(57) Die Kathode (4) - deren Material im wesentlichen hochschmetzendes Metall, wie W,
Mo, Ta, Nb, Re und/oder C ist - besteht aus einer feinstkristallinen, mechanisch stabilen
Trigerschicht (5), einer mit emittierendem Stoff, in der Regel aus der Scandiumgruppe,
insbesondere aus der Gruppe der Seltenerdmetalle, vorzugsweise mit Th oder dessen
Verbindungen, stark angereicherten Schichtenfolge (6) und einer thermisch stabilen
vorzugsorientierten Deckschicht (7). Sämtliche Schichten werden über die Gasphase,
z.B. durch CVD-Verfahren, auf eine je nach der gewünschten Kathodengeometrie geformte
Unterlage (1) aufgebracht. Die Unterlage (1) wird nach der Beendigung der Abscheidung
entfernt.
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