(19)
(11) EP 0 053 278 A3

(12) EUROPEAN PATENT APPLICATION

(88) Date of publication A3:
20.07.1983 Bulletin 1983/29

(43) Date of publication A2:
09.06.1982 Bulletin 1982/23

(21) Application number: 81108978

(22) Date of filing: 27.10.1981
(84) Designated Contracting States:
DE FR GB

(30) Priority: 28.11.1980 US 210936

(71) Applicant: International Business Machines Corporation
 ()

(72) Inventor:
  • Hayes, Lawrence Patrick
     ()

   


(54) Vacuum clamping device for flat pieces


(57) Die Vorrichtung besteht aus vorzugsweise drei Auflageelementen (31) mit je einem die jeweilige Auflagefläche (34) einschließenden, eine Unterdruckkammer bildenden Dichtelement (36). Die Auflagefläche hat eine konvexe Oberfläche (34). Die Dichtelemente (36) sind so ausgebildet bzw. gelagert, daß das festzuhaltende Werkstück (M) zunächst nur auf den Dichtelementen (36) aufliegt und mit Wirksamwerden des Unterdrucks auf die Auflageflächen (34) zu liegen kommt. Infolge der konvexen Oberfläche derselben liegt das Werkstück (M) unter Beibehaltung seiner Form tangential an den Auflageflächen (34) an.







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