Eine Vorrichtung zur gleichmäßigen Beaufschlagung einer planen Fläche mit einem Gas weist mehrere, schlitzförmige Öffnungen auf, die zumindest näherungsweise in einer Ebene liegen; die Längsachsen der Dusenöffnungen sind strahlenförmig angeordnet, während die Richtung der aus den schlitzförmigen Öffnungen austretenden Strömung gegen die Ebene, in der die Öffnungen liegen, geneigt ist. Dadurch läßt sich eine extrem gleichmäßige Beaufschlagung erzielen, so daß die Differenz zwischen dem maximalen und dem minimalen Wert des Wärmeübergangs-koeffizienten nur noch gering ist.