(19)
(11)
EP 0 271 503 A1
(12)
(43)
Date de publication:
22.06.1988
Bulletin 1988/25
(21)
Numéro de dépôt:
87902553.0
(22)
Date de dépôt:
22.04.1987
(51)
Int. Cl.:
G03C
1/
74
( . )
B05D
1/
40
( . )
H01L
21/
027
( . )
B05C
11/
08
( . )
G03F
7/
16
( . )
(86)
Numéro de dépôt:
PCT/FR1987/000134
(87)
Numéro de publication internationale:
WO 1987/006725
(
05.11.1987
Gazette 1987/24)
(84)
Etats contractants désignés:
DE FR GB IT NL
(30)
Priorité:
22.04.1986
FR 19860005802
(71)
Demandeur:
THOMSON-CSF
F-92800 Puteaux (FR)
(72)
Inventeurs:
TONNEL, Eugène
F-38240 Meylan (FR)
PATRUNO, Paul
F-38120 Le Fontanil (FR)
(74)
Mandataire:
Guérin, Michel, et al
THOMSON-CSF SCPI B.P. 329 50, rue Jean-Pierre Timbaud
F-92402 Courbevoie Cédex
F-92402 Courbevoie Cédex (FR)
(54)
PROCEDE ET APPAREIL D'ETALEMENT DE RESINE PAR CENTRIFUGATION