(19)

(11)

EP 0 020 395 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag: 07.01.1981  Patentblatt  1981/01 (21) Anmeldenummer: 79901089.0 (22) Anmeldetag:  29.08.1979

(51) Internationale Patentklassifikation (IPC):  C23C 14/ 16( . ) C30B 1/ 02( . ) H01L 31/ 18( . ) C23C 14/ 58( . ) H01L 21/ 268( . ) (86) Internationale Anmeldenummer: PCT/DE1979/000097 (87) Internationale Veröffentlichungsnummer: WO 1980/000510 (20.03.1980 Gazette  1980/06)

(84) Benannte Vertragsstaaten: FR (30) Priorität: 30.08.1978 DE 19782837750 (71) Anmelder: Philips Patentverwaltung GmbH D-22335 Hamburg (DE)	(72) Erfinder: SCHAUMBURG, Hanno D-2000 Hamburg 54 (DE)