(57) Das Analysenverfahren beruht darauf, daß die gesuchte Komponente durch eine Vortrennung angereichert und anschließend massenspektrometrisch identifiziert wird. Die Vortrennung geschieht dadurch, daß eine im wesentlichen ebene, nicht poröse Festkörperoberfläche mit dem zu untersuchenden Gas oder der Flüssigkeit in Kontakt gebracht wird und die gesuchte Komponente aus der gasförmigen oder flüssigen Phase direkt oder als Folgeprodukt im Bereich einer Monolage, vorzugsweise in der obersten Monolage, an der Festkörperoberfläche niedergeschlagen wird. Die Anreicherung kann in der Weise erfolgen, daß die Festkörperoberfläche mit einem Reagenz präpariert wird, das die gesuchte Komponente direkt oder als Folgeprodukt selektiv bindet. Ein anderer Weg besteht darin, daß die gesuchte Komponente zunächst kollektiv mit anderen Komponenten an der Festkörperoberfläche ausgefällt wird und anschließend die anderen Komponenten durch ein Lösungsmittel extrahiert werden. Für den massenspektrometrischen Nachweis sind Geräte geeignet, die oberflächenspezifisch arbeiten und eine hohe Nachweisempfindlichkeit besitzen. Bewährt haben sich vor allem Sekundärionenmassenspektrometer und laserangeregte Mikromassenanalysatoren.