(19)
(11) EP 0 144 524 A3

(12) EUROPEAN PATENT APPLICATION

(88) Date of publication A3:
08.10.1986 Bulletin 1986/41

(43) Date of publication A2:
19.06.1985 Bulletin 1985/25

(21) Application number: 84109514

(22) Date of filing: 09.08.1984
(84) Designated Contracting States:
CH DE FR IT LI

(30) Priority: 09.09.1983 DE 3332608

(71) Applicant: Siemens Aktiengesellschaft
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(72) Inventors:
  • Heynisch, Hinrich, Dr. rer. nat. Dipl.-Phys.
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  • Hübner, Erwin, Dr. rer. nat.
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  • Mägdefessel, Heinz, Ing. grad.
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(54) Getter pump for high-vacuum and gas discharge plants


(57) Die Erfindung bezieht sich auf eine Getter-Pumpe für Hochvakuum- und Gasentladungsanlagen mit in einem Pumpgefäß (3) angeordneten Getterkörpern (1) aus nichtverdampfendem Gettermaterial und zugehörigen Heizelmenten (2). Mit dieser Getter- Pumpe soll die Herstellung eines Hochvakuums im Druckbereich ab 10-3 mbar und besser durch nichtverdampfende Getter ermöglicht werden. Erfindungsgemäß ist hierzu vorgesehen, daß die Heizelemente (2) parallel geschaltet sind oder mehrere Heizelemente (2) gruppenweise in Reihe geschaltet und die Gruppen entweder parallel geschaltet oder einzeln herausgeführt sind.
Die erfindungsgemäße Getter-Pumpe ist in Hochvakuum- und Gasentladungsanlagen verwendbar.






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