Ellipsometric device for the examination of physical surface properties of a sample

(19)

(11)

EP 0 175 142 A3

(12)	EUROPEAN PATENT APPLICATION

(88)	Date of publication A3:
	26.08.1987 Bulletin 1987/35

(43)	Date of publication A2:
	26.03.1986 Bulletin 1986/13

(21)	Application number: 85110146

(22)	Date of filing: 13.08.1985

(84)	Designated Contracting States:
	AT BE CH FR GB IT LI NL SE

(30)

Priority:

20.09.1984 DE 3434575

(71)	Applicant: SAGAX Instrument AB
	()

(72)	Inventors:
	Björk, Nils Arvid Norman () Sandström, Erland Torbjörn () Stenberg, Johan Emanuel () Stiblert, Lars Bertil ()

(54)	Ellipsometric device for the examination of physical surface properties of a sample

(57) Ein ellipsometrisches Verfahren und eine ellipsometrische Vorrichtung, bei denen zur Erhöhung der MeBgenauigkeit nach dem Prinzip der Vergleichsellipsometrie bei der Schichtdickenmessung die Referenzoberfläche in im wesentlichen zwei gleiche Flächenanteile mit zwei unterschiedlichen keilförmigen Oberflächenschichten, die zueinander parallel verlaufen, aufgeteilt ist.

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