(19)
(11) EP 0 259 418 A1

(12)

(43) Date de publication:
16.03.1988  Bulletin  1988/11

(21) Numéro de dépôt: 87901512.0

(22) Date de dépôt:  06.03.1987
(51) Int. Cl.: 
G03C 1/ 74( . )
G03F 7/ 004( . )
H01L 21/ 027( . )
 C23C 16/ 56( . )
G03F 7/ 16( . )
(86) Numéro de dépôt:
PCT/FR1987/000057
(87) Numéro de publication internationale:
WO 1987/005409 (11.09.1987 Gazette  1987/20)
(84) Etats contractants désignés:
BE DE GB IT NL

(30) Priorité: 07.03.1986 FR 19860003395

(71) Demandeur: A.S.M.- SUD EUROPE
F-34990 Juvignac (FR)

(72) Inventeurs:
  • RIBES, Michel, R.
    F-43170 Castelnau-le-Lez (FR)
  • MAURIN, Maurice, G.
    F-34000 Montpellier (FR)
  • CROS, Bernard, J.
    F-34170 Castelnau-le-Lez (FR)
  • PEYTAVIN, Serge, A.
    F-34170 Castelnau-le-Lez (FR)
  • JULIEN, Patrick, J. Résidence Le Clos des Elses
    F-34100 Montpellier (FR)
  • XINXO, Ferran
    08208 - Sabadel (ES)

(74) Mandataire: Azais, Henri, et al 
c/o CABINET BEAU DE LOMENIE "Prado-Mermoz" 232, Avenue du Prado
F-13008 Marseille
F-13008 Marseille (FR)

   


(54) PROCEDES POUR APPLIQUER SIMULTANEMENT SUR UNE PLURALITE DE PLAQUETTES DE CIRCUITS INTEGRES UNE PELLICULE PHOTOSENSIBLE D'EPAISSEUR UNIFORME EN VERRE DE SELENIURE DE GERMANIUM OU D'ARSENIC SENSIBILISE PAR UN SEL D'ARGENT