(57) Bei einem Flachbildschirm mit Platten (3,4), die mit Nickel galvanisch verstärkte
Ti/Cu-Elektroden (9, 10, 12,13) tragen und randseitig über einen Glaslotrahmen (17)
miteinander verbunden sind, kommt es im Bereich der Elektrodendurchführungen häufig
zu Undichtigkeiten und Plattenrissen. Um diese Fehler zu vermeiden, wird folgendes
Vorgehen vorgeschlagen: Die galvanische Verstärkung wird mit einer ersten Maske (20)
vorgenommen, die nicht nur die Fläche außerhalb des gewünschten Elektrodenmusters,
sondern auch die im Rahmenbereich befindlichen Elektrodenabschnitte (Durchführungsabschnitte)
abdeckt. Nach dem Galvanisieren entfernt man die erste Maske (20), maskiert erneut
die Durchführungsabschnitte, ätzt die verbleibende Ti/Cu-Metallisierung ab und beseitigt
die zweite Maske (22). Anschließend druckt man die Glaslotmasse auf und verlötet die
Platten in üblicher Weise miteinander. Vorzugsweise bleiben die Elektroden (9,10,
12,13) nur auf einem Bruchteil ihrer gesamten Durchführungslänge unverstärkt, damit
ihr Widerstand auch im Rahmenbereich einen wohldefinierten, relativ geringen Wert
hat. Hauptanwendungsgebiet: Flachbildschirme, bei denen
Elektronen in einem Plasma erzeugt und in einem plasmafreien Raum nachbeschleunigt
werden; insbesondere für Datensicht- und Fernsehgeräte.
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