Stabförmige Magnetron- bzw. Sputterkathodenanordnung, Sputterverfahren, Vorrichtung zur Durchführung des Verfahrens und rohrförmiges Target

(19)

(11)

EP 0 300 995 A3

(12)	EUROPÄISCHE PATENTANMELDUNG

(88)	Veröffentlichungstag A3:
	27.12.1990 Patentblatt 1990/52

(43)	Veröffentlichungstag A2:
	25.01.1989 Patentblatt 1989/04

(21)	Anmeldenummer: 88890192.3

(22)	Anmeldetag: 20.07.1988

(51)	Internationale Patentklassifikation (IPC)⁴: H01J 37/34, C23C 14/34

(84)	Benannte Vertragsstaaten:
	CH DE ES FR GB IT LI NL SE

(30)

Priorität:

24.07.1987 AT 1881/87
01.09.1987 AT 2193/87

(71)	Anmelder: MIBA Gleitlager Aktiengesellschaft
	A-4663 Laakirchen (AT)

(72)	Erfinder:
	Gärtner, Walter, Dipl. Ing. A-481o Gmunden (AT) Koroschetz, Franz, Dipl. Ing. Dr. A-481o Gmunden (AT) Wagendristel, Alfred, Dipl. Ing. Dr. A-238o Perchtoldsdorf (AT) Bangert, Herwig, Dipl. Ing. Dr. A-1235 Wien (AT)

(74)	Vertreter: Hübscher, Helmut, Dipl.-Ing.
	Patentanwälte Dipl.-Ing. Gerhard Hübscher Dipl.-Ing. Helmut Hübscher Dipl.-Ing. Heiner Hübscher Spittelwiese 7 4020 Linz 4020 Linz (AT)

(56)

Entgegenhaltungen: :

(54)	Stabförmige Magnetron- bzw. Sputterkathodenanordnung, Sputterverfahren, Vorrichtung zur Durchführung des Verfahrens und rohrförmiges Target

(57) Die Erfindung betrifft eine stabförmige Magnetron-Sputterkathodenanordnung mit einem innenliegenden, gekühlten Permanentmagnetsystem und einem Trägerrohr für das Target. Erfindungsgemäß ist vorgesehen, daß zwischen den aus einem oder mehreren, insbesondere austauschbar auf das Trägerrohr (36) aufgezogenen Ring(en) (37, 37′, 37˝) bestehenden Target und dem Trägerrohr (36) zumindest eine Wärmekontaktschicht (38) angeordnet ist. Während des Sputterns können die Kathode (6) und die zu besputternde Fläche einer gegenseitigen Relativbewegung in Längsrichtung der Kathode (6) unterworfen werden, wozu eine Verstelleinrichtung vorgesehen ist. Die Magnete (31) sind mit in Längsrichtung des Trägerrohres (36) alternierend entgegengesetzter Richtung ihres Magnetfeldes innerhalb des Trägerrohres (36) angeordnet. Sie besitzen zylindrische oder polygonale Mantelflächen und parallele und im Winkel (α) zur Längsrichtung der Elektrode (6) bzw. Welle (30) geneigt verlaufende Endflächen (44).

Recherchenbericht