservoir (24) zu leiten ist; und
- einem in der Abführleitung (78) angeordneten fünften Rückschlagventil (80), welches
in Richtung des Reservoirs (24) öffnet und in Richtung der zumindest einen Abtriebskammer
(34, 46) schließt.
10. Verfahren nach Anspruch 9, wobei der Piezoaktor (12) mittels Pulsweitenmodulation
angesteuert wird.
1. A piezo-hydraulic actuator (10) comprising:
- at least one piezo actuator (12);
- at least one drive (14), which comprises a drive chamber (16) capable of being supplied
with a hydraulic fluid (22), and a drive piston element (18) partially bounding the
drive chamber (16) and drivable by the piezo actuator (12), by means of which at least
a part of the hydraulic fluid (22) can be conveyed out of the drive chamber (16) by
driving the drive piston element (18);
- at least one first output (32), which comprises a first output chamber (34), into
which at least a part of the hydraulic fluid (22) conveyed out of the drive chamber
(16) can be introduced, and a first output piston element (38) partially bounding
the first output chamber (34), which comprises a hydraulically effective first output
surface (42) capable of being applied with the hydraulic fluid (22) introduced into
the first output chamber (34), and is drivable by applying the first output surface
(42) with the hydraulic fluid introduced into the first output chamber (34);
- at least one second output (44), which comprises a second output chamber (46), into
which at least a part of the hydraulic fluid (22) conveyed out of the drive chamber
(16) can be introduced, and a second output piston element (50) partially bounding
the second output chamber (46), which comprises a hydraulically effective second output
surface (52) larger or smaller with respect to the first output surface (42), capable
of being applied with the hydraulic fluid (22) introduced into the second output chamber
(46), and is drivable by applying the second output surface (52) with the hydraulic
fluid (22) introduced into the second output chamber (46);
- a coupling device (56), by means of which the output piston elements (38, 50) are
mechanically coupled to each other;
- a first supply line (60) fluidically connected to the drive chamber (16) and to
the first output chamber (34), via which at least the part of the hydraulic fluid
(22) conveyed out of the drive chamber (16) can be introduced into the first output
chamber (34);
- a second supply line (62) fluidically connected to the first supply line (60) and
to the second output chamber (46), via which at least the part of the hydraulic fluid
(22) conveyed out of the drive chamber (16) can be introduced into the second output
chamber (46);
- at least one first check valve (64) arranged in the second supply line (62), which
opens in the direction of the second output chamber (46) and closes in the direction
of the first supply line (60);
- at least one third supply line (66) fluidically connected to the drive chamber (16),
via which the hydraulic fluid (22) can be introduced into the drive chamber (16) from
a reservoir (24);
- a second check valve (68) arranged in the third supply line (66), which opens in
the direction of the drive chamber (16) and closes in the direction of the reservoir
(24);
- at least one fourth supply line (70) fluidically connected to the second output
chamber (46), via which hydraulic fluid (22) can be introduced into the second output
chamber (46) from the reservoir (24) bypassing the first and the second supply line
(60, 62);
- a third check valve (74) arranged in the fourth supply line (70), which opens in
the direction of the second output chamber (46) and closes in the direction of the
reservoir (24), wherein the second supply line (62) is fluidically connected to the
first supply line (60) at a junction (V), and wherein a fourth check valve (76) is
arranged in the first supply line (60) upstream of the junction (V), which opens in
the direction of the junction (V) and closes in the direction of the drive chamber
(14);
- at least one discharge line (78) connected to at least one of the output chambers
(34, 46), via which at least a part of the hydraulic fluid (22) can be discharged
from the at least one output chamber (34, 46) and can be conducted to the reservoir
(24); and
- a fifth check valve (80) arranged in the discharge line (78), which opens in the
direction of the reservoir (24) and closes in the direction of the at least one output
chamber (34, 46).
2. The piezo-hydraulic actuator (10) according to claim 1, wherein an opening force,
starting from which the fifth check valve (09) opens, is adjustable.
3. The piezo-hydraulic actuator (10) according to claim 2, wherein the fifth check valve
(80) comprises a spring element (82), the preload of which is adjustable, to thereby
adjust the opening force.
4. The piezo-hydraulic actuator (10) according to claim 3, comprising an adjusting element
(84) associated with the spring element (82), which comprises at least one adjusting
chamber (86), into which at least a part of the hydraulic fluid (22) conveyed out
of the drive chamber (16) can be introduced, and an adjusting piston element (88)
partially bounding the adjusting chamber (86), which is movable by means of the hydraulic
fluid (22) introduced into the adjusting chamber (86), whereby the preload of the
spring element (82) is adjustable.
5. The piezo-hydraulic actuator (10) according to claim 4, comprising at least one adjusting
line (96) fluidically connected to the adjusting chamber (86) and to the drive chamber
(14), via which at least the part of the hydraulic fluid (22) can be introduced into
the adjusting chamber (86).
6. The piezo-hydraulic actuator (10) according to claim 5, comprising a sixth check valve
(98) arranged in the adjusting line (96), which opens in the direction of the adjusting
chamber (86) and closes in the direction of the drive chamber (14).
7. The piezo-hydraulic actuator (10) according to claim 5 or 6, comprising at least one
throttle (100) arranged in the adjusting line (96), via which at least the part of
the hydraulic fluid (22) can be introduced into the adjusting chamber (86).
8. The piezo-hydraulic actuator (10) according to claim 7, comprising a second throttle
arranged fluidically in series with the throttle (100) and fluidically in parallel
with the adjusting piston element (88), wherein with a flow of the hydraulic fluid
from the drive chamber (16) through the adjusting line (96) and the first throttle
(100) effected by means of the piezo actuator (12) and the drive piston element (18),
a first part of the flow flows into the adjusting chamber (86) and a second part of
the flow flows in parallel through the second throttle (102).
9. A method for operating a piezo-hydraulic actuator (10), comprising:
- at least one piezo actuator (12);
- at least one drive (14), which comprises a drive chamber (16) capable of being supplied
with a hydraulic fluid (22), and a drive piston element (18) partially bounding the
drive chamber (16) and drivable by the piezo actuator (12), by means of which at least
a part of the hydraulic fluid (22) can be conveyed out of the drive chamber (16) by
driving the drive piston element (18);
- at least one first output (32), which comprises a first output chamber (34), into
which at least a part of the hydraulic fluid (22) conveyed out of the drive chamber
(16) can be introduced, and a first output piston element (38) partially bounding
the first output chamber (34), which comprises a hydraulically effective first output
surface (42) capable of being applied with the hydraulic fluid (22) introduced into
the first output chamber (34), and is drivable by applying the first output surface
(42) with the hydraulic fluid (22) introduced into the first output chamber (34);
- at least one second output (44), which comprises a second output chamber (46), into
which at least a part of the hydraulic fluid (22) conveyed out of the drive chamber
(16) can be introduced, and a second output piston element (50) partially bounding
the second output chamber (46), which comprises a hydraulically effective second output
surface (52) larger or smaller with respect to the first output surface (42), capable
of being applied with the hydraulic fluid (22) introduced into the second output chamber
(46), and is drivable by applying the second output surface (52) with the hydraulic
fluid (22) introduced into the second output chamber (46);
- a coupling device (56), by means of which the output piston elements (38, 50) are
mechanically coupled to each other, wherein the piezo actuator (12) is controlled
by means of at least one electrical signal, whereby the drive piston element (18)
is driven by means of the piezo actuator (12);
- a first supply line (60) fluidically connected to the drive chamber (16) and to
the first output chamber (34), via which at least the part of the hydraulic fluid
(22) conveyed out of the drive chamber (16) can be introduced into the first output
chamber (34);
- a second supply line (62) fluidically connected to the first supply line (60) and
to the second output chamber (46), via which at least the part of the hydraulic fluid
(22) conveyed out of the drive chamber (16) can be introduced into the second output
chamber (46);
- at least one first check valve (64) arranged in the second supply line (62), which
opens in the direction of the second output chamber (46) and closes in the direction
of the first supply line (60);
- at least one third supply line (66) fluidically connected to the drive chamber (16),
via which the hydraulic fluid (22) can be introduced into the drive chamber (16) from
a reservoir (24);
- a second check valve (68) arranged in the third supply line (66), which opens in
the direction of the drive chamber (16) and closes in the direction of the reservoir
(24);
- at least one fourth supply line (70) fluidically connected to the second output
chamber (46), via which hydraulic fluid (22) can be introduced into the second output
chamber (46) from the reservoir (24) bypassing the first and the second supply line
(60, 62);
- a third check valve (74) arranged in the fourth supply line (70), which opens in
the direction of the second output chamber (46) and closes in the direction of the
reservoir (24), wherein the second supply line (62) is fluidically connected to the
first supply line (60) at a junction (V), and wherein a fourth check valve (76) is
arranged in the first supply line (60) upstream of the junction (V), which opens in
the direction of the junction (V) and closes in the direction of the drive chamber
(14);
- at least one discharge line (78) connected to at least one of the output chambers
(34, 46), via which at least a part of the hydraulic fluid (22) can be discharged
from the at least one output chamber (34, 46) and can be conducted to the reservoir
(24); and
- a fifth check valve (80) arranged in the discharge line (78), which opens in the
direction of the reservoir (24) and closes in the direction of the at least one output
chamber (34, 46).
10. The method according to claim 9, wherein the piezo actuator (12) is controlled by
means of pulse width modulation.
1. Actionneur piézohydraulique (10), comprenant :
- au moins un actionneur piézoélectrique (12) ;
- au moins un mécanisme d'entraînement (14), qui possède une chambre d'entraînement
(16) pouvant être alimentée avec un liquide hydraulique (22) et un élément piston
d'entraînement (18) qui délimite au moins partiellement la chambre d'entraînement
(16) et qui peut être entraîné par l'actionneur piézoélectrique (12), au moyen duquel
au moins une partie du liquide hydraulique (22) est à refouler hors de la chambre
d'entraînement (16) en entraînant l'élément piston d'entraînement (18) ;
- au moins une première prise de force (32), laquelle possède une première chambre
de prise de force (34), dans laquelle peut être envoyée au moins une partie du liquide
hydraulique (22) refoulé hors de la chambre d'entraînement (16), et un premier élément
piston de prise de force (38) qui délimite au moins partiellement la première chambre
de prise de force (34), lequel possède une première surface de prise de force (42)
hydrauliquement active, pouvant être sollicitée par le liquide hydraulique (22) envoyé
dans la première chambre de prise de force (34) et peut être entraîné en sollicitant
la première surface de prise de force (42) avec le liquide hydraulique envoyé dans
la première chambre de prise de force (34) ;
- au moins une deuxième prise de force (44), laquelle possède une deuxième chambre
de prise de force (46), dans laquelle peut être envoyée au moins une partie du liquide
hydraulique (22) refoulé hors de la chambre d'entraînement (16), et un deuxième élément
piston de prise de force (50) qui délimite au moins partiellement la deuxième chambre
de prise de force (46), lequel possède une deuxième surface de prise de force (52)
hydrauliquement active, pouvant être sollicitée par le liquide hydraulique (22) envoyé
dans la deuxième chambre de prise de force (46) et plus grande ou plus petite par
rapport à la première surface de prise de force (42), et peut être entraîné en sollicitant
la deuxième surface de prise de force (52) avec le liquide hydraulique (22) envoyé
dans la deuxième chambre de prise de force (46) ;
- un dispositif de couplage (56), au moyen duquel les éléments pistons de prise de
force (38, 50) sont couplés mécaniquement l'un avec l'autre ;
- une première conduite d'alimentation (60) reliée fluidiquement à la chambre d'entraînement
(16) et à la première chambre de prise de force (34), par le biais de laquelle au
moins la partie du liquide hydraulique (22) refoulé hors de la chambre d'entraînement
(16) peut être envoyée dans la première chambre de prise de force (34) ;
- une deuxième conduite d'alimentation (62) reliée fluidiquement à la première conduite
d'alimentation (60) et à la deuxième chambre de prise de force (46), par le biais
de laquelle au moins la partie du liquide hydraulique (22) refoulé hors de la chambre
d'entraînement (16) peut être envoyée dans la deuxième chambre de prise de force (46)
;
- au moins un premier clapet anti-retour (64) disposé dans la deuxième conduite d'alimentation
(62), lequel s'ouvre en direction de la deuxième chambre de prise de force (46) et
se ferme en direction de la première conduite d'alimentation (60) ;
- au moins une troisième conduite d'alimentation (66) reliée fluidiquement à la chambre
d'entraînement (16), par le biais de laquelle le liquide hydraulique (22) peut être
envoyé dans la chambre d'entraînement (16) depuis un réservoir (24) ;
- un deuxième clapet anti-retour (68) disposé dans la troisième conduite d'alimentation
(66), lequel s'ouvre en direction de la chambre d'entraînement (16) et se ferme en
direction du réservoir (24) ;
- au moins une quatrième conduite d'alimentation (70) reliée fluidiquement à la deuxième
chambre de prise de force (46), par le biais de laquelle le liquide hydraulique (22)
peut être envoyé depuis le réservoir (24) dans la deuxième chambre de prise de force
(46) en contournant la première et la deuxième conduite d'alimentation (60, 62) ;
- un troisième clapet anti-retour (74) disposé dans la quatrième conduite d'alimentation
(70), lequel s'ouvre en direction de la deuxième chambre de prise de force (46) et
se ferme en direction du réservoir (24), la deuxième conduite d'alimentation (62)
étant reliée fluidiquement à la première conduite d'alimentation (60) au niveau d'un
point de liaison (V), et un quatrième clapet anti-retour (76) étant disposé dans la
première conduite d'alimentation (60) en amont du point de liaison (V), lequel s'ouvre
en direction du point de liaison (V) et se ferme en direction de la chambre d'entraînement
(14) ;
- au moins une conduite d'évacuation (78) reliée à au moins l'une des chambres de
prise de force (34, 46), par le biais de laquelle au moins une partie du liquide hydraulique
(22) peut être évacuée hors de l'au moins une chambre de prise de force (34, 46) et
conduite au réservoir (24) ; et
- un cinquième clapet anti-retour (80) disposé dans la conduite d'évacuation (78),
lequel s'ouvre en direction du réservoir (24) et se ferme en direction de l'au moins
une chambre de prise de force (34, 46).
2. Actionneur piézohydraulique (10) selon la revendication 1, une force d'ouverture à
partir de laquelle s'ouvre le cinquième clapet anti-retour (09) étant réglable.
3. Actionneur piézohydraulique (10) selon la revendication 2, le cinquième clapet anti-retour
(80) possédant un élément ressort (82) dont la précontrainte est réglable afin de
régler ainsi la force d'ouverture.
4. Actionneur piézohydraulique (10) selon la revendication 3, comprenant un élément de
réglage (84) associé à l'élément ressort (82), lequel possède au moins une chambre
de réglage (86), dans laquelle peut être envoyée au moins une partie du liquide hydraulique
(22) refoulé hors de la chambre d'entraînement (16), et un élément piston de réglage
(88) qui délimite au moins partiellement la chambre de réglage (86), lequel peut être
déplacé au moyen du liquide hydraulique (22) envoyé dans la chambre de réglage (86),
moyennant quoi la précontrainte de l'élément ressort (82) peut être réglée.
5. Actionneur piézohydraulique (10) selon la revendication 4, comprenant au moins une
conduite de réglage (96) reliée fluidiquement à la chambre de réglage (86) et à la
chambre d'entraînement (14), par le biais de laquelle au moins une partie du liquide
hydraulique (22) peut être envoyée dans la chambre de réglage (86).
6. Actionneur piézohydraulique (10) selon la revendication 5, comprenant un sixième clapet
anti-retour (98) disposé dans la conduite de réglage (96), lequel s'ouvre en direction
de la chambre de réglage (86) et se ferme en direction de la chambre d'entraînement
(14).
7. Actionneur piézohydraulique (10) selon la revendication 5 ou 6, comprenant au moins
un étrangleur (100) disposé dans la conduite de réglage (96), par le biais duquel
au moins une partie du liquide hydraulique (22) peut être envoyée dans la chambre
de réglage (86).
8. Actionneur piézohydraulique (10) selon la revendication 7, comprenant un deuxième
étrangleur disposé fluidiquement en série avec l'étrangleur (100) et fluidiquement
en parallèle avec l'élément piston de réglage (88), lors d'un écoulement du liquide
hydraulique provoqué au moyen de l'actionneur piézoélectrique (12) et de l'élément
piston d'entraînement (18) hors de la chambre d'entraînement (16) à travers la conduite
de réglage (96) et le premier étrangleur (100), une première partie de l'écoulement
s'écoulant dans la chambre de réglage (86) et, en parallèle, une deuxième partie de
l'écoulement s'écoulant à travers le deuxième étrangleur (102).
9. Procédé pour faire fonctionner un actionneur piézohydraulique (10), comprenant :
- au moins un actionneur piézoélectrique (12) ;
- au moins un mécanisme d'entraînement (14), qui possède une chambre d'entraînement
(16) pouvant être alimentée avec un liquide hydraulique (22) et un élément piston
d'entraînement (18) qui délimite au moins partiellement la chambre d'entraînement
(16) et qui peut être entraîné par l'actionneur piézoélectrique (12), au moyen duquel
au moins une partie du liquide hydraulique (22) est à refouler hors de la chambre
d'entraînement (16) en entraînant l'élément piston d'entraînement (18) ;
- au moins une première prise de force (32), laquelle possède une première chambre
de prise de force (34), dans laquelle peut être envoyée au moins une partie du liquide
hydraulique (22) refoulé hors de la chambre d'entraînement (16), et un premier élément
piston de prise de force (38) qui délimite au moins partiellement la première chambre
de prise de force (34), lequel possède une première surface de prise de force (42)
hydrauliquement active, pouvant être sollicitée par le liquide hydraulique (22) envoyé
dans la première chambre de prise de force (34) et peut être entraîné en sollicitant
la première surface de prise de force (42) avec le liquide hydraulique (22) envoyé
dans la première chambre de prise de force (34) ;
- au moins une deuxième prise de force (44), laquelle possède une deuxième chambre
de prise de force (46), dans laquelle peut être envoyée au moins une partie du liquide
hydraulique (22) refoulé hors de la chambre d'entraînement (16), et un deuxième élément
piston de prise de force (50) qui délimite au moins partiellement la deuxième chambre
de prise de force (46), lequel possède une deuxième surface de prise de force (52)
hydrauliquement active, pouvant être sollicitée par le liquide hydraulique (22) envoyé
dans la deuxième chambre de prise de force (46) et plus grande ou plus petite par
rapport à la première surface de prise de force (42), et peut être entraîné en sollicitant
la deuxième surface de prise de force (52) avec le liquide hydraulique (22) envoyé
dans la deuxième chambre de prise de force (46) ;
- un dispositif de couplage (56), au moyen duquel les éléments pistons de prise de
force (38, 50) sont couplés mécaniquement l'un avec l'autre, l'actionneur piézoélectrique
(12) étant excité au moyen d'au moins un signal électrique, moyennant quoi l'élément
piston d'entraînement (18) est entraîné au moyen de l'actionneur piézoélectrique (12)
;
- une première conduite d'alimentation (60) reliée fluidiquement à la chambre d'entraînement
(16) et à la première chambre de prise de force (34), par le biais de laquelle au
moins la partie du liquide hydraulique (22) refoulé hors de la chambre d'entraînement
(16) peut être envoyée dans la première chambre de prise de force (34) ;
- une deuxième conduite d'alimentation (62) reliée fluidiquement à la première conduite
d'alimentation (60) et à la deuxième chambre de prise de force (46), par le biais
de laquelle au moins la partie du liquide hydraulique (22) refoulé hors de la chambre
d'entraînement (16) peut être envoyée dans la deuxième chambre de prise de force (46)
;
- au moins un premier clapet anti-retour (64) disposé dans la deuxième conduite d'alimentation
(62), lequel s'ouvre en direction de la deuxième chambre de prise de force (46) et
se ferme en direction de la première conduite d'alimentation (60) ;
- au moins une troisième conduite d'alimentation (66) reliée fluidiquement à la chambre
d'entraînement (16), par le biais de laquelle le liquide hydraulique (22) peut être
envoyé dans la chambre d'entraînement (16) depuis un réservoir (24) ;
- un deuxième clapet anti-retour (68) disposé dans la troisième conduite d'alimentation
(66), lequel s'ouvre en direction de la chambre d'entraînement (16) et se ferme en
direction du réservoir (24) ;
- au moins une quatrième conduite d'alimentation (70) reliée fluidiquement à la deuxième
chambre de prise de force (46), par le biais de laquelle le liquide hydraulique (22)
peut être envoyé depuis le réservoir (24) dans la deuxième chambre de prise de force
(46) en contournant la première et la deuxième conduite d'alimentation (60, 62) ;
- un troisième clapet anti-retour (74) disposé dans la quatrième conduite d'alimentation
(70), lequel s'ouvre en direction de la deuxième chambre de prise de force (46) et
se ferme en direction du réservoir (24), la deuxième conduite d'alimentation (62)
étant reliée fluidiquement à la première conduite d'alimentation (60) au niveau d'un
point de liaison (V), et un quatrième clapet anti-retour (76) étant disposé dans la
première conduite d'alimentation (60) en amont du point de liaison (V), lequel s'ouvre
en direction du point de liaison (V) et se ferme en direction de la chambre d'entraînement
(14) ;
- au moins une conduite d'évacuation (78) reliée à au moins l'une des chambres de
prise de force (34, 46), par le biais de laquelle au moins une partie du liquide hydraulique
(22) peut être évacuée hors de l'au moins une chambre de prise de force (34, 46) et
conduite au réservoir (24) ; et
- un cinquième clapet anti-retour (80) disposé dans la conduite d'évacuation (78),
lequel s'ouvre en direction du réservoir (24) et se ferme en direction de l'au moins
une chambre de prise de force (34, 46).
10. Procédé selon la revendication 9, l'actionneur piézoélectrique (12) étant excité au
moyen d'une modulation d'impulsions en largeur.