(19)

(11)

EP 0 273 942 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag: 13.07.1988  Patentblatt  1988/28 (21) Anmeldenummer: 87904233.0 (22) Anmeldetag:  02.07.1987

(51) Internationale Patentklassifikation (IPC):  G01B 7/ 34( . ) H01L 41/ 04( . ) H01J 37/ 20( . ) H01L 41/ 09( . ) (86) Internationale Anmeldenummer: PCT/DE1987/000296 (87) Internationale Veröffentlichungsnummer: WO 1988/000399 (14.01.1988 Gazette  1988/02)

(84) Benannte Vertragsstaaten: AT CH FR GB IT LI NL SE (30) Priorität: 04.07.1986 DE 19863622557 (71) Anmelder: ERNST LEITZ WETZLAR GMBH D-6330 Wetzlar 1 (DE)	(72) Erfinder: ANDERS, Michael D-6300 Gie en (DE) HEIDEN, Christoph D-6307 Linden (DE)