(19)

(11)

EP 0 077 778 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag: 04.05.1983  Patentblatt  1983/18 (21) Anmeldenummer: 82900350.0 (22) Anmeldetag:  05.02.1982

(51) Internationale Patentklassifikation (IPC):  H01L 29/ 73( . ) H01L 29/ 06( . ) H01L 29/ 41( . ) H01L 29/ 423( . ) H01L 21/ 331( . ) H01L 29/ 40( . ) H01L 29/ 417( . ) (86) Internationale Anmeldenummer: PCT/DE1982/000022 (87) Internationale Veröffentlichungsnummer: WO 1982/003949 (11.11.1982 Gazette  1982/27)

(84) Benannte Vertragsstaaten: AT BE CH DE FR GB LI NL SE (30) Priorität: 06.05.1981 DE 19813117804 (71) Anmelder: ROBERT BOSCH GMBH D-70442 Stuttgart (DE)	(72) Erfinder: HARTMUT, Michel D-7410 Reutlingen (DE) (74) Vertreter: Witte, Alexander, Dr.-Ing., et al  Zentralabteilung Patente, Postfach 30 02 20 D-70442 Stuttgart D-70442 Stuttgart (DE)