(57) Die erfindungsgemaße Vorrichtung zur Fokussierung und zur Analyse eines geladenen
Korpuskularstrahis, die zumindest eine elektrostatische Fokussierungslinse, eine Eintrittsblende,
eine eletrostatische Sektorfeldlinse, eine Austrittsblende und einen Detektor aufweist,
besteht im wesentlichen darin, daß nach der Ssktorfeldlinse eine alek trostatische
Proiektionslinse mit zumindest zwei, vorzugsweise drei elektrisch polarisierbaren
Blenden, deren Öffnungen auf einer Achse liegen, eine Austrittsblende und eine elektrostatische
Korrekturlinse mit zumindest einer eiektrisch polarisierbaren Blende sowie der Detektor
angeordnet sind. Eine derartige Einrichtung kann die Fokussierung des Korpuskularstrahls
und damit auch dessen Analyse auf einen wesentlich geringeren Raumbedarf beschränken.
Beim Verfahren der Erfindung wird das Potential der ersten in Richtung des Strahis
gesehenen Blende bei zwei Blenden und der mittleren Blende bei drei Blenden der Projsktionslinse
auf einen Wert von
wobei Eo der Anfangsenergie der Teilchen im Korpuskularstrahl vor dem Detektor und
ΔE dem Energiebandpass entspricht und h3 eine empirische Konstante ist, gehalten. Dadurch können mit nur zwei Steuerspannungen
sämtliche erwünschten Potentiale eingestellt werden.
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