(19)

(11)

EP 0 264 403 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag: 27.04.1988  Patentblatt  1988/17 (21) Anmeldenummer: 87902412.0 (22) Anmeldetag:  29.04.1987

(51) Internationale Patentklassifikation (IPC):  H01L 41/ 09( . ) H02N 2/ 00( . ) (86) Internationale Anmeldenummer: PCT/DE1987/000190 (87) Internationale Veröffentlichungsnummer: WO 1987/006769 (05.11.1987 Gazette  1987/24)

(84) Benannte Vertragsstaaten: AT CH FR GB IT LI NL SE (30) Priorität: 02.05.1986 DE 19863614996 (71) Anmelder: ERNST LEITZ WETZLAR GMBH D-6330 Wetzlar 1 (DE)	(72) Erfinder: ANDERS, Michael D-6300 Giessen (DE) HEIDEN, Christoph D-6307 Linden (DE)