(19)
(11) EP 0 271 503 A1

(12)

(43) Date de publication:
22.06.1988  Bulletin  1988/25

(21) Numéro de dépôt: 87902553.0

(22) Date de dépôt:  22.04.1987
(51) Int. Cl.: 
G03C 1/ 74( . )
B05D 1/ 40( . )
H01L 21/ 027( . )
B05C 11/ 08( . )
G03F 7/ 16( . )
(86) Numéro de dépôt:
PCT/FR1987/000134
(87) Numéro de publication internationale:
WO 1987/006725 (05.11.1987 Gazette  1987/24)
(84) Etats contractants désignés:
DE FR GB IT NL

(30) Priorité: 22.04.1986 FR 19860005802

(71) Demandeur: THOMSON-CSF
F-92800 Puteaux (FR)

(72) Inventeurs:
  • TONNEL, Eugène
    F-38240 Meylan (FR)
  • PATRUNO, Paul
    F-38120 Le Fontanil (FR)

(74) Mandataire: Guérin, Michel, et al 
THOMSON-CSF SCPI B.P. 329 50, rue Jean-Pierre Timbaud
F-92402 Courbevoie Cédex
F-92402 Courbevoie Cédex (FR)

   


(54) PROCEDE ET APPAREIL D'ETALEMENT DE RESINE PAR CENTRIFUGATION