Verfahren zum Passivieren von Halbleiterelementen durch Aufbringen einer Siliciumschicht

Abstract

 Die Erfindung bezieht sich auf ein Verfahren zum Passi-. vieren der Oberflächen von Halbleiterelementen. Auf die Oberfläche von Halbleiterelementen aufgedampfte Siliciumschichten (8) stabilisieren die Kennlinien der Halbleiterelemente dauerhaft. Zur Absenkung der Sperrströme werden diese Siliciumschichten getempert. Dadurch wurde eine dauerhafte Absenkung des Sperrstromniveaus erreicht. Die Erfindung kann bei allen Halbleiterbauelementen an^gewen- det werden (Figure 1).

Beschreibung

[0001] 

[0002] 

auf das Halbleiterelement aufgebrachten Metallisierung liegen, zu tempern. Besonders günstige Ergebnisse lassen sich erzielen, wenn in sauerstoffhaltiger Atmosphäre getempert wird.

[0003] Die Erfindung wird an Hand eines Ausführungsbeispiels in Verbindung mit den Fig. 1 und 3 und an Hand eines Diagramms (Fig. 2) näher erläutert:

In Fig. 1 ist das Halbleiterelement eines Thyristors im Schnitt dargestellt. Es hat vier Zonen, von denen die kathodenseitige Emitterzone mit 1, die kathodenseitige Basiszone mit 2, die innere Basiszone mit 3 und die anodenseitige Emitterzone mit 4 bezeichnet ist. Zwischen den genannten Zonen liegen pn-Übergänge 5, 6, 7. Das Halbleiterelement besteht aus Silicium und die genannten Zonen sind in üblicher Weise je nach Verwendungszweck des Halbleiterbauelements dotiert.

[0004] Auf den Rand des Halbleiterelements wird wenigstens an den Stellen, an denen die pn-Übergänge an die Oberfläche treten, eine Schutzschicht 8 aus Silicium aufgedampft, die beispielsweise 0,1 _/um oder auch dicker sein kann, beispielsweise. _/um. Die nicht zu bedampfenden Flächen.des Halbleiterelements werden vor dem Bedampfen abgedeckt. Zur Erhöhung der dielektrischen Überschlagsfastigkeit und zur Verbesserung des mechanischen Schutzes kann auf die aufgedampfte Siliciumschicht 8 eine weitere Schutzschicht 9 aufgebracht werden, die beispielsweise aus normalem Kautschuk oder einem anderen Schutzlack bestehen kann.

[0005] Die aufgedampfte Siliciumschicht 8 kann zur Einstellung des spezifischen Widerstands Dotierstoffe wie zum Beispiel Bor oder Phosphor enthalten. Einen Gehalt an den genannten Dotierstoffen erhält man dadurch, daß mit dem Silicium einer oder mehrere dieser Stoffe verdampft werden. Die Schicht 8 kann zur Einstellung des spezifischen Widerstands auch ein oder mehrere Metalle wie zum Beispiel-Aluminium enthalten. Die Metalle können ebenfalls durch Aufdampfen mit dem Silicium in dieses eingebaut werden. Mit Änderung des spezifischen Widerstands der Schicht 8 lassen sich die Potentialverhältnisse am Rand des Halbleiterelements einstellen. So kann die Schicht 8 beispielsweise mit Phosphor dotiert sein und einen spezifischen Widerstand von 10⁸ Ohm cm haben.

[0006] Die Siliciumschicht 8 wurde in einer Vakuum-Bedampfungsanlage bei einem Druck von ca. 6,5 . 10-4 PA (5 . 10^-6 Torr) aufgedampft. Als Siliciumquelle kann beispielsweise ein Siliciumblock verwendet werden. Das Silicium kann mittels eines Elektronenstrahls verdampft werden. Mit einer Beschleunigungsspannung von 8 kV und einem Strom von rund 0,5 A wurde eine Aufdampfrate von 0,25 µm/min erzielt. Sie läßt sich durch Erhöhung der Energie des Elektronenstrahls auch beispielsweise auf 0,5 µm/min und darüber steigern.

[0007] Das Silicium kann auch durch einen Ionenstrahl, durch direkten Stromdurchfluß oder durch induktive Erhitzung verdampft werden. Es ist auch möglich, das Silicium durch Strahlungswärme zu verdampfen.

[0008] Die Schicht 8 kann auch aus mehreren nacheinander aufgedampften Schichten mit jeweils verschiedenen Eigenschaften bestehen. Damit erhält man eine Änderung des spezifischen Widerstands über die Dicke und eine Beeinflussung der Potentialverhältnisse an der Randfläche des Halbleiterelements.

[0009] Anschließend an das Bedampfen des Halbleiterelements wird die aufgedampfte Siliciumschicht getempert. Das Tempern findet bei einer Temperatur zwischen Zimmertemperatur und der Kristallisationstemperatur des Siliciums statt. Die Kristallisationstemperatur des Siliciums liegt nach Literaturangaben zwischen 700 und 900 K. Bei bereits kontaktierten Halbleiterelementen wird das Tempern bei einer Temperatur vorgenommen, die unterhalb der Schmelztemperatur des zum Kontaktieren verwendeten Materials, zum Beispiel Weichlot, oder einer anderen Metallisierung liegt. Durch das Tempern lassen sich der Sperrstrom in Sperrichtung und der Sperrstrom in Kipprichtung des Halbleiterelements drastisch absenken. In Fig. 2 ist dargestellt, daß der Sperrstrom bei einem bestimmten Halbleitertyp ohne das Tempern bei 2. 10³ nA lag. Nach einer Temperzeit von drei Stunden bei 260 °C lag der Sperrstrom für drei Meßexemplare bei 280 °C lag der Sperrstrom für drei Haßexemplare zwischen 3 und 5.10¹ nA. Nach 23 und 41 Stunden Temperzeit bei 280 °C wurden weitere Absenkungen der Sperrströme beobachtet.

[0010] Das Aufdampfen das Siliciums selbst kann bei Zimmertemperatur durchgeführt werden. Die Temperatur der anschließenden Wärmebehandlung kann dann so gewählt werden, daß die gewünschte Absenkung der Sperrströme erreicht wird, ohne daß zum Beispiel bereits kontaktierte Bauelemente in Mitleidenschaft gezogen werden. Damit ist es möglich, bereits aufgelötete und kontaktierte Chips zu passivieren, so daß keine Maskierung oder kein selektives Ätzen der Chips erforderlich ist.

[0011] Halbleiterelemente, die durch Aufdampfen einer Siliciumschicht und nachfolgendes Tempern passiviert wurden, wiesen eine überraschend gute Stabilität der Kennlinien bei niedrigem Stromniveau auf. Dies galt sowohl für die Sperrkennlinien in Rückwärtsrichtung bei Dioden und Transistoren als auch für die Sperrkennlinien in Rückwärtsrichtung und Kipprichtung bei Thyristoren. Bei Thyristoren trat auch der sogenannte Yoshida-Effekt nicht mehr auf, der eine drastische Erhöhung der Sperrströme nach vorhergehender Durchlaßbelastung bewirkt.

[0012] Die Stabilität der Kennlinien läßt sich anschaulich an Hand der Fig. 3 erklären, in der die Gestalt der Raumladungszone dargestellt ist, wenn der pn-Übergang 7 in Sperrichtung beansprucht ist. Zu Anfang der Sperrbelastung verlaufen die Grenzen 11, 12 der Raumladungszone 10 zum Beispiel parallel zu den pn-Übergängen. Liegt längere Zeit Sperrbelastung an, so weitet sich die Raumladungszone dadurch auf, daß sich die Grenze 12 der Raumladungszone 10 am Rand des Halbleiterelements in Richtung auf den pn-Übergang 6 verschiebt. Gleichzeitig entfernt sich die Grenze 11 der Raumladungszone 10 vom pn-Übergang 7, jedoch nur in erheblich schwächerem Maße, da die Zone 4 stärker als die Zone 3 dotiert ist. Die Aufweitung der Raumladungszone ist in der Fig. gestrichelt dargestellt. Mit größer werdender Aufweitung der Raumladungszone nimmt der Sperrstrom zu, bis mit Erreichen des pn-Ubergangs 6 am Rand der sogenannte Punch-Through-Effekt eintritt, wo der pn-Übergang 7 seine Sperrfähigkeit verliert. Die Aufweitung findet auch am pn-Übergang 6 statt, wenn das Halbleiterelement in der umgekehrten Richtung, das heißt der Kipprichtung, mit einer Spannung belastet wird.

[0013] Mit der Passivierungsschicht-gemäß der Erfindung weitet sich die Raumladungszone 10 am Rand nicht mehr auf. Dies läßt sich beispielsweise mit der bekannten lichtelektrischen Methode zur Untersuchung der Raumladungszonen am Rand eines Halbleiterelements feststellen. Dies

tet, daß sich die Sperrströme nicht erhöhen, mit andsren Worten, daß die Kennlinien in Sperrichtung stabil bleiben.

[0014] Die Erfindung wurde in Verbindung mit einem Halbleiterelement für einen Thyristor beschrieben. Sie läßt sich jedoch auch bei Dioden, Transistoren und anderen Halbleiterbauelementen verwenden. Sie ist gleichermaßen für Mesa- oder Planarstrukturen verwendbar. Wesentlich ist, daß auf mindestens denjenigen Bereich, in dem die pn-Übergänge an die Oberfläche des Halbleiterelements treten, Silicium aufgedampft wird.

Ansprüche

1. Verfahren zum Passivieren von Halbleiterelementen durch Aufbringen einer Siliciumschicht, dadurch gekennzeichnet, daß das Siliciumaufgedampft wird und dann die aufgedampfte Schicht (8) getem-. pert wird.

2. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch g e - kennzeichnet, daß die Schicht(8)bei Temperaturen zwischen der Raumtemperatur und der Kristallisationstemperatur des aufgedampften Siliciums getempert wird.

3. Verfahren nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß die Schicht(8) bei Temperaturen getempert wird, die unterhalb der Schmelztemperatur einer auf das Halbleiterelement aufgebrachten Metallisierung liegen.

4. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 3, da- durch gekennzeichnet, daß in sauerstoffhaltiger Atmosphäre getempert wird.

Zeichnung