[0001] Die Erfindung bezieht sich auf eine elektrochemische Meßzelle, insbesondere für die
Bestimmung des Sauerstoffgehaltes in Gasen, mit einem Festelektrolyten, der wenigstens
eine Elektrode aufweist, die in Form mindestens einer, elektronenleitendes keramisches
Oxidmaterial enthaltenden porösen Schicht ausgebildet ist.
[0002] Eine aus der DE-PS 2 738 755 bekannte elektrochemische Meßzelle dieser Art weist
infolge ihrer Elektroden, die keramisches Oxidmaterial enthalten, hohe thermische
und chemische Stabilität sowie gute katalytische Wirksamkeit auf, die Elektronenleitfähigkeit
und somit die elektrische Strombelastbarkeit der Elektroden läßt jedoch zu wünschen
übrig. Aufgabe der Erfindung ist es daher, eine Meßzelle der eingangs genannten Art
anzugeben, deren Elektroden trotz hohem Anteil an keramischem Oxidmaterial verbesserte
Elektronenleitfähigkeit aufweisen. Darüber hinaus soll diese ohne großen Aufwand,
das heißt kostengünstig herzustellen und den im Betrieb auftretenden Anforderungen
voll gewachsen sein.
[0003] Die Lösung dieser Aufgabe besteht nun erfindungsgemäß darin, daß in der Schicht metallisches
Material, dessen Elektronenleitfähigkeit größer ist als die Elektronenleitfähigkeit
des Oxidmaterials, mit einem die Elektronenleitfähigkeit der Elektrode in mindestens
ausreichendem Maße erhöhenden Anteil enthalten ist.
[0004] In der Schicht, welche die Elektrode bildet, ist also metallisches Material hoher
Elektronenleitfähigkeit derart eingelagert und somit die Elektronenleitfähigkeit der
Elektrode insgesamt derart erhöht, daß diese vorzugsweise mindestens um den Faktor
5, insbesondere mindestens um den Faktor 10, verbessert ist. Als metallisches Material
kann jedes übliche Metall verwendet werden, das den im Betrieb der Meßzelle auftretenden
thermischen und chemischen Belastungen gewachsen ist. Unter dem Begriff Metalle in
vorliegender Erfindung sollen außer technisch-reinen Metallen auch Metallegierungen
und gegebenenfalls heterogene Mischungen von Metallen oder Metallegierungen verstanden
sein.
[0005] Als metallisches Material wird man, insbesondere für katalytisch wirksame Elektroden,
Edelmetalle oder deren Legierungen einsetzen, wie z. B. Gold, Silber oder die sogenannten
Platinmetalle, die Platin, Ruthenium, Rhodium, Palladium, Osmium und Iridium umfassen.
In vielen Fällen dürfte es jedoch genügen, temperaturbeständige Legierungen, die Nickel
und Chrom enthalten, zu verwenden.
[0006] Eine vorteilhafte Weiterbildung der Erfindung kann darin bestehen, daß der Anteil
des metallischen Materials höchstens fünfzig Prozent, vorzugsweise höchstens dreißig
Prozent des Volumens der Elektrode ausfüllt. Insbesondere beträgt der Anteil 2 bis
20%. Die kleineren Werte vorstehender Bereiche wird man hauptsächlich bei der Verwendung
von metallischem Material in Form von Drähten oder Leiterbahnen benutzen. Bei einer
Ausführungsform gemäß Fig.,8 wird der Anteil mehr an den oberen Grenzen liegen. Durch
diese Begrenzung wird ausreichende Elektronenleitfähigkeit der Elektrode mit möglichst
geringem Aufwand für das metallische Material gekoppelt. Dies ist insbesondere bei
der Verwendung von Edelmetallen von Bedeutung.
[0007] Ein einfacher Aufbau ergibt sich dann, wenn vorteilhaft das metallische Material
aus wenigstens einem in der Schicht eingebetteten Metalldraht besteht.
[0008] Eine andere, ebenso günstige Ausführungsform kann darin bestehen, daß das metallische
Material aus wenigstens einer auf dem Festelektrolyten angebrachten und von der Schicht
überdeckten Leiterbahn besteht. Solche Leiterbahnen sind in der Elektrotechnik bei
gedruckten elektrischen Schaltungen bekannt. Hierbei kann in vielen Fällen, z. B.
bei langen streifenförmigen Elektroden geringer Breite oder langen ringzylindrischen
Elektroden ein einziger in Längsrichtung verlaufender Metalldraht oder Leiterbahn
ausreichend sein.
[0009] Zur weiteren Verbesserung der Elektronenleitfähigkeit der Elektrode ist es empfehlenswert,
daß der Metalldraht bzw. die Leiterbahn sich vom Bereich der elektrischen Anschlußstelle
der Elektrode bis zum anschlußfreien Bereich erstreckt. Hierbei ist es auch möglich,
den Metalldraht bzw. die Leiterbahn unmittelbar bis zur elektrischen Anschlußstelle
zu führen und dort gegebenenfalls mit der elektrischen Anschlußleitung direkt in Kontakt
zu bringen.
[0010] Eine besonders bevorzugte Weiterbildung der Erfindung kann darin bestehen, daß das
metallische Material aus kleinen Teilchen besteht, die in der Schicht, vorzugsweise
gleichmäßig verteilt, eingelagert sind. Die Form der Teilchen kann beliebig sein,
ihre größte Abmessung soll vorzugsweise höchstens fünfzig Prozent der Schichtdicke
ausmachen. Auch können diese Teilchen aus katalytisch wirksamem Material bestehen.
[0011] In vielen Fällen ist es am einfachsten, wenn die Teilchen massiv aus metallischem
Material bestehen.
[0012] Eine andere empfehlenswerte Weiterbildung, die gute Elektronenleitfähigkeit der Schicht
mit geringem Materialeinsatz verbindet, ist dadurch gekennzeichnet, daß die Teilchen
einen Kern aus vorzugsweise elektronenleitenem Keramikmaterial und einem Mantel aus
metallischem Material aufweisen. Durch die zusätzliche Ausbildung des Kernes aus elektronenleitendem
Keramikmaterial kann der Mantel im Verhältnis zur Größe der Teilchen sehr dünn ausgebildet
und trotzdem ausreichende Elektronenleitfähigkeit der Teilchen erreicht werden.
[0013] Soll die Elektrode katalytische Wirksamkeit besitzen, so enthält mindestens der Mantel
ein katalytisch aktives metallisches Material. Als solches Material kommt vorzugsweise
ein Material oder eine Legierung aus der Platingruppe in Frage. Zusätzlich empfiehlt
es sich, auch den Kern aus katalytisch wirksamen Oxidmaterial herzustellen.
[0014] Eine weitere bevorzugte Ausgestaltung der Erfindung kann auch darin bestehen, daß
ausschließlich Teilchen mit einem Mantel aus metallischem Material in der Schicht
vorhanden sind. Die Elektrode besteht also nur aus solchen Teilchen, die z. B. durch
Sinterung zur Elektrode verbunden sind. Neben einem einfachen Aufbau der Schicht besteht
der Hauptvorteil darin, daß gute Elektronenleitfähigkeit mit geringem Aufwand erzielt
werden kann.
[0015] Weitere Vorteile und Merkmale der Erfindung gehen aus der folgenden Beschreibung
von Ausführungsbeispielen im Zusammenhang-mit den schematischen Zeichnungen hervor.
[0016] Hierbei zeigen:
Fig. 1 die Ansicht einer elektrochemischen Meßzelle mit einem ebenen Festelektrolyten,
wobei in der Schicht Metalldrähte eingebettet sind,
Fig. 2 einen Schnitt durch den Gegenstand der Fig. 1 gemäß der Schnittlinie II - II
in vergrößerter Darstellung,
Fig. 3 einen Schnitt entsprechend dem Schnitt II - II durch eine Ausführungsvariante
einer Meßzelle mit einem ebenen Festelektrolyten,
Fig. 4 eine Meßzelle mit einem ringzylindrischen Festelektrolyten und eine Schicht,
in der axial verlaufende Metalldrähte eingebettet sind in Seitenansicht,
Fig. 5 eine Ausführungsvariante des Gegenstands der Fig. 4 mit einem in der Schicht
axial verlaufenden und schraubenförmig gewundenem Metalldraht,
Fig. 6 einen Querschnitt durch den Gegenstand der Fig. 4 gemäß der Schnittlinie VI
- VI in vergrößerter Darstellung,
Fig. 7 einen Querschnitt entsprechend der Schnittlinie VI - VI durch eine Ausführungsvariante
des Gegenstands der Fig. 4,
Fig. 8 den Ausschnitt aus einer ringzylindrischen Meßzelle im Querschnitt,
Fig. 9 ein Teilchen für den Aufbau einer Schicht als Einzelheit und im Schnitt in
vergrößerter Darstellung und
Fig. 10 den Aufbau einer Schicht aus Teilchen gemäß Fig. 9.
[0017] Gleiche Teile sind in den einzelnen Figuren mit den gleichen Bezugszeichen versehen.
[0018] Fig. 1 zeigt eine elektrochemische Meßzelle gemäß der Erfindung in Ansicht, deren
Festelektrolyt 12 einen rechteckigen Umriss aufweist und in einer Ebene verläuft.
Auf der Oberseite des Festelektrolyten ist eine Elektrode 14 in Form einer dünnen
Schicht 16 aufgebracht. Diese Schicht 16 ist ebenfalls eben und verläuft mit einem
Abstand, der gering ist im Verhältnis zur Seitenlänge des Elektrolyten, zum Umriss
des Festelektrolyten 12. Am oberen Rand der Schicht 16 ist in der Mitte die Anschlußstelle
18 vorgesehen, an welcher das Meßsignal von der Elektrode abgenommen wird, z. B. durch
einen angedrückten elektrischen Kontakt.
[0019] Von dieser Anschlußstelle 18 gehen Metalldrähte 20 geradlinig aus und durchziehen
gleichmäßig sowie strahlenförmig die Schicht 16 bis zu den Bereichen, die fern der
Anschlußstelle 18 sind. Diese Metalldrähte sind in Fig. 1 mit gestrichelten Linien
dargestellt.
[0020] Fig. 2, welche den Querschnitt II - II in vergrößerter . Darstellung zeigt, läßt
die Anordnung eines Metalldrahtes 20 in die Schicht 16 deutlich erkennen. Ist eine
weitere Schicht 22 gegenüber der Schicht 16 auf dem Festelektrolyten angeordnet, so
können auch hier entsprechend der Schicht 16 Metalldrähte 20 eingelagert sein.
[0021] Fig. 3 zeigt entsprechend Fig. 2 eine Ausführungsvariante. Hier ist jeweils eine
Leiterbahn 24 in den Schichten 16 bzw. 22 angeordnet. Solche Leiterbahnen sind in
der Elektrotechnik im Zusammenhang mit gedruckten Schaltungen bekannt. Selbstverständlich
können die Metalldrähte 20 bzw. Leiterbahnen 24 abweichend von der Darstellung in
Fig. 1 gewunden oder mäanderförmig.ausgebildet sein. Auch ist es in manchen Fällen
empfehlenswert, Drahtnetze oder netzartig ausgebildete Leiterbahnen vorzusehen, welche
die Elektroden weitgehend durchdringen.
[0022] In Fig. 4 ist eine elektrochemische Meßzelle gemäß der Erfindung mit einem ringzylindrishcen
Festelektrolyten 32 in Seitenansicht dargestellt. Die innere bzw. äußere Oberfläche
des Festelektrolyten 32 ist mit einer äußeren Schicht 36 bzw. einer inneren Schicht
42 versehen, die jeweils die Elektrode bildet, wie dies deutlich aus dem Querschnitt
gemäß Fig. 6 zu erkennen ist. In die Elektroden 36 bzw. 42 sind jeweils gerade Metalldrähte
40 eingelagert, die sich über die gesamte Länge der Elektrode in axialer Richtung
erstrecken. Die Anschlußstelle 18 ist hierbei als ringförmiger Bereich an mindestens
einem axialen Ende der Elektrode vorgesehen.
[0023] Auch hier können anstelle von Metalldrähten 40 elektrische Leiterbahnen 44 in den
Schichten 36, 42 eingebettet sein, wie dies in Fig. 7 dargestellt ist. Die Metalldrähte
oder Leiterbahnen können auch zu Netzen verbunden sein.
[0024] Insbesondere für ringzylindrische Meßzellen bietet sich auch eine schraubenförmig
gewundene Anordnung der Metalldrähte bzw. Leiterbahnen an, wie dies in Fig. 5 als
Ausführugsvariante in Seitenansicht dargestellt ist.
[0025] Obwohl in den Fig. 4 und 5 elektrochemische Meßzellen mit offenen Enden dargestellt
sind, läßt sich die Erfindung selbstverständlich auch bei Meßzellen anwenden, deren
eines Ende kuppenförmig verschlosssen und von Elektroden bedeckt ist. In diesem Falle
würden sich die Metalldrähte bzw. Leiterbahnen gegebenenfalls auch über die Kuppen
erstrecken.
[0026] Fig. 8 zeigt einen Ausschnitt aus einer ringzylindrischen Meßzelle im Querschnitt
und als Ausführungsvariante in stark vergrößerter Darstellung. Auf dem Festelektrolyten
52 ist eine äußere Schicht 56 und gegebenenfalls eine innere Schicht 62 vorhanden,
welche die Elektroden 14 bilden. Die Schichten 56, 62 bestehen hier aus Oxidmaterial
in Form von Körnern 58, von denen lediglich der Umriss dargestellt ist. Zwischen diese
Körner 58 sind kleine metallische Teilchen 60 ebenfalls in Form von Körnern gleichmäßig
verteilt eingebettet. Die Teilchen 60 sind hierbei als schwarze Punkte dargestellt.
[0027] Die Teilchen 60 können aus massivem metallischen Material bestehen oder zur Einsparung
von metallischen Material jeweils einen Kern 64 aus keramischem Oxidmaterial aufweisen,
der von einem metallischen Mantel 68 umgeben ist. Die Wandstärke eines Mantels'68
ist sehr gering im Verhältnis zur Größe eines Teilchens. 60, wie dies auch aus Fig.
9 deutlich zu erkennen ist.
[0028] Fig. 10 zeigt schließlich einen Querschnitt durch eine Schicht 66 in stark vergrößerter
Darstellung. In Abänderung gegenüber den Schichten gemäß der Fig. 8 sind hier nur
Teilchen 60 vorgesehen, die jeweils einen Kern 64 aus keramischen Oxidmaterial und
einen Mantel 68 aus metallischem Material aufweisen. Die Teilchen 60 entsprechen somit
den Teilchen gemäß Fig. 9 und es gelten auch hier die zu dieser Figur gegebenen Erläuterungen.
Der Aufbau einer Schicht gemäß Fig. 10 bringt bei geringem Aufwand an metallischem
Material hohe Elektronenleitfähigkeit der Elektrode. Diese kann noch verbessert werden,
indem der Kern 64 aus elektronenleitendem keramischem Material hergestellt wird. Auch
kann der Schicht durch entsprechende Auswahl des Materials für die Mäntel 68, katalytische
Wirksamkeit verliehen werden.
[0029] Für den Aufbau der erfindungsgemäßen Meßzellen können folgende Richtwerte bzw. Herstellungsrichtlinien
benutzt werden. In den Ausführungsbeispielen gemäß den Figuren 1 bis 8 ist die Dicke
des Festelektrolyten ungefähr 0,5 bis 2 mm, die Dicke der Schichten, welche die Elektroden
bilden, beträgt ungefähr 0,05 bis 0,3 mm. Die Drähte bzw. Leiterbahnen, die in den
Schichten angeordnet sind, haben eine Dicke von ungefähr 0,03 bis 0,1 mm, die Breite
der Leiterbahnen beträgt 1 bis 4 mm. Die Herstellung der Schichten für die Meßzellen
gemäß den Ausführungsbeispielen 1 bis 7 erfolgt durch Plasmaspritzen des keramischen
Oxidpulveres auf die mit den Metalldrähten oder Metallnetzen umwickelte oder belegte
Oberfläche des Festelektrolyten oder durch Aufbringen einer keramischen Oxidpulver-Suspension
mit anschließender Trocknung und Sinterung. Wird eine Leiterbahn verwendet, so ist
diese vor dem Aufbringen der Schicht durch Aufdampfen, Sputtern oder durch Chemical
Vapor Deposition (CVD) aufzubringen. Auch ist es möglich, eine Metall-Suspension streifenweise
aufzubringen und anschließend durch Trocknen und Einbrennen zu verfestigen.
[0030] Bei den vorgenannten Meßzellen sollte der Metalldraht bzw. die elektrische Leiterbahn
ein thermisches Ausdehnungsverhalten aufweisen, das zumindest ungefähr gleich ist
dem Ausdehnungsverhalten der zugeordneten Schicht. Werden jedoch Metalldrähte verwendet,
deren Dicke klein ist im Verhältnis zur Dicke der zugeordneten Schicht, so sind Unterschiede
im thermischen Ausdehnungsverhalten weit unkritischer als bei verhältnismäßig dicken
Metalldrähten. Auch sind Unterschiede des Ausdehnungsverhaltens bei großer Porosität
der Schichten und/oder bei schraubenförmig gewickelten Metalldrähten weniger kritisch.
Für Leiterbahnen gelten diese Ausführungen sinngemäß.
[0031] Die Dicke der Schichten in den Ausführungsbeispielen gemäß den Figuren 8 und 10 beträgt
jeweils etwa 0,05 bis 0,3 mm, die maximale Dicke bzw. der maximale Durchmesser der
Teilchen beträgt etwa 0,01 bis 0,08 mm, das gleiche gilt für die Körner 58-aus keramischem
Oxidmaterial. Zur.Herstellung der Schicht wird keramisches Oxidpulver zu einer Metallsuspension
oder Metallpaste gemischt und auf die Festelektrolytoberfläche aufgetragen. Nach dem
Trocknen wird die Schicht bei einer Temperatur von 900 bis 1100 Grad Celsius eingebrannt.
Es ist jedoch auch möglich, das pulverförmige Oxidmaterial und das feinkörnige metallische
Material zu mischen, ein flüssiges organisches Suspensionsmittel, z. B. Amylacetat-Nitro-Zellulose,
hinzuzufügen und entsprechend Vorstehendem aufzubringen.
[0032] Ein Teilchen gemäß Fig. 9 hat eine Größe bzw. einen Durchmesser von maximal 0,1 mm,
der meist verwendete Größenbereich liegt bei 0,02 bis 0,08 mm. Die Dicke des metallischen
Mantels 68 beträgt ungefähr 1/5 bis 1/25 der Teilchengröße. Für die Herstellung der
Teilchen gemäß Fig. 9 werden entsprechend große Körner eines keramischen Oxidpulvers
mit einer Metallsalzlösung oder einer Lösung einer metallorganischen Verbindung des
Metalls getränkt und der metallische Mantel durch anschließende thermische Zersetzung
des Salzes bzw. der metallorganischen Verbindung erzeugt.
[0033] Für das Ausführungsbeispiel gemäß Fig. 10 gelten ungefähr die Richtwerte wie sie
zu Fig. 8 angegeben wurden.
[0034] Das elektronenleitende keramische Material, das für die Herstellung der Schichten
benutzt wird, kann z. B. aus einem Material mit der Zusammensetzung La Me 0
3 bestehen, das mit Strontium, Kalzium, Barium oder Aluminium dotiert ist, wobei Me
Kobalt, Nickel, Mangan oder Chrom bedeutet. Die Zusammensetzung weiterer Schichten
dieser Art ist in der DE-PS 2 738 755 beschrieben. Für Sauerstoffmessungen enthält
der Festelektrolyt sauerstoffionenleitendes Material, z. B.,mit Kalziumoxid stabilisiertes
Zirkoniumoxid.
[0035] Die Strombelastbarkeit der Elektroden einer erfindungsgemäßen Meßzelle ist ungefähr
3 bis 5 mal so hoch wie die entsprechenden Werte einer Meßzelle mit Elektroden, die
lediglich keramisches Oxidmaterial enthalten.
[0036] Auch der elektrochemische Sauerstoffumsatz, bezogen auf einen Quadratzentimeter der
Elektrode, ist bei Meßzellen gemäß der Erfindung um etwa den Faktor 3 bis 5 erhöht
gegenüber Meßzellen mit herkömmlichen oxidischen Elektroden, selbst gegenüber Meßzellen
mit Edelmetall-Elektroden, z. B. aus Platin, weist die erfindungsgemäße Meßzelle eine
Verbesserung um etwa den Faktor 2 auf. Unter dem Begriff "elektrochemischer Sauerstoffumsatz"
versteht man die Vorgänge an und in den Elektroden während des Betriebes, insbesondere
den An- und Abtransport der Reaktanden, der durch die Porosität der Elektrode stark
beeinflußt wird. Auch gehören der Ladungsaustausch und die katalytische Wirksamkeit
zu vorgenanntem Begriff.
[0037] Der Abstand der Drähte, Leiterbahnen oder gegebenenfalls die Maschenweite der Netze
sollte in den Ausführungsbeispielen gemäß den Figuren 1 bis 7 höchstens das 200-fache,
vorzugsweise höchstens das 50-fache des Drahtdurchmessers bzw. der Dicke der Leiterbahn
ausmachen.
[0038] Elektroden die gemäß vorliegender Erfindung ausgebildet sind, werden bevorzugt bei
solchen Meßzellen verwendet, von denen während des Betriebes ein elektrischer Strom
abgeleitet oder denen ein solcher Strom zugeführt wird. Dieser elektrische Strom ist
hierbei ein Maß für die zu erfassende Gaskomponente.
[0039] Sämtliche in der Beschreibung, den Ansprüchen oder in den Zeichnungen offenbarte
Merkmale können einzeln und in beliebiger Kombination miteinander wesentliche Bedeutung
aufweisen.
1. Elektrochemische Meßzelle, insbesondere für die Bestimmung des Sauerstoffgehaltes
in Gasen, mit einem Festelektrolyten (12; 32; 52), der wenigstens eine Elektrode (14)
aufweist, die in Form mindestens einer, elektronenleitendes keramisches Oxidmaterial
enthaltenden Schicht (16, 22; 36, 42; 56, 62; 66) ausgebildet ist, dadurch gekennzeichnet,
daß in der Schicht (16, 22; 36, 42; 56, 62; 66) metallisches Material, dessen Elektronenleitfähigkeit
größer ist als die Elektronenleitfähigkeit des Oxidmaterials, mit einem die Elektronenleitfähigkeit
der Elektrode (14) in mindestens ausreichendem Maße erhöhendem Anteil enthalten ist.
2. Elektrochemische Meßzelle nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß der Anteil
des metallischen Materials ungefähr 2 bis 20%, vorzugsweise höchstens 30% und insbesondere
höchstens 50%, des Volumens der Elektrode ausfüllt..
3. Elektrochemische Meßzelle nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß das
metallische Material aus wenigstens einem in der Schicht eingebetteten Metalldraht
(20; 40) besteht (Figuren 1, 2, 4, 5, 6).
4. Elektrochemische Meßzelle nach einem der Ansprüche 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet,
daß das metallische Material aus wenigstens einer auf dem Festelektrolyten (12; 32)
angebrachten und von der Schicht (16, 22; 36, 42) überdeckten Leiterbahn (24; 44)
besteht (Fig. 3 und 7).
5. Elektrochemische Meßzelle nach Anspruch 3 oder 4, dadurch gekennzeichnet, daß der
Metalldraht (20; 40) bzw. die Leiterbahn (24; 44) sich vom Bereich der elektrischen
Anschlußstelle (18) der Elektrode bis zum anschlußfernen Bereich erstreckt (Figuren
1, 4, 5).
6. Elektrochemische Meßzelle nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß das
metallische Material aus kleinen Teilchen (60) besteht, die in der Schicht (56, 62)
eingelagert sind (Fig. 8 und 10).
7. Elektrochemische Meßzelle nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, daß die Teilchen
(60) massiv aus metallischem Material bestehen (Fig. 8).
8. Elektrochemische Meßzelle nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, daß die Teilchen
(60) einen Kern (64) aus vorzugsweise elektronenleitendem Keramikmaterial und einen
Mantel (68) aus metallischen Material aufweisen (Figuren 9 und 10).
9. Elektrochemische Meßzelle nach Anspruch 8, dadurch gekennzeichnet, daß der Mantel
(68) ein katalytisch aktives metallisches Material enthält.
10. Elektrochemische Meßzelle nach Anspruch 8 oder 9, dadurch gekennzeichnet, daß
ausschließlich Teilchen (60) mit einem Mantel (68) aus metallischem Material in der
Schicht (66) vorhanden sind (Fig. 10).
11. Elektrochemische Meßzelle nach einem der Ansprüche 1 bis 9, dadurch gekennzeichnet,
daß das metallische Material wenigstens ungefähr gleichmäßig verteilt in der Schicht
(16, 22; 36, 42; 56, 62) angeordnet ist (Fig. 1 bis 8).