(19)
(11) EP 0 209 651 A3

(12) EUROPEAN PATENT APPLICATION

(88) Date of publication A3:
14.09.1988 Bulletin 1988/37

(43) Date of publication A2:
28.01.1987 Bulletin 1987/05

(21) Application number: 86105992

(22) Date of filing: 30.04.1986
(84) Designated Contracting States:
AT CH DE FR GB IT LI NL SE

(30) Priority: 09.07.1985 DE 3524411

(71) Applicant: KERNFORSCHUNGSZENTRUM KARLSRUHE GMBH
 ()

(72) Inventors:
  • Ehrfeld, Wolfgang, Dr.
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  • Hagmann, Peter, Dr.
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(54) Process for manufacturing spinneret plates


(57) Die Erfindung betrifft ein Verfahren zum Herstellen von Spinndüsenplatten mit trichterförmigen Vorkanälen und sich hieran anschließenden Düsenkapillaren unter Anwendung tiefenlithographischer und galvanischer Methoden. Durch die erfindungsgemäße Verwendung von mit trichterförmigen Vorkanälen versehenen metallischen Platten als Bestrehlungsmaske wird ein versatzfreier, fluchtender Übergang von den Vorkanälen zu den Düsenkapillaren erzielt, wobei als strahlungsempfindliches Material sowohl ein Negstiv-Resist als auch ein Positiv-Resist eingesetzt werden kann.






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