PROCEDE DE DEPOT D'AU MOINS UNE COUCHE D'UN COMPOSE HOMOGENE III-V OU II-VI, EN PARTICULIER Ga As ET SUBSTRAT REVETU D'UN TEL DEPOT - Patent 0218623

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EP 0 218 623 A1

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(43)	Date de publication:
	22.04.1987 Bulletin 1987/17

(21)	Numéro de dépôt: 86901916.0

(22)	Date de dépôt: 01.04.1986

(51)

Int. Cl.:

C23C 14/ 00^{( . )}
C23C 16/ 44^{( . )}
H01L 21/ 363^{( . )}

C23C 14/ 06^{( . )}
H01L 21/ 203^{( . )}

(86)	Numéro de dépôt:
	PCT/FR1986/000110

(87)	Numéro de publication internationale:
	WO 1986/006104 (23.10.1986 Gazette 1986/23)

(84)	Etats contractants désignés:
	AT BE CH DE FR GB IT LI LU NL SE

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Priorité:

18.04.1985 FR 19850006026

(71)	Demandeur: Etablissement Public dit: CENTRE NATIONAL DE LA RECHERCHE SCIENTIFIQUE (CNRS)
	F-75007 Paris (FR)

(72)	Inventeurs:
	DESPAX, Bernard F-31400 Toulouse (FR) AGUIR, Khalifa F-31400 Toulouse (FR) SEGUI, Yvan Mons F-31130 Balma (FR)

(54)	PROCEDE DE DEPOT D'AU MOINS UNE COUCHE D'UN COMPOSE HOMOGENE III-V OU II-VI, EN PARTICULIER Ga As ET SUBSTRAT REVETU D'UN TEL DEPOT