(84) |
Benannte Vertragsstaaten: |
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AL AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT NL
NO PL PT RO RS SE SI SK SM TR |
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Benannte Erstreckungsstaaten: |
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BA ME |
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Benannte Validierungsstaaten: |
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KH MA MD TN |
(62) |
Anmeldenummer der früheren Anmeldung nach Art. 76 EPÜ: |
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19201749.9 / 3647599 |
(71) |
Anmelder: PFEIFFER VACUUM GMBH |
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35614 Asslar (DE) |
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(72) |
Erfinder: |
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- Willig, Michael
35633 Lahnau (DE)
- Hofmann, Jan
35305 Grünberg (DE)
- Becker, Jonas
35649 Bischoffen (DE)
- Bernhardt, Gernot
35625 Hüttenberg (DE)
- Wangorsch, Verena
35578 Wetzlar (DE)
- Kallenborn, Stefan
35578 Wetzlar (DE)
- Söhngen, Wolfgang
35647 Waldsolms (DE)
- Schaefer, Heiko
35606 Solms-Niederbiel (DE)
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(74) |
Vertreter: Manitz Finsterwald
Patent- und Rechtsanwaltspartnerschaft mbB |
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Martin-Greif-Strasse 1 80336 München 80336 München (DE) |
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