(19)
(11) EP 0 144 522 A3

(12) EUROPEAN PATENT APPLICATION

(88) Date of publication A3:
15.10.1986 Bulletin 1986/42

(43) Date of publication A2:
19.06.1985 Bulletin 1985/25

(21) Application number: 84109511

(22) Date of filing: 09.08.1984
(84) Designated Contracting States:
CH DE FR IT LI

(30) Priority: 09.09.1983 DE 3332606

(71) Applicant: Siemens Aktiengesellschaft
 ()

(72) Inventor:
  • Mägdefessel, Heinz, Ing. grad.
     ()

   


(54) Getter sorption pump having a heat accumulator for high-vacuum and gas discharge plants


(57) Die Erfindung bezieht sich auf eine Getter-Sorptionspumpe mit mindestens einem Getterkörper (3) aus nichtverdampfendem Gettermaterial und einem zugehörigen Heizelement (1). Bei dieser Getterpumpe soll eine hohe Pumpgeschwindigkeit durch eine extrem große Oberfläche auf kleinstem Raum erreicht werden. Die Erfindung sieht hierzu vor, daß das Heizelement (1) in einem Isolierrohr (2) angeordnet ist, und daß eine Vielzahl von Einzel-Getterkörpern (3) voneinander beabstandet auf dem Isolierrohr (2) angebracht ist.
Eine erfindungsgemäße Getterpumpe findet in Hochvakuum- und Gasentladungsanlagen Verwendung.






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