(19)
(11) EP 0 136 317 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag:
10.04.1985  Patentblatt  1985/15

(21) Anmeldenummer: 84900947.0

(22) Anmeldetag:  27.02.1984
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC): 
G03F 1/ 00( . )
H01L 21/ 30( . )
 G03F 1/ 14( . )
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/AT1984/000010
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 1984/003571 (13.09.1984 Gazette  1984/22)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AT BE CH DE FR GB LI LU NL SE

(30) Priorität: 01.03.1983 AT 19830000717

(71) Anmelder:
  • Österreichisches Forschungszentrum Seibersdorf Ges.m.b.H.
    A-1010 Wien (AT)
  • STANGL, Günther
    A-1210 Wien (AT)
  • MITTERAUER, Johannes
    A-1160 Wien (AT)
  • SZALMASSY, Zoltan
    A-1060 Wien (AT)

(72) Erfinder:
  • STANGL, Günther
    A-1210 Wien (AT)
  • RÜDENAUER, Friedrich
    A-1210 Wien (AT)

   


(54) OPTISCH STRUKTURIERTES FILTER UND VERFAHREN ZU DESSEN HERSTELLUNG