(19)
(11) EP 0 053 150 A1

(12)

(43) Date de publication:
09.06.1982  Bulletin  1982/23

(21) Numéro de dépôt: 81901530.0

(22) Date de dépôt:  09.06.1981
(51) Int. Cl.: 
C23C 2/ 26( . )
C23C 14/ 22( . )
C23C 16/ 453( . )
H01L 31/ 18( . )
 C23C 14/ 18( . )
C23C 14/ 58( . )
C23C 16/ 56( . )
(86) Numéro de dépôt:
PCT/CH1981/000063
(87) Numéro de publication internationale:
WO 1981/003669 (24.12.1981 Gazette  1981/30)
(84) Etats contractants désignés:
DE FR GB NL

(30) Priorité: 13.06.1980 CH 19800004565
27.06.1980 CH 19800004952
06.09.1980 CH 19800006687

(71) Demandeur: ESTABLISHMENT FOR SCIENCE AND TECHNOLOGY
FL-9490 Vaduz (LI)

(72) Inventeur:
  • ROCHE, Marie
    F-92100 Boulogne (FR)

   


(54) PROCEDE DE FABRICATION D'UNE COUCHE MINCE A STRUCTURE ORIENTEE, DISPOSITIF POUR LA MISE EN OEUVRE DE CE PROCEDE ET PRODUITS OBTENUS