(19)
(11) EP 0 280 892 A3

(12) EUROPÄISCHE PATENTANMELDUNG

(88) Veröffentlichungstag A3:
05.04.1989  Patentblatt  1989/14

(43) Veröffentlichungstag A2:
07.09.1988  Patentblatt  1988/36

(21) Anmeldenummer: 88101450.0

(22) Anmeldetag:  02.02.1988
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC)4F04C 29/00, F04D 27/00
(84) Benannte Vertragsstaaten:
CH DE FR GB IT LI

(30) Priorität: 28.02.1987 DE 8703108 U

(71) Anmelder: LEYBOLD AKTIENGESELLSCHAFT
D-50968 Köln (DE)

(72) Erfinder:
  • Amrath, Hans
    D-4060 Viersen 1 (DE)
  • Szöcs, Zoltan
    D-5300 Bonn 2 (DE)

(74) Vertreter: Leineweber, Jürgen, Dipl.-Phys. 
Aggerstrasse 24
50859 Köln
50859 Köln (DE)


(56) Entgegenhaltungen: : 
   
       


    (54) Vakuumpumpe mit einer Einrichtung zur Drehzahlmessung


    (57) Die Erfindung bezieht sich auf eine Vakuumpumpe mit minde­stens einem Kolben (3, 4) oder Rotor (36, 37), dessen Welle in mindestens einem Lagerschild (7, 32) gelagert ist, und mit einem Seitenraum, in den ein Stumpf der Welle hineinragt; um eine Vakuumpumpe dieser art mit einer einfachen und ro­busten Drehzahlmeßeinrichtung auszurüsten, wird vorgeschla­gen, daß der Wellenstumpf ein rotierendes Element (17) aus ferro-magnetischem Material mit peripheren Unterbrechungen (18) trägt, daß an der den Seitenraum bildenden Gehäusewand (9, 45) in Höhe der peripheren Unterbrechungen (18) des ro­tierenden Elementes (17) ein mit einem Dauermagneten ausge­rüsteter Sensor (22) gehaltert ist und daß der Sensor vom Inneren des Seitenraumes durch eine Wandung (20) aus unmag­netischem Material getrennt ist.







    Recherchenbericht