......DE....FRGB..IT....NL..........................................................................*EPregister to ST.36 EBD process v 1.0 kbaumeister@epo.org (15 Jan 2013)0299037A119890118EP88901279.01988012619880914frfrfr1987000086119870126FR1989011819890319890118198903

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enMETHOD FOR PRODUCING ELECTRIC INSULATION ZONES IN A CMOS INTEGRATED CIRCUITfrPROCEDE DE FABRICATION DE ZONES D'ISOLATION ELECTRIQUE DANS UN CIRCUIT INTEGRE CMOSdeVERFAHREN ZUR HERSTELLUNG ELEKTRISCHER ISOLATIONSZONEN FÜR CMOS-INTEGRIERTE SCHALTUNGENCOMMISSARIAT A L'ENERGIE ATOMIQUE31/33, rue de la FédérationF-75015 Paris Cédex 15FRJEUCH, Pierre13, rue du ParcF-38170 SeyssinsFRLhoste, Catherine, et alBREVATOME 25, rue de PonthieuF-75008 ParisFRDEFRGBITNLFR198800004119880126frWO198800560219880728198817