(57) Die Erfindung bezieht sich auf eine Molekularhochvakuumpumpe mit einem glockenförmigen
Rotor (5), dessen Welle über Wälzlager (12, 13) gehalten wird, die sich im Inneren
der Rotorglocke befinden, mit einem Stator (1, 6), der zusammen mit der zylindrischen
Innenfläche (10) des Rotors einerseits und zusammen mit der zylindrischen Außenfläche
(9) des Rotors andererseits je eine Molekularpumpstufe bildet, von denen zumindest
die erstere vom Holwecktyp ist, und mit einem Sauganschluß (3), der sich im Bereich
des Scheitels (4) des glokkenförmigen Rotors befindet. Erfindungsgemäß befindet sich der Vorvakuumanschluß (11) der Pumpe im Bereich des
Glockenrands des Rotors (5), und beide Pumpstufen fördern Gase zum Glockenrand hin,
d.h. sie sind nicht in Reihe geschaltet. Auf diese Weise können aggressive Gase nicht
in den Motorraum (15) mit den empfindlichen Lagern eindringen.
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