(19)

(11)

EP 0 290 535 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag: 17.11.1988  Patentblatt  1988/46 (21) Anmeldenummer: 87907578.0 (22) Anmeldetag:  20.11.1987

(51) Internationale Patentklassifikation (IPC):  F25D 19/ 00( . ) H01L 33/ 64( . ) H01L 31/ 024( . ) H01S 5/ 024( . ) (86) Internationale Anmeldenummer: PCT/DE1987/000538 (87) Internationale Veröffentlichungsnummer: WO 1988/004107 (02.06.1988 Gazette  1988/12)

(84) Benannte Vertragsstaaten: AT BE CH DE FR GB IT LI LU NL SE (30) Priorität: 21.11.1986 DE 19863639881 18.11.1987 DE 19873739085 (71) Anmelder: FRAUNHOFER-GESELLSCHAFT ZUR FÖRDERUNG DER ANGEWANDTEN FORSCHUNG E.V. D-80636 München (DE) SIEMENS AKTIENGESELLSCHAFT D-80333 München (DE)	(72) Erfinder: RIEDEL, Wolfgang D-7844 Neuenburg (DE) WISSLER, Richard D-7800 Freiburg (DE) FICHTER, Otmar D-7806 March 2 (DE) GREGORIUS, Klaus D-8524 Neunkirchen (DE) MATTAUCH, Gerhard D-8524 Kleinsendelbach (DE) SCHÖRNER, Heinz D-8505 Röthenbach (DE) (74) Vertreter: Rackette, Karl, Dipl.-Phys. Dr.-Ing  Postfach 1310 D-79013 Freiburg D-79013 Freiburg (DE)