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(11) | EP 0 276 731 A3 |
| (12) | EUROPÄISCHE PATENTANMELDUNG |
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| (54) | Verfahren zur Elektronenstrahl-Führung mit Energieselektion und Elektronenspektrometer |
| (57) Hohe Energieauflösung bei hohem Elektronenstrom an der Probe bzw. am Detektor erhält
man durch eine Elektronenstrahl-Führung mit fokussierender Energieselektion, insbesondere
in einem Elektronenspektrometer mit Emissionssystem und zumindest einem energiedispersiven
System mit unterschiedlicher Fokussierung in zwei zueinander senkrechten Richtungen,
durch ein dem energiedispersiven System nach- bzw. vorgeschaltetes nicht zirkular
symmetrisches Linsensystem (4-10), das die unterschiedliche Fokussierung der Elektronen
in den beiden zueinander senkrechten Richtungen derart korrigiert, daß entweder die
virtuelle oder reelle Eingangsblende des energiedispersiven Systems auf einer vorgegebenen
Bildebene außerhalb des energiedispersiven Systems oder ein Gegenstand außerhalb
des energiedispersiven Systems auf der virtuellen oder reellen Ausgangsblende desselben
abgebildet wird. |