(19)
(11) EP 0 270 968 A3

(12) EUROPÄISCHE PATENTANMELDUNG

(88) Veröffentlichungstag A3:
02.08.1989  Patentblatt  1989/31

(43) Veröffentlichungstag A2:
15.06.1988  Patentblatt  1988/24

(21) Anmeldenummer: 87117658.2

(22) Anmeldetag:  28.11.1987
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC)4: G21K 7/00
(84) Benannte Vertragsstaaten:
BE CH DE FR GB IT LI NL SE

(30) Priorität: 12.12.1986 DE 3642457

(71) Anmelder:
  • Firma Carl Zeiss
    D-73446 Oberkochen (DE)

    BE CH DE FR IT LI NL SE 
  • CARL ZEISS-STIFTUNG HANDELND ALS CARL ZEISS
    D-89518 Heidenheim (Brenz) (DE)

    GB 

(72) Erfinder:
  • Schmahl, Günter, Prof. Dr.
    D-3400 Göttingen (DE)
  • Rudolph, Dietbert, Dr.
    D-3410 Nordheim 1 (DE)


(56) Entgegenhaltungen: : 
   
       


    (54) Röntgen-Mikroskop


    (57) Bei einem Röntgenmikroskop wird das Objekt (3) uber einen Kondensor (2) mit quasi monochromatischer Röntgenstrahlung (1) kohärent oder teilkohärent beleuchtet und mittels eines hochauflösenden Röntgenobjektivs (5) vergrößert in die Bildebene (6) abgebildet. Um einen möglichst hohen Bildkontrast zu erreichen ist in der Fourierebene (7) des Röntgenobjektivs ein Element (8) angeordnet, das einer vorgewählten Beugungsordnung der Strahlung eine Phasen­verschiebung erteilt. Das Element erstreckt sich über den Flächenbereich in der Fourierebene, der hier von der zu beein­flußenden abgebeugten Strahlung beaufschlagt wird.
    Die Ausnutzung der Phasenverschiebung einer vorgewählten Beu­gungsordnung der Strahlung gegenüber der unbeeinflußten Strah­lung ermöglicht es, Untersuchungen, insbesondere biologischer Strukturen mit geringer Strahlendosis durchzuführen und dennoch einen hohen Bildkontrast zu erzeugen. Außerdem wird es möglich den zu verwendeten Wellenlängenbereich der Röntgenstrahlung zu kürzeren Wellenlängen hin zu verschieben, bei denen infolge der geringen Absorption bisher Röntgenmikroskopie nicht sinnvoll möglich war.







    Recherchenbericht