(19)
(11) EP 0 025 038 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag:
18.03.1981  Patentblatt  1981/11

(21) Anmeldenummer: 80900410.0

(22) Anmeldetag:  07.02.1980
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC): 
G03B 41/ 00( . )
H01L 21/ 30( . )
 G03F 9/ 00( . )
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/EP1980/000007
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 1980/001722 (21.08.1980 Gazette  1980/19)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
CH FR GB NL SE

(30) Priorität: 14.02.1979 DE 19792905636

(71) Anmelder: LÖBACH, Ernst
FL-9492 Eschen (LI)

(72) Erfinder:
  • LÖBACH, Ernst
    FL-9492 Eschen (LI)

   


(54) VERFAHREN UND EINRICHTUNG ZUM KOPIEREN VON MASKEN AUF EIN WERKSTÜCK