BRÜCKE ZUR ABSOLUTMESSUNG DER KAPAZITÄT UND DES LEITWERTS VON HALBLEITERPROBEN - Patent 0221965

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EP 0 221 965 A1

(12)

(43)	Veröffentlichungstag:
	20.05.1987 Patentblatt 1987/21

(21)	Anmeldenummer: 86903202.0

(22)	Anmeldetag: 09.05.1986

(51)

Internationale Patentklassifikation (IPC):

G01R 31/ 26^{( . )}
G01R 27/ 02^{( . )}
H01L 21/ 66^{( . )}

G01R 17/ 14^{( . )}
G01R 31/ 28^{( . )}

(86)	Internationale Anmeldenummer:
	PCT/DE1986/000187

(87)	Internationale Veröffentlichungsnummer:
	WO 1986/006842 (20.11.1986 Gazette 1986/25)

(84)	Benannte Vertragsstaaten:
	AT BE CH DE FR GB IT LI LU NL SE

(30)

Priorität:

08.05.1985 DE 19853516569

(71)	Anmelder: KASSING, Rainer
	D-3500 Kassel (DE)

(72)	Erfinder:
	KASSING, Rainer D-3500 Kassel (DE)

(74)	Vertreter: Schiller, Walter, Dr., et al
	Kanzlei Münich, Steinmann, Schiller Wilhelm-Mayr-Str. 11 W-8000 München 21 W-8000 München 21 (DE)

(54)	BRÜCKE ZUR ABSOLUTMESSUNG DER KAPAZITÄT UND DES LEITWERTS VON HALBLEITERPROBEN