(84) |
Benannte Vertragsstaaten: |
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AL AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT NL
NO PL PT RO RS SE SI SK SM TR |
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Benannte Erstreckungsstaaten: |
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BA ME |
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Benannte Validierungsstaaten: |
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KH MA MD TN |
(30) |
Priorität: |
07.09.2020 DE 102020123322
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(71) |
Anmelder: ALD Vacuum Technologies GmbH |
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63457 Hanau (DE) |
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(72) |
Erfinder: |
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- SCHMITT, Gunther
63454 Hanau (DE)
- VIEL, Robin
63526 Erlensee (DE)
- HEUER, Volker
60596 Frankfurt a.M. (DE)
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(74) |
Vertreter: Zounek, Alexis Nikolai |
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Plate Schweitzer Zounek
Patentanwälte
Rheingaustraße 196
Gebäude H391 65203 Wiesbaden 65203 Wiesbaden (DE) |
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