[0001] Die Erfindung betrifft einen Ultraschallwandler mit einem piezoelektrischen Wandler,
mit einer ersten Anpassungsschicht, die an den piezoelektrischen Wandler anschließt,
und mit einer zweiten Anpassungsschicht, die auf der ersten Anpassungsschicht aufgebracht
ist und im Ultraschallbetrieb einem zu untersuchenden Objekt zugewandt ist.
[0002] Ultraschallwandler der genannten Art werden verbreitet in der medizinischen Technik
angewendet, um Aufschluß über die inneren Strukturen von Geweben und Organen in einem
Patienten zu bekommen. Eine Schwierigkeit besteht dabei in der Einkopplung der Ultraschallwellen
in den Patienten.
[0003] Der piezoelektrische Wandler medizinischer Ultraschallantennen umfaßt häufig einen
Werkstoff, der eine relativ hohe akustische Impedanz aufweist. Materialien wie Keramiken
aus Blei-Zirkonat-Titanat besitzen z.B. eine akustische Impedanz von ca. 30 x 10
6 kg/m
2s. Die Haut und das Gewebe des Patienten dagegen besitzt lediglich einen akustischen
Widerstand von ca. 1,5 x 10
6 kg/m
2s. Um eine unerwünschte Reflexion an der Grenzschicht piezoelektrischer Wandler/menschliches
Gewebe weitgehend zu vermeiden, wird zwischen Wandler und Gewebe eine Anpassungsschicht
angeordnet.
[0004] Bisher wurde zur Transformation oder Anpassung der akustischen Impedanz des Keramik-Wandlers
in bzw. an die des zu untersuchenden Objekts (z. B. menschliches Gewebe mit einer
Impedanz von etwa 1,5 x 10 kg/m
2s) eine einzige Anpassungsschicht aus einem Kunststoff mit einer akustischen Impedanz
von ca. 3 x 10
6 kg/m
2s oder wenig mehr eingesetzt. Diese Anpassungsschicht hatte eine Dicke von λ /4. λ
ist dabei die Wellenlänge, die entsprechend der Nennfrequenz des Ultraschallwandlers
im Material vorliegt. Ein theoretisch günstiger Wert liegt bei 7 x 10
6 kg/m
2s, wenn man von 30 x 10
6 kg/m
2s (Keramik) auf
1,
5 x 1
06 kg/m
2s heruntertransformiert.
[0005] Diese Art der Anpassung mit einer einzigen Anpassungsschicht hat den Nachteil, daß
sie nicht ausreichend breitbandig ist. Man ist deswegen zur Erzielung hoher Eindringtiefen
und guter axialer Auflösung über einen großen Frequenzbereich hinweg bereits dazu
übergegangen, eine erste und eine zweite Anpassungsschicht mit je λ/4 Dicke vorzusehen
(vgl. Biomedizinische Technik, Band 27, Heft 7-8, 1982, S. 182-185). Die akustischen
Impedanzen dieser beiden Anpassungsschichten betragen ca. 12 x 10
6 kg/m's für die dem piezoelektrischen Ultraschallwandler zugewandte erste Anpassungsschicht
und ca.
4,2 x 10
6 kg/m
2s für die dem Gewebe oder Patienten zugewandte Anpassungsschicht. Auf diese Weise
läßt sich eine wesentlich bessere Anpassung erzielen.
[0006] Materialien für die zweite Anpassungsschicht mit einer akustischen Impedanz von etwa
4,2 x 10 kg/m's lassen sich leicht finden oder fertigen. Es können dazu gängige Kunststoffe
verwendet werden: Da die vorteilhaft einzusetzende akustische Impedanz der zweiten
(Kunststoff-) Anpassungsschicht nur wenig von der Impedanz der UltraschallWandler-Keramik
abhängt, ist die einmal gewählte Impedanz für alle PZT-Keramiken des Ultraschallwandlers
gleichermaßen geeignet.
[0007] Ein Problem hingegen ist es, Materialien für die erste Anpassungsschicht zu finden,
die eine mittlere akustische Impedanz besitzen sollte, welche wegen ihrer (theoretisch
untermauerten) Abhängigkeit von der Impedanz der gerade verwendeten Piezokeramik des
piezoelektrischen Wandlers in gewissen Grenzen frei wählbar sein sollte. Sie sollte
unter den genannten Gegebenheiten ca. 12 x 10
6 kg/m
2s betragen. Mit natürlichen Materialien läßt sich eine solche akustische Impedanz
nur schwer erreichen. So z.B. liegen Gase und Flüssigkeiten im Bereich von 0 bis
4 x 10
6 kg/m
2s. Oberhalb des letztgenannten Wertes existiert ein gewisses Loch, d.h. Materialen
mit einer solchen Impedanz gibt es praktisch nicht, und die Werte von Mineralien,
Metallen usw, liegen erst wieder zwischen 14 und ca. 100 x 10
6 kg/m's. Der hier angestrebte Bereich um ca. 12 x 10
6 kg/m
2s ist nur sehr schwer mit Hilfe von Glasverbindungen zu erreichen. So wird z.B. in
der Regel in diesem Bereich Borosilikatglas eingesetzt. Der Einsatz dieses und anderer
Gläser bringt aber eine Reihe von Nachteilen mit sich. Glas läßt sich nur zeit- und
geldaufwendig verarbeiten. Manche Gläser sind im interessierenden Impedanzbereich
zudem noch giftig; ihre Bearbeitung ist daher kritisch. Für den Hersteller solcher
Ultraschallwandler mit zwei Anpassungsschichten kommt noch eine zusätzliche Schwierigkeit
bei der Beschaffung hinzu. Sie besteht darin, daß Glashersteller nur an großem Absatz
von Glasmengen interessiert sind und wenig Initiative zeigen, Mengen in der Größenordnung
von einigen Gramm zu fertigen. Auch die Bereitschaft zur Entwicklung und Herstellung
von anderen Gläsern mit den nötigen akustischen und mechanischen Eigenschaften ist
gering.
[0008] Es wurde nun erkannt, daß gerade die erste Anpassungsschicht auf die Qualität des
Ultraschallbildes entscheidenden Einfluß nimmt.
[0009] Aufgabe der Erfindung ist es daher, für einen UltraschallWandler der eingangs genannten
Art eine erste Anpassungsschicht anzugeben, die bei der Fertigung bezÜglich ihrer
akustischen Impedanz leicht einstellbar ist und deren mechanische Eigenschaften eine
verhältnismäßig leichte Verarbeitung ermöglichen.
[0010] Diese Aufgabe wird erfindungsgemäß dadurch gelöst, daß die erste Anpassungsschicht
aus einem porösen piezokeramischen Material besteht, dessen Porosität so gewählt ist,
daß sich bei einer Schichtdicke von λ /4 eine vorgegebene akustische Impedanz mit
einem Wert zwischen dem des piezoelektrischen Wandlers und dem der zweiten Anpassungsschicht
ergibt, wobei Ä die Wellenlänge des Ultraschalls in der ersten Anpassungsschicht bei
Nennfrequenz ist.
[0011] Dadurch, daß die akustische Impedanz des keramischen Materials von seiner Porosität
abhängig ist, kann man die akustische Impedanz auf einfache Weise bei der Herstellung
beeinflussen. Je nachdem, ob die Porenmenge und/ oder die Porengröße gezielt erhöht
oder erniedrigt wird, ergibt sich eine kleinere bzw. größere akustische Impedanz.
Ein Wert im kritischen Bereich um ca. 12 x 10
6 kg/m
2s kann durch Variieren der Porosität gut eingestellt werden. Es hat sich als Vorteil
erwiesen, eine ganze Reihe von z.B. 10 porösen keramischen Anpassungsschichten herzustellen,
die den Bereich um 12 x 10
6 kg/m
2s in Feinabstufungen von z.B. 0,2 x 10
6 kg/m
2s abdecken. All diese Anpassungsschichten erhalten bezüglich ihrer akustischen Impedanz
eine Schichtdicke von X /4. Anhand von Versuchen kann dann ermittelt werden, welche
dieser gefertigten 10 Anpassungsschichten eine optimale Anpassung für den vorhandenen
piezoelektrischen Wandler ergibt.
[0012] Da das Grundmaterial für die erste Anpassungsschicht ein keramischer Werkstoff ist,
läßt sich dieser gut verarbeiten. Er läßt sich leicht drehen, fräsen, kleben und schleifen.
[0013] Eine weitere vorteilhafte Ausgestaltung der Erfindung ergibt sich, wenn die vorgegebene
akustische Impedanz der ersten Anpassungsschicht einen Gradienten aufweist, welcher
in Richtung auf den piezoelektrischen Wandler eine positive Steigung besitzt. Durch
diese Maßnahme läßt sich erreichen, daß die erste Anpassungsschicht einen kontinuierlichen
Übergang der akustischen Impedanz von ca. 30 x 10
6 kg/m
2s bis hinunter zu ca. 4 x 10
6 kg/m
1s, dem Wert der zweiten Anpassungsschicht, gewährleistet. Dadurch wird der Ultraschallwandler
in seinem Frequenzverhalten noch breitbandiger, als er ohnehin durch die Verwendung
von zwei Anpassungsschichten ist.
[0014] Weitere Vorteile und Ausgestaltungen der Erfindung ergeben sich aus den Unteransprüchen
in Verbindung mit den Zeichnungen. Es zeigen:
Fig. 1 einen piezoelektrischen Wandler mit erster erfindungsgemäßer Anpassungsschicht,
Fig. 2 eine Darstellung des Verlaufs der akustischen Impedanz in Abhängigkeit von
der Porenmenge und
Fig. 3 eine Anpassungsschicht mit kontinuierlich veränderter Porosität.
[0015] Figur 1 zeigt einen Ultraschallwandler 1, welcher insgesamt vier Schichten umfaßt:
eine Dämpfungsschicht 3, eine Schicht 5, in welche eine Anzahl piezoelektrischer Wandlerelemente
7 eingebettet ist und die nachfolgend als "piezoelektrischer Wandler" bezeichnet wird,
eine erste Anpassungsschicht 9 und eine zweite Anpassungsschicht 11. Die piezoelektrischen
Wandlerelemente 7 strahlen impulsförmige akustische Wellen 13 im Ultraschallbereich
in Richtung der ersten und zweiten Anpassungsschicht 9 bzw. 11 aus. Die akustischen
Wellen 13 sollen möglichst ungehindert in ein zu untersuchendes Objekt, in diesem
Fall in einen Patienten 15, eingekoppelt werden. Treffen die . akustischen Wellen
13 beim Übergang zum Patienten 15 auf Grenzflächen von Materialien unterschiedlicher
akustischer Impedanz, ao werden sie an diesen zum Teil reflektiert, welches einen
unerwünschten Nebeneffekt ergibt. Um dieses zu vermeiden, sind die beiden Anpassungsschichten
9, 11 vorgesehen. Die erste Anpassungssohicht 9 hat eine akustische Impedanz von ca.
12 x 10
6 kg/m's, welches einen Mittelwert darstellt zwischen der Impedanz der piezoelektrischen
Wandlerelemente 7 von ca. Z
K = 30 x 10
6 kg/m's und der Impedanz der zweiten Anpassungsschicht 11 von ca. Z
2 = 4 x 10
6 kg/m's. Die zweite Anpassungsschicht 11 wiederum liegt mit ihrem Wert Z
2 zwischen der akustischen Impedanz Z
l der ersten Anpassungsschicht 9 und der akustisehen Impedanz Z
g des Patientengewebes, die ungefähr Z
g = 1,5 x 10
6 kg/m's beträgt. Als piezoelektrisches Wandlermaterial wird hier bevorzugt eine Keramik
aus Blei-Zirkonat-Titanat verwendet. Diese hat einen relativ hohen Impedanzwert, nämlich
Z
r = 34 x 10
6 kg/m's.
[0016] Die Werte für die Anpassungsschichten 9, 11 errechnen sich näherungsweise aus den
Formeln

und

[0017] wobei Z
l die akustische Impedanz der ersten Anpassungsschicht 9, Z
2 die Impedanz der zweiten Anpassungsschicht 11, Z
K die des piezokelektrischen Wandlers 7 und Z
g die des Gewebes an der Einkoppelstelle ist.
[0018] Die erste Anpassungsschicht 9 liegt mit dem angestrebten Wert Z
l ihrer akustischen Impedanz in einem Bereich, der mit natürlichen Werkstoffen nur
schwer zu erreichen ist. Aus diesem Grund umfaßt die erste Anpassungsschicht 9 ein
Material vergleichsweise hoher Impedanz, das mit Hohlräumen oder Poren 17 versehen
ist, die das akustische Verhalten des gewählten Materials verändern, u.a. die Impedanz
herabsetzen. Vorzugsweise wird als Material für die erste Anpassungsschicht 9 eine
poröse Keramik gewählt. Sie läßt sich gut und leicht verarbeiten. Die Schichtdicke
der Anpassungsschichten 9 und 11 beträgt jeweils λ /4. λ ist dabei die Wellenlänge
des Ultraschalls in den Anpassungsschichten 9, 11. Sie entspricht der Frequenz, mit
der die piezoelektrischen Wandler 7 angeregt werden.
[0019] Es ist bei der Fertigung des Ultraschallwandlers 1 häufig von vorneherein nicht genau
anzugeben, welchen Wert die akustische Impedanz der ersten Anpassungsschicht 9 aufweisen
muß. Dieser Wert hängt unter anderem von der akustischen Impedanz Z
K der piezoelektrischen Wandlerelemente 7 selber ab, die eine gewisse Streubreite hat,
und auch von der Impedanz der zweiten Anpassungsschicht 11, die bevorzugt aus Kunststoff
besteht und in ihrem Wert auch variieren kann. Es ist deswegen wünschenswert, eine
Anzahl erster Anpassungsschichten 9 zur Verfugung zu haben, deren akustischen Impedanzen
eine Abstufung aufweisen. Es kann dann durch Versuche mit dem Ultraschallwandler 1
ermittelt werden, welche dieser Anpassungsschichten 9 geeignet ist, um in dem betreffenden
Ultraschallwandler 1 fest und endgültig eingebaut zu werden. Um diese Einstellung
und Abstufung der akustischen Impedanz Z
l zu erreichen, ist die erste Anpassungsschicht 9 mit gleichmäßig verteilten Poren
17 versehen. Die Poren 17 lassen sich bei der Herstellung in ihrer mittleren Dichte
und/oder in ihrer Größe variieren, wodurch die akustische Impedanz Z
l gezielt unterschiedliche Werte annimmt. Auf diese Weise kann ein Sortiment fein abgestufter
erster Anpassungsschichten 9 gefertigt werden, aus welchen die günstigste dann ausgewählt
wird.
[0020] Figur 2 zeigt ein Diagramm, in welchem die akustische Impedanz der ersten Anpassungsschicht
9 aufgetragen ist über dem Porenanteil oder der Porosität (in %) in der ersten Anpassungsschicht
9. Die erste Anpassungsschicht 9 besteht hier bevorzugt aus Blei-Zirkonat-Titanat-Keramik.
Auch ein anderes Material mit Werten im angestrebten Impedanzbereich kann gewählt
werden. Diagramm nach Figur 2 wird die angestrebte akustische Impedanz von etwa 12
x 10
6 kg/m
2s bei einer Porosität von ungefähr 36 % erreicht. Durch Variieren dieser Prozentzahl
im Bereich + 2 % kann der Bereich der akustischen Impedanz z. B. zwischen 11 und 13
x 10
6 kg/m
2s variiert werden. Durch kleine Änderungen in der Porosität, z.B. in der Größenordnung
von 1
%, läßt sich hier also eine Feinabstufung der akustischen Impedanz Z
l der ersten Anpassungsschicht 9 erreichen. Dies gilt im Prinzip auch für andere Materialien.
[0021] Die Frequenzkonstanten der verschiedenen in Frage kommenden komplexen Keramiksysteme
(Mischkristalle) auf der Basis von z.B. PbTi0
3 und PbZr0
3, das mit einem zweiten komplexen Oxid wie z.B. Pb(Mg
1/3 Nb
2/3)0
3 mit eventuell zusätzlichen Dotierstoffen versetzt ist, unterscheiden sich nur wenig
voneinander. Über die Einstellung der Porosität beim Herstellen kann daher für jede
Wandler Keramikmasse eine erste Anpassungsschicht 9 mit der gewünschten akustischen
Impedanz von ca. 12 x 10
6 kg/m
ls hergestellt werden.
[0022] Die zuvor genannten komplexen Keramiksysteme haben allesamt den weiteren Vorteil,
daß sie piezoelektrische Eigenschaften besitzen. Dieses ist von Bedeutung insbesondere
bezüglich der thermischen Ausdehnung der ersten Anpassungsschicht 9. Diese muß nämlich
angepaßt sein an diejenige der piezoelektrischen Wandlerelemente 7. Bestehen nun sowohl
die piezoelektrischen Wandlerelemente 7 als auch die erste Anpassungsschicht 9 aus
einem piezokeramischen Material, so liegen ihre thermischen Ausdehnungskoeffizienten
so dicht beieinander, daß sich die erste Anpassungsschicht 9 z.B. durch Zusatz von
Dotierstoffen in ihrer thermischen Ausdehnung den piezoelektrischen Wandlerelementen
7 anpassen läßt. Dadurch werden mechanische Spannungen mit Rißbildung oder gar Bruch
an der Grenzschicht verhindert. Die poröse erste Anpassungsschicht 9, die auf der
Basis eines piezoelektrischen Materials gefertigt ist, liegt in ihrem thermischen
Ausdehnungskoeffizienten etwa zwischen 1 und 10 ppm/K.
[0023] Figur 3 zeigt eine erste Anpassungsschicht 9, in welcher die Dichte der Poren 17
unterschiedlich verteilt ist. Zur zweiten Anpassungsschicht 11 hin befinden sich mehr
Poren 17 als zur oberen Seite hin, die an den piezoelektrischen Wandler 5 anschließt.
Diese unterschiedliche Porendichte, d.h. die nach oben abnehmende Porenkonzentration
und/oder -größe, bewirkt auch eine unterschiedliche akustische Impedanz, die sich
im Verlaufe der ersten Anpassungsschicht 9 von oben nach unten hin verringert (Gradient).
Es ist somit möglich, die erste Anpassungsschicht 9 so zu gestalten, daß sie an ihrer
oberen Seite, also der Grenzschicht zum piezoelektrischen Wandler 7, eine akustische
Impedanz Z
K von ca. 30 x 10 kg/m
ls aufweist und an ihrer unteren Seite, die zur zweiten Anpassungsschicht 11 weist,
eine akustische Impedanz von ca. 4 x 10
6 kg/m's besitzt. Es ist also möglich, die erste Anpassungsschicht 9 so herzustellen,
daß sich ihre akustische Impedanz Z
1 in Deckenrichtung kontinuierlich zwischen zwei gewünschten Werten ändert. Eine Anpassungsschicht
9 dieser Art mit einem Impedanzgradienten ergibt eine besonders breitbandige Anpassung.
[0024] Der Porositätsgradient kann z.B. dadurch erreicht werden, daß die Anpassungsschicht
in einem Foliengießverfahren hergestellt wird. Dem Gießschlicker wird Perlpolymerisat
zugesetzt, welches sich aufgrund der Schwerkraft entmischt. Sowohl durch die Viskosität
des Gießschlickers für die Folie der ersten Anpassungsschicht 9 als auch durch den
Verlauf der anschließenden Sinterung können unterschiedliche Gradienten eingestellt
werden.
[0025] Auch hier ist es wieder vorteilhaft, eine größere Anzahl von in ihrem Impedanzgradienten
unterschiedlichen ersten Anpassungsschichten 9 zu fertigen und hinterher durch Versuch
und Probieren zu entscheiden, welche von diesen ersten Anpassungsschichten 9 die geeignete
zum Einbau in den Ultraschallwandler 1 ist. Dieses experimentelle Auffinden der geeigneten
ersten Anpassungsschicht 9 ist deswegen angebracht, weil eine Vielzahl von Kriterien
berücksichtigt werden müssen, deren gegenseitige Einflüsse und Wechselwirkungen nur
im Versuch ermittelt werden können. So z.B. sollte für jede erste Anpassungsschicht
9 geprüft werden, wie sie sich auf die Empfindlichkeit des Ultraschallsenders oder
-empfängers, auf die Pulsform des Sendeimpulses, auf dessen Pulslänge, auf Phasensprünge
usw. auswirkt. Neben diesen Kriterien, die die Bildqualität beeinflussen, ist noch
der thermische Ausdehnungskoeffizient und die Schichtdicke der ersten Anpassungsschicht
9, die immer nur näherungsweise > /4 entsprechen kann, entscheidend.
1. Ultraschallwandler mit einem piezoelektrischen Wandler, mit einer ersten Anpassungsschicht,
die an den piezoelektrischen Wandler anschließt, und mit einer zweiten Anpassungsschicht,
die auf der ersten Anpassungsschicht aufgebracht ist und im Ultraschallbetrieb einem
zu untersuchenden Objekt zugewandt ist, dadurch gekennzeichnet , daß die erste Anpassungsschicht
(9) aus einem porösen piezokeramischen Material besteht, dessen Porosität so gewählt
ist, daß sich bei einer Schichtdicke (dl) von λ /4 eine vorgegebene akustische Impedanz
(Zl) mit einem Wert zwischen dem des piezoelektrischen Wandlers (5) und dem der zweiten
Anpassungsschicht (11) ergibt, wobei λ die Wellenlänge des Ultraschalls in der ersten
Anpassungsschicht (9) bei Nennfrequenz ist.
2. Ultraschallwandler nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet , daß das poröse Material
der ersten Anpassungsschicht (9) ein Mischkristall ist, der PbTi03 und PbZr03 enthält.
3. Ultraschallwandler nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet , daß der Mischkristall
ein weiteres komplexes Oxid enthält.
4. Ultraschallwandler nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet , daß der Mischkristall
als komplexes Oxid Pb(Mg1/3Nb2/3)O3 enthält.
5. Ultraschallwandler nach einem der Ansprüche 2 bis 4, dadurch gekennzeichnet , daß
der Mischkristall einen zusätzlichen Dotierstoff enthält.
6. Ultraschallwandler nach einem der Ansprüche 1 bis 5, dadurch gekennzeichnet , daß
die akustische Impedanz (Zl) der ersten Anpassungsschicht (9) zwischen 11 und 13 kg/m2s liegt.
7. Ultraschallwandler nach einem der Ansprüche 1 bis 6, dadurch gekennzeichnet , daß
die vorgegebene akustische Impedanz (Zl) der ersten Anpassungsschicht (9) einen Gradienten aufweist, welcher in Richtung
auf den piezoelektrischen Wandler (5) eine positive Steigung besitzt.
8. Ultraschallwandler nach einem der Ansprüche 1 bis 7, dadurch gekennzeichnet , daß
der thermische Ausdehnungskoeffizient der ersten Anpassungsschicht (9) annähernd demjenigen
des piezoelektrischen Wandlers (5) entspricht.
9. Ultraschallwandler nach einem der Ansprüche 1 bis 8, dadurch gekennzeichnet , daß
die zweite Anpassungsschicht (11) eine Dicke (d2) von λ/4 besitzt und aus einem Kunststoff
besteht.
10. Ultraschallwandler nach einem der Ansprüche 1 bis 9, dadurch gekennzeichnet ,
daß die erste und die zweite Anpassungsschicht (9, 11) zu einer gemeinsamen porösen
Anpassungsschicht zusammengefaßt sind, deren Porenverteilung einen Gradienten aufweist.