(19)

(11)

EP 0 219 536 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag: 29.04.1987  Patentblatt  1987/18 (21) Anmeldenummer: 86902820.0 (22) Anmeldetag:  17.04.1986

(51) Internationale Patentklassifikation (IPC):  C23C 4/ 06( . ) C23C 4/ 12( . ) C23C 4/ 02( . ) C23C 28/ 00( . ) (86) Internationale Anmeldenummer: PCT/EP1986/000225 (87) Internationale Veröffentlichungsnummer: WO 1986/006106 (23.10.1986 Gazette  1986/23)

(84) Benannte Vertragsstaaten: AT CH DE FR GB IT LI NL SE (30) Priorität: 17.04.1985 DE 19853513882 (71) Anmelder: Plasmainvent AG CH-6300 Zug (CH)	(72) Erfinder: GRUNER, Heiko CH-5712 Beinwil am See (CH) (74) Vertreter: Lehn, Werner, Dipl.-Ing., et al  Hoffmann, Eitle & Partner, Patentanwälte, Postfach 81 04 20 D-81904 München D-81904 München (DE)