(19) |
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(11) |
EP 0 232 920 A3 |
(12) |
EUROPEAN PATENT APPLICATION |
(88) |
Date of publication A3: |
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04.11.1987 Bulletin 1987/45 |
(43) |
Date of publication A2: |
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19.08.1987 Bulletin 1987/34 |
(22) |
Date of filing: 13.02.1987 |
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(84) |
Designated Contracting States: |
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AT BE CH DE FR GB IT LI NL |
(30) |
Priority: |
14.02.1986 DE 3604739
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(71) |
Applicant: Wacker-Chemitronic Gesellschaft für Elektronik-Grundstoffe mbH |
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() |
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(72) |
Inventors: |
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- Frank, Walter, Dipl.-Ing (FH)
()
- Palme, Gerhard
()
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(54) |
Internal hole saw with a plurality of blades for sawing of crystal bars as well as
methods executed by that saw |
(57) Es werden eine Mehrblattinnenlochsäge für das Zersägen von Kristallstäben oder -blöcken,
insbesondere Solarzellengrundmaterial auf Siliciumbasis, in dünne Scheiben sowie vermittels
dieser Säge durchgeführte Sägeverfahren angegeben. Erfindungsgemäss verfügt die Säge
über bezüglich der Lager spiegelsymmetrisch zu beiden Seiten eines gemeinsamen Antriebszylinders
angeordnete Sägeblätter. Beim Sägevorgang wird von jedem der Sägeblätter synchron
jeweils ein Werkstück zersägt.