(19)
(11) EP 0 283 736 A3

(12) EUROPÄISCHE PATENTANMELDUNG

(88) Veröffentlichungstag A3:
08.03.1989  Patentblatt  1989/10

(43) Veröffentlichungstag A2:
28.09.1988  Patentblatt  1988/39

(21) Anmeldenummer: 88102562.1

(22) Anmeldetag:  22.02.1988
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC)4F04D 19/04, F04C 25/02, F04B 37/14
(84) Benannte Vertragsstaaten:
CH FR GB LI

(30) Priorität: 24.02.1987 DE 3705912

(71) Anmelder: ALCATEL HOCHVAKUUMTECHNIK GmbH
D-97861 Wertheim (DE)

(72) Erfinder:
  • Bürger, Heinz-Dieter
    D-6980 Wertheim (DE)
  • Saulgeot, Claude
    F-74290 Veyrier Du Lac (FR)

(74) Vertreter: Weinmiller, Jürgen 
Lennéstrasse 9 Postfach 24
82336 Feldafing
82336 Feldafing (DE)


(56) Entgegenhaltungen: : 
   
       


    (54) Hochvakuumpumpe mit einem glockenförmigen Rotor


    (57) Die Erfindung bezieht sich auf eine Molekularhochvakuumpumpe mit einem glockenförmigen Rotor (5), dessen Welle über Wälz­lager (12, 13) gehalten wird, die sich im Inneren der Rotor­glocke befinden, mit einem Stator (1, 6), der zusammen mit der zylindrischen Innenfläche (10) des Rotors einerseits und zusammen mit der zylindrischen Außenfläche (9) des Rotors andererseits je eine Molekularpumpstufe bildet, von denen zumindest die erstere vom Holwecktyp ist, und mit einem Saug­anschluß (3), der sich im Bereich des Scheitels (4) des glok­kenförmigen Rotors befindet.
    Erfindungsgemäß befindet sich der Vorvakuumanschluß (11) der Pumpe im Bereich des Glockenrands des Rotors (5), und beide Pumpstufen fördern Gase zum Glockenrand hin, d.h. sie sind nicht in Reihe geschaltet. Auf diese Weise können aggressive Gase nicht in den Motorraum (15) mit den empfindlichen Lagern eindringen.







    Recherchenbericht