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(11) | EP 0 296 385 A3 |
| (12) | EUROPÄISCHE PATENTANMELDUNG |
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| (54) | Strahlerzeugendes System für Korpuskularstrahlgeräte |
| (57) Ein wesentliches Kriterium für die Beurteilung der Leistungsfähigkeit eines Korpuskularstrahlgerätes
ist der auf der Probe zur Verfügung stehende Sondenstrom i, der über die Gleichung
i = Konst. α² d² R von der Endapertur α, dem Sondendurchmesser d und dem Richtstrahlwert
R der Teilchenquelle abhängt. Den maximalen Richtstrahlwert der Quelle kann man allerdings
nur dann ausnutzen, wenn diese auf der optischen Achse des Korpuskularstrahlgerätes
angeordnet ist. Mit den üblicherweise als Teilchenquellen eingesetzten Triodensystemen
läßt sich dieser Idealzustand nur näherungsweise verwirklichen, da die Kathode im
allgemeinen nicht auf der durch die Wehnelt-Elektrode und die Anode definierten Achse
angeordnet werden kann. Es wird deshalb vorgeschlagen, die Kathode drehbar im Gehäuse
des strahlerzeugenden Systems anzuordnen. Die Drehachse liegt hierbei vorzugsweise
in einer annähernd senkrecht zur optischen Achse des Korpuskularstrahlgerätes orientierten
Ebene oberhalb der Quelle. |