| (57) Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Herstellung geschichteter Vielkanalplatten
mit Dynoden aus Metall für die Verstärkung optischer Bilder oder anderer flächenhafter
Signalverteilungen mittels Sekundärelektronenvervielfachung sowie deren Verwendung
so hergestellter Vielkanalplatten. Die Aufgabe der Erfindung wird dadurch gelöst,
daß
a) zunächst eine Negativform der herzustellenden geschichteten Vielkanalplatten erzeugt
wird, in dem in eine Platte durch partielles Bestrahlen und partielles Entfernen dieses
Materials unter Ausnutzung der durch die Bestrahlung erzeugten unterschiedlichen Materialeigenschaften
senkrecht oder schräg zur Plattenoberfläche die gitterförmigen Freiräume eingearbeitet
werden, daß
b) in die gitterförmigen Freiräume der Negativform unter Verwendung der mit ihr verbundenen
Metallelektrode die Dynodenschichten galvanisch abwechselnd mit elektrisch leitenden
oder isolierenden Zwischenschichten erzeugt werden, worauf
c) die Negativform entfernt wird, und im Falle der Erzeugung elektrisch leitender
Zwischenschichten diese entfernt oder in einen elektrischen Isolator umgewandelt werden.
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