Ultraschall-Applikator und Verfahren zur Herstellung desselben

Abstract

 Die Erfindung bezieht sich auf einen Ultraschall-Applikator und auf ein Verfahren zur Herstellung desselben mit einem Schallkopf, der feingeteilte Wandlerelemente umfaßt, von denen immer mehrere durch Kontaktbleche, die in Form wenigstens eines Kammes auf den den Abstrahlflächen gegenüberliegenden Gegenflächen der Wandlerelemente plaziert sind, elektrisch zu Gruppen zusammengefaßt sind. Ziel der Erfindung ist es, einen solchen Ultraschall-Applikator dahingehend auszubilden, daß ohne Berücksichtigung allzu strenger Toleranzvorschriften dennoch eine äußerst präzise Abtrennung benachbarter Kammabschnitte, die eine Gruppe feingeteilter Wandlerelemente elektrisch zusammenfassen sollen, erreicht wird. Dieses Ziel wird erfindungsgemäß dadurch erreicht, daß der Kamm (7) aus elektrischen Kontaktblechen (8) die Form eines langgestreckten Streifens hat. Der Streifen ist mit Aussparungen (9) versehen, deren Einschnittiefe in Richtung Gegenflächen (6) der Wandlerelemente (2) geringer ist als die Gesamthöhe des Streifens. Im Bereich jeder Aussparung trägt der Streifen wenigstens einen Schlitz (12), der durch den Streifenrücken (10) hindurch bis zu einem Gruppenschlitz (14) zwsichen zwei benachbarten Wandlerelementen reicht. Auf diese Weise wird jede Gruppe (3) elektrisch zusammenkontaktiert.

Beschreibung

[0001] Die Erfindung bezieht sich auf einen Ultraschall-Applikator gemäß dem Oberbegriff des Patentanspruchs 1. Sie bezieht sich ebenfalls auf ein Verfahren zur Herstellung eines solchen Ultraschall-Applikators.

[0002] Durch die DE-OS 30 19 410 sind bereits ein Ultraschall-Applikator sowie ein Verfahren zur Herstellung desselben vorbekannt, bei dem die Wandlerelemente am Schallkopf feingeteilt sind. Jeweils mehrere Wandlerelemente sind durch einzelne Kontaktbleche je eines Kontaktblechkammes elektrisch zu Gruppen zusammengefaßt. Insgesamt sind für die Gegenflächen der Wandlerelemente zwei Kontaktblechkämm-e vorhanden, von denen der eine auf der Seite der Gegenflächen entlang der linken Kante der Wandlerelementanordnung und der andere auf den Gegenflächen entlang der rechten Kante der Wandlerelementanordnung angebracht ist. Die Kontaktbleche beider Kontaktblechkämme haben die Form von dreieckigen Kontaktfahnen aus Folienmaterial. Jede dreieckige Kontaktfahne ist entgegengesetzt zur Abstrahlrichtung des Schallkopfes leicht gebogen. Entlang den Mitten der Abstrahlflächen der Wandlerelemente verläuft ein gemeinsamer stabförmiger Rückleiter. Das Grundprinzip der Feinteilung von Wandlerelementen ist an sich in der US-PS 43 05 014 näher beschrieben. Was die Ausführungsform des Ultraschall-Applikators der DE-OS 30 19 410 betrifft, so ergibt sich der folgende wesentliche Nachteil: Gemäß dem in der DE-OS beschriebenen Herstellungsverfahren ergibt sich die Feinstruktur der einzelhen Wandlerelemente durch Sägen einer kompletten Keramikplatte mit den äußeren Abmessungen des späteren Schallkopfes. Diese Keramikplatte ist bereits mit den jeweiligen Kontaktfahnen der Kontaktkämme auf den Seiten der späteren Gegenflächen der Wandlerelemente bestückt. Das Sägen muß nun so exakt erfolgen, daß jeder Sägeschritt, der zwei benachbarte Gruppen von feingeteilten Wandlerelementen trennen soll, exakt genau dort liegt, wo sich die Basisbreiten zweier benachbarter Dreieck-Kontaktfahnen des Kontaktkammes berühren. Nur dann wird auch die Dreieck-Kontaktfahne exakt von der jeweils benachbarten getrennt und es ergibt sich eine eindeutige elektrische Kontaktzuordnung einer solchen Fahne zu einer Gruppe von Wandlerelementen. Es ist leicht einzusehen, daß ein solch präziser Sägeschritt nur unter äußerst strenger Einhaltung besonders eng gefaßter Toleranzen erfolgen muß. Damit wird jedoch der Herstellungsvorgang insgesamt sehr kompliziert und der Anfall von Ausschuß ist entsprechend hoch.

[0003] Aufgabe vorliegender Erfindung ist es, einen Ultraschall-Applikator der eingangs genannten Art dahingehend auszubilden, daß ohne Berücksichtigung allzu strenger Toleranzvorschriften dennoch eine äußerst präzise Abtrennung benachbarter Kammabschnitte, die eine Gruppe feingeteilter Wandlerelemente elektrisch zusammenfassen sollen, erreicht wird.

[0004] Die Aufgabe wird erfindungsgemäß mit den kennzeichnenden Merkmalen des Anspruchs 1 gelöst. Ein Verfahren zur Herstellung eines solchen Ultraschall-Applikators ergibt sich gemäß der Erfindung aus den Merkmalen des Anspruchs 9.

[0005] Gemäß der Erfindung ist der Kamm aus elektrischen Kon- taktblechen durch die Breite der Aussparungen entsprechend grob voratrulituriert Dies gerstattet große Toleranzen beim Sägen der Keramik. Benachbarte Kammabschnitte, die eine Gruppe feingeteilter Wandlerelemente elektrisch zusammenfassen sollen, werden auch bei Toleranzschwankungen der Sägeschritte immer äußerst präzise voneinander getrennt. Der Herstellungsvorgang wird damit insgesamt sehr viel einfacher und die Ausschußrate ist äußerst gering.

[0006] Ultraschall-Applikatoren mit vorstrukturierten Kammkontaktblechen sind an sich auch noch aus der US-PS 39 52 387 vorbekannt. Die Schallköpfe dieser Applikatoren sindaber hinsichtlich der Wandlerelemente nicht feingeteilt. Eine Gruppenkontaktierung mit der vorstehend beschriebenen Problematik ist von vornherein nicht nötig.

[0007] Vorteilhafte Ausgestaltungen der Erfindung ergeben sich aus den Unteransprüchen.-Von besonderer Bedeutung ist dabei der Anspruch 4, da hier die Toleranzbreite entsprechend der relativ großen Breite im Bereich der Größeneinschnittiefe besonders groß ist. Von Vorteil ist auch die Ausgestaltung des Unteranspruchs 6. Wegen des mittig auf den Gegenflächen der einzelnen Wandlerelemente verlaufenden Kontaktblechkammes ergeben sich optimale Symmetriebedingungen. Die Last an den einzelnen Wandlerelementen wirkt sich nicht unsymmetrisch aus und es ergeben sich sowohl für den Sendeals auch für den Empfangsfall optimale Schwingungsformen. Der Gegenstand der Erfindung erlaubt nach Anspruch 8 eine Linienlötung statt Flächenlötung. Dies ist eine besonders einfache Lötmethode, die es erlaubt, daß auch bei höheren Frequenzen relativ dicke und damit stabile Folien als Kontaktkamm eingesetzt werden können.

[0008] Weitere Vorteile und Einzelheiten der Erfindung ergeben sich aus der nachfolgenden Beschreibung eines Ausführungsbeispiels anhand der Zeichnung und in Verbindung mit den restlichen Unteransprüchen.

[0009] Es zeigen:

Figur 1 einen Ultraschall-Applikator gemäß der Erfindung,

Figur 2 ein erstes, bevorzugtes Ausführungsbeispiel für eine Kammstruktur in Ausschnittsvergrößerung,

Figur 3 ein zweites mögliches Ausführungsbeispiel für eine solche Kammstruktur,

Figur 4 eine Ausschnittsvergrößerung der Figur 2, die den Sägeplan im Detail-zeigt,

Figur 5 bis

Figur 8 eine Explosivdarstellung, die das erfindungsgemäße Herstellungsverfahren zeigt,

Figur 9 eine erste mögliche Art der Kontaktierung eines Kontaktblechkammes,

Figur 10eine zweite mögliche Art der Kontaktierung eines Kontaktblechkammes,

Figur 11 eine Modifikation der Art, in der ein Trägerkörper auf der Keramik angebracht ist.

[0010] Die Figur 1 zeigt ein feingeteiltes Einzeilen-Array 1. Dieses umfaßt eine Vielzahl von hintereinander angeordneten feingeteilten Wandlerelementen 2. Die Wandlerelemente sind elektrisch zu Gruppen 3 zusammengefaßt. Im Ausführungsbeispiel der Figur 1 umfaßt jede Gruppe 3 z.B. fünf feingeteilte Wandlerelemente 2. Die Gesamtzahl aller Gruppen entlang dem Wandler-Array beträgt z.B. 71. Jedes Wandlerelement besteht in der üblichen Weise aus einem stabförmigen Piezokeramikkörper 4, der auf der Abstrahlfläche 5 und auf der Gegenfläche 6 metallisch beschichtet ist. Die Metallschicht besteht z.B. aus aufgedampftem oder eingebranntem Silber.

[0011] Sämtliche hintereinander angeordneten feingeteilten Wandlerelemente 2 sind entlang den Mitten ihrer Gegenflächen 6 mit einem Folienkamm 7 versehen. Der Folienkamm 7 besteht in der in der Figur 1 dargestellten Weise aus Kontaktfahnen 8 mit dazwischenliegenden Aussparungen 9. Als Folienmaterial dient z.B. Ag, Cu oder eine Cu-Legierung. Die Einschnittiefe h der Aussparungen 9 ist geringer als die Gesamthöhe H des Kontaktkammes 7, wie in der Figur 2 näher dargestellt ist. Es verbleibt also an der den Gegenflächen der Wandlerelemente zugewandten Folienkante ein Streifenteil 10 mit der Höhe B. In dieses Streifenteil 10 ragen von unten Sägeschlitze 11 und 12. Die Sägeschlitze 11 stammen von der Feinzersägung der Wandlerelemente 2. Sie reichen nur teilweise von unten in das Streifenteil 10. Wie in der Figur 2 angedeutet ist, beträgt die Gesamtsägetiefe durch das Keramikmaterial hindurch bis in das Streifenteil 10 hinein t. Die Sägeschlitze 12 haben demgegenüber grössere Tiefe. Sie ragen über das Streifenteil 10 bis in den freien Bereich der Aussparungen 9 des Kammes 7.

[0012] Die längeren Schlitze 12 teilen den Kamm 7 in die einzelnen, elektrisch voneinander getrennten Kontaktfahnen 8. Die Rasterbreite R der Kontaktfahnen 8 entlang dem Kamm 7 beträgt, wie wieder in Figur 2 näher dargestellt ist, R = A. Sie entspricht damit jeweils immer der Gruppenbreite A einer Gruppe 3 von feingeteilten Wandlerelementen 2, die elektrisch zusammenkontaktiert werden sollen.

[0013] Aussparungen 9 können wie die Aussparungen des Kam- mes der Figur 3 reine Rechteckform aufweisen. Es empfiehlt sich jedoch, wie in den Figuren 1 und 2 dargestellt ist, die Aussparungen 9 an ihrem offenen oberen Ende weniger breit (Breite b) auszubilden als im Bereich der größten Einschnittiefe (Breite c). Die in der Tiefe breitere Aussparung c gestattet große Toleranzbreiten beim Sägen der Keramik. Im Ausführungsbeispiel der Figur 2 entspricht die Toleranzbreite z.B. der Breite c des unteren breitesten Aussparungsteiles. In der Figur 2 ist die Gesamttiefe der Gruppenteilungsschnitte mit T angegeben. Die Teilungsschnittbreite für die Feinteilung beträgt hingegen a. Die Sägeschlitze zur Feinteilung der Wandlerelemente im Piezomaterial sind mit 13 angedeutet. Die Sägeschlitze, die gleichzeitig die Gruppen unterteilen, sind mit 14 bezeichnet.

[0014] Im Ausführungsbeispiel der Figur 1 ist das Bauteil 15 ein Trägerkörper für die feingeteilten Wandlerelemente 2. Der Kamm 7 aus Kontaktfahnen 8 ist im Trägerkörper 15 eingebettet. Der Trägerkörper 15 besteht aus einem Material, das Ultraschallwellen gut dämpft. Z.B. kann er aus Epoxydharz mit eingebrachtem, oxidiertem Wolframpulver bestehen.

[0015] Die Kontaktfahnen 8 des Kammes 7 dienen als Heißanschlüsse. Für den Erdanschluß sind zwei Kontaktfolien 16 und 17 vorgesehen, die z.B. aus demselben Material wie der Kamm 9 bestehen und die entlang der linken und rechten unteren Kante der Reihe der Wandlerelemente 2 an den Abstrahlflächen 5 der Wandlerelemente angelötet sind. Die Metallfolien 16 und 17, die in Gegenrichtung zur Abstrahlrichtung der Ultraschall-Wandlerelemente nach oben gebogen sind, sind in Höhe der Sägespalten 13 bzw. 14 der Wandlerelemente ebenfalls geschlitzt. Die Schlitze 18 reichen jedoch nicht bis zum oberer. Falienrand; sie sind nur teilweise in die jeweilige Folie eingeschnitten. Das Bauelement 19 ist ein Anpassungskörper, mit dem das Array der Figur 1 applikationsseitig abgeschlossen ist. Dieser Anpassungskörper besteht z.B. aus Epoxydharz.

[0016] Wie in der Figur 2 dargestellt ist, wird als Grundkörper für den Kamm 7 ein Folienstreifen 20 benutzt, der zuerst in sich geschlossene fensterförmige Aussparungen 9 umfaßt. Durch Abschneiden des oberen Streifenteiles entlang der Schnittlinie S-S erhält man dann einen Kamm mit Aussparungen, die entsprechend der Figur 1 oben offen sind.

[0017] Wie schon vorstehend erwähnt, stellt das Beispiel der Figur 3 eine mögliche Alternativlösung zu jenem der Figur 2 dar, die jedoch weniger vorteilhaft ist als jene der Figur 2. Einziger Unterschied zum Ausführungsbeispiel der Figur 2 ist, daß die Aussparungen 21 im Streifen 22 Rechteckform haben.' Die Breite b' dieser rechteckförmigen Aussparungen ist also über die gesamte Einschnittiefe h' gleich. Die Toleranzbreite der in diesen Bereich fallenden Sägeschritte für Gruppen (Sägeschritte 14) ist bei dieser Art Aussparung geringer als bei jenen der Figur 2.

[0018] Die Figur 4 zeigt im Detail den Sägeplan für das Ausführungsbeispiel der Figuren 1 und 2. Die Spaltbreite der Sägeschlitze 13 und 14 beträgt s.

[0019] Die Figuren 5 bis 8 zeigen in einer Explosivdarstellung das erfindungsgemäße Herstellungsverfahren für ein Array gemäß der Figur 1.

[0020] Wir vorstehend schon erwähnt, dient als Grundkörper für die späteren feingeteilten Wandlerelemente 2 eine Keramikplatte 30 mit den äußeren Abmessungen des späteren Arrays. Die Keramikplatte 30 ist auf der Unterfläche 31 (spätere Abstrahlfläche der Wandlerelemente) und der Oberfläche 32 (spätere Gegenfläche der Wandlerelemente) mit einer dünnen Ag-Schicht versehen. Gemäß dem ersten Herstellungsschritt der Figur 5 wird auf die Keramikplatte 30 in Mittenposition der Platte ein in Längsrichtung der Platte gerichteter Folienstreifen 20 mit den geschlossenen Aussparungsfenstern 9 aufgelötet. Zum Löten dient eine Kante 33 des Streifens 20.

[0021] Die Figur 6 zeigt den zweiten Herstellungsschritt. In diesem Herstellungsschritt werden entlang der rechten und linken unteren Kanten der Keramikplatte 30 die jetzt noch nicht geschlitzten Kontaktfolien 16 und 17 aufgelötet.

[0022] Im dritten Herstellungsschritt der Figur 7 werden die Keramikplatte 30 und der Kontaktstreifen 20 mit dem Trägerkörper 15 umgossen. Die Figur 7 zeigt auch noch gleich einen vierten Herstellungsschritt, der aus dem Schneiden des Kontaktstreifens 20 entlang der Schnittlinie S-S besteht. Durch dieses Schneiden entsteht die eigentliche Kammform mit oben offenen Aussparungen 9 und den Kontaktfolien 8.

[0023] Der fünfte Herstellungsschritt besteht im Sägen der gesamten Anordnung. Dieses Sägen geschieht von der Abstrahlseite her, so wie es in der Figur 8 dargestellt ist.

[0024] Der sechste und letzte Herstellungsschritt bestehe darin, daß applikationsseitig die Anpassungsschicht 19 aufgebracht wird. Dieser letzte Herstellungsschritt ist ebenfalls in der Figur 8 angedeutet.

[0025] Selbstverständlich können einzelne Herstellungsschritte miteinander vertauscht werden. So kann beispielsweise nach dem zweiten Verfahrensschritt (dargestellt in Figur 6) die Keramikplatte 30 gleich gesägt werden. Erst dann wird der Trägerkörper 15 aufgebracht oder es wird zuerst die Anpassungsschicht 19 und dann der Trägerkörper 15 aufgebracht. Andere Vertauschungen sind ebenfalls denkbar, jedoch nicht unbedingt zweckmäßig.

[0026] In der Figur 9 ist nochmals in Vergrößerung angedeutet, wie der Folienkamm mittels Lötkante 31 auf dem Keramikkörper 30 angelötet oder auch angeschweißt werden kann. Ebensogut ist aber auch ein Anlöten oder Anschweißen ohne Kante 31 möglich, wie dies in der Figur 10 durch Löt- oder Schweißnähte 34 angedeutet ist.

[0027] Das Ausführungsbeispiel wird im nachfolgenden anhand einiger Zahlen für z.B. ein 3,5 MHz- und ein 7 MHz-Array noch näher präzisiert:

3,5 MHz-Array

[0028] Hier beträgt das Feinteilungsraster für die Wandlerele- . mente z.B. 0,308 mm bei einer Sägespaltbreite im Bereich 0,07 bis 0,1 mm. Für den Folienkamm empfiehlt sich in diesem Fall eine Rasterbreite der Kontaktfahnen von R = 1,54 mm. Die obere Breite der Aussparungen liegt bei b = 0,4 mm, die untere Breite bei c = 0,8 mm.

7 MHz-Array

[0029] Das Feinteilungsraster für die Wandlerelemente liegt bei dieser Frequenz bei z.B. 0,192 mm und derselben Sägespaltbreite. Die Rasterbreite der Kontaktfahren des Folienkammes beträgt R ₌ 0,77 mm. Die obere Breite der Aussparungen liegt bei b = 0,3 mm, die untere Breite bei c = 0,6 mm.

[0030] Das beschriebene Ausführungsbeispiel hat lediglich exemplarischen Charakter. Es gibt selbstverständlich beliebig viele Modifikationen, die in den Bereich der handwerklichen Fähigkeiten eines Fachmannes fallen und die damit alle im Schutzbereich der Erfindung liegen. Z.B. kann der Dämpfungskörper auf dem Keramikkörper auch so aufgebracht werden, daß er dessen Ränder mitumfaßt (Figur 11). Bei dieser Anordnung wird die unerwünschte rahdseitige Abstrahlung von Ultraschall-Energie verhindert. Bei Anlöten oder Anschweißen des Folienkammes mittels Kante 33 können die Aussparungen 9 zwischen den Folienfahnen 8 auch bis an die Lötkante eingeschnitten sein. Das Kammstreifenteil für die Sägeschnitte 12 (gegebenenfalls auch 11) wird dann durch die Kante 33 gebildet. Dieses modifizierte Ausführungsbeispiel benötigt nur sehr geringe Sägetiefen.

Ansprüche

1. Ultraschall-Applikator mit einem Schallkopf, der feingeteilte Wandlerelemente umfaßt, von denen immer mehrere durch Kontaktbleche, die in Form wenigstens eines Kammes auf den den Abstrahlflächen gegenüberliegenden Gegenflächen der Wandlerelemente plaziert sind, elektrisch zu Gruppen zusammengefaßt sind, dadurch gekennzeichnet , daß der Kamm (7) aus elektrischen Kontaktblechen (8) die Form eines langgestreckten Streifens (20; 22) hat, der zur Vorgabe der Kammform mit einer Vielzahl von aufeinanderfolgenden Aussparungen (9; 21) versehen ist, die auf der den Gegenflächen (6) der Wandlerelemente (1) abgewandten Streifenkante offen sind und deren Einschnittiefe (h) in den Streifen in Richtung Gegenflächen der Wandlerelemente geringer ist als die Gesamthöhe (H) des Streifens und daß der Streifen im Bereich jeder Aussparung mit wenigstens einem Schlitz (12) versehen ist, der durch den Streifenrücken (10) hindurch von der Aussparung bis zu einem Spalt (14) zwischen zwei benachbarten Wandlerelementen reicht und daß der mittlere Abstand (A) zwischen immer jeweils zwei aufeinanderfolgenden Schlitzen (12) im Streifen, die gleichzeitig in Ausnehmungen des Streifens und Zwischenräumen zwischen zwei benachbarten Wandlerelementen liegen, so gewählt ist, daß der jeweils zwischen zwei benachbarten Schlitzen liegende Streifenteil die Zahl der unter den Schlitzen liegenden feingeteilten Wandlerelemente (2) elektrisch zu einer Gruppe (3) zusammenfaßt.

2. Ultraschall-Applikator nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet , daß die aufgrund der Form der Aussparungen (9) in der Form vorgegebenen Kontaktfahnen (8) des Kammstreifens (20) ein Rastermaß (R) haben das in etwas mit der Breite (A) einer Gruppe (3) aus elektrisch zusammenkontaktierten feingeteilten Wandlerelementen (2) übereinstimmt.

3. Ultraschall-Applikator nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß die Aussparungen (21) im Streifen (22) Rechteckform aufweisen (Figur 3).

4. Ultraschall-Applikator nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet , daß die Aussparungen (9) im Streifen (20) an ihrem offenen oberen. Ende geringere Breite (b) aufweisen als jene Breite (c) im Bereich der größten Einschnitttiefe (h) (Figuren 1 und 2).

5. Ultraschall-Applikator nach einem der Ansprüche 1 bis 4, dadurch gekennzeichnet , daß jedes Streifenteil zwischen zwei durchgehenden Schlitzen (12) jeweils in Höhe der Trennspalten (13) zwischen den einzelnen.feingeteilten Wandlerelementen (2) ebenfalls mit Einschneidschlitzen (11) versehen sein kann, die jedoch von der Streifenkante, mit der der Streifen auf den Gegenflächen (6) der Wandlerelemente zu befestigen ist, nur geringfügig, auf keinen Fall jedoch bis in Höhe der Einschnittiefe der Kammaussparungen (9; 21), in das Streifenteil (10) reichen.

6. Ultraschall-Applikator nach einem der Ansprüche 1 bis 5, dadurch gekennzeichnet , daß der Kamm (7) aus Kontaktblechen (8) auf den Gegenflächen (6) der einzelnen Wandlerelemente (2) etwa entlang deren Mitten verlaufend angeordnet ist.

7. Ultraschall-Applikator nach einem der Ansprüche bis 6, dadurch gekennzeichnet, daß an den Abstrahlflächen (5) Kontaktbleche (16, 17) ebenfalls in Form eines Kammes oder in Form eines gemeinsamen durchgehenden Leitbleches oder in einer Mischform aus beiden angeordnet und ausgerichtet sind in der Weise, daß sie nach Art einer Längsverlängerung der Wandlerelemente parallel zu den Abstrahlflächen oder entgegen der Abstrahlrichtung unter vorgebbarem Winkel nach oben gebogen verlaufen.

8. Ultraschall-Applikator nach einem der Ansprüche 1 bis 7, dadurch gekennzeichnet, daß der Kamm (7) auf den Gegenflächen (6) der Wandlerelemente (2) abgekantet oder direkt stirnseitig aufgelötet ist (Figuren 9 und 10).

9. Verfahren zur Herstellung eines Ultraschall-Applikators nach einem der Ansprüche 1 bis 8, gekennzeichnet durch die folgenden Verfahrensschritte:

a) auf die Oberfläche (32) einer Keramikplatte (30), die die äußeren Abmessungen des späteren Arrays hat und die auf der Unterfläche (31) und der Oberfläche (32) mit einer dünnen Metallschicht, z.B. Ag-Schicht, versehen ist, wird ein Folienstreifen (20), der Aussparungen beinhaltet, aufgebracht (Figur 5),

b) entlang der rechten und vorzugsweise auch linken Kante der Unterfläche (31) der Keramikplatte (30) werden Streifen aus Kontaktfolien (16, 17) angebracht (Figur 6),

c) die Keramikplatte (30) wird auf der Oberfläche mit einem Trägerkörper (15) versehen, in den der Kontaktstreifen (20) teilweise eingebettet ist (Figur 7),

d) das gesamte Gebilde wird von der Unterseite der Keramikplatte (30) her feingesägt, in der Weise, daß Feinteilungssägeschritte (11, 13) für die Zerteilung innerhalb einer Gruppe weniger tief in das Gebilde hineinragen als solche Feinteilungssägeschritte (12, 14), die bis zu den Aussparungen (9) zur Zertrennung der einzelnen Gruppen reichen (Figur 8),

e) auf dem gesägten System wird applikationsseitig, d.h. auf die Abstrahlflächen (5) der feingeteilten Wandlerelemente (2), eine Anpassungsschicht (19) aufgebracht (Figur 8).

10. Verfahren nach Anspruch 9, dadurch gekennzeichnet , daß der Folienstreifen (20), der gemäß Verfahrensschritt a) auf die Keramikplatte (30). aufgebracht wird, zuerst geschlossene Aussparungsfenster (9) besitzt, wobei die einzelnen Kontaktbleche (8) mit dazwischenliegenden offenen Aussparungen (9) dadurch gewonnen werden, daß der Kontaktstreifen (20) oben entlang einer Schnittlinie (S-S) geschnitten wird.

11. Verfahren nach Anspruch 9 oder 10, dadurch gekennzeichnet , daß der Dämpfungskörper (15) auf der Keramikplatte (30) so aufgebracht ist, daß er deren Ränder mitumfaßt (Figur 11).

Zeichnung