ENSEMBLE DESTINE A REDONNER LES CONDITIONS INITIALES DE PROPRETE DANS UN TUBE DE QUARTZ UTILISE COMME CHAMBRE DE REACTION POUR LA FABRICATION DES CIRCUITS INTEGRES

(19)

(11)

EP 0 222 777 A1

(12)

(43)	Date de publication:
	27.05.1987 Bulletin 1987/22

(21)	Numéro de dépôt: 86901424.0

(22)	Date de dépôt: 04.03.1986

(51)

Int. Cl.:

B08B 3/ 10^{( . )}
C03B 20/ 00^{( . )}
F24F 7/ 06^{( . )}
H01L 21/ 304^{( . )}

B08B 15/ 00^{( . )}
F24F 3/ 16^{( . )}
H01L 21/ 22^{( . )}

(86)	Numéro de dépôt:
	PCT/FR1986/000069

(87)	Numéro de publication internationale:
	WO 1986/005129 (12.09.1986 Gazette 1986/20)

(84)	Etats contractants désignés:
	DE GB IT NL

(30)

Priorité:

08.03.1985 FR 19850003433

(71)	Demandeur: LAMI, Philippe
	F-38240 Meylan (FR)

(72)	Inventeur:
	LAMI, Philippe F-38240 Meylan (FR)

(74)	Mandataire: Mongrédien, André
	c/o BREVATOME 25, rue de Ponthieu F-75008 Paris F-75008 Paris (FR)

(54)	ENSEMBLE DESTINE A REDONNER LES CONDITIONS INITIALES DE PROPRETE DANS UN TUBE DE QUARTZ UTILISE COMME CHAMBRE DE REACTION POUR LA FABRICATION DES CIRCUITS INTEGRES