Filterwand/-decke für reinraumtechnische Anlagen

Abstract

 Um in der Reinraumtechnik Hohlräume zwischen Filterzelle und Rahmenwerk zu vermeiden, um den Anschluß der Filterzellen an den Arbeitsbereichs des Reinraumes "stoßfrei" ausbilden zu können, wird für eine Filterwand bzw. -decke mit in ein aus Trägerprofilen (11) zusammengefügtes Rahmenwerk (10) einge­setzte Filterzellen (20), wobei jede der Filterzellen (20) mit einem umlaufenden Filterzellenrahmen (21) versehen ist und, wobei die Trägerprofile (11) des Rahmenwerks (10) im wesentlichen als T-Profile ausgebildet sind, deren Flanschen (13) als Dichtflanschen die Auflager für die Filterzellen (20) bilden und die mit Steh- bzw. Hängebolzen (16.2) fest mit Wand bzw. Decke eines Reinraumes verbindbar sind, vor­geschlagen, daß die Filterzellenrahmen (21) aus Seitenpro­filabschnitten (22) gebildet sind, die zur Aufnahme des Filterpacks (23) wannenförmige Vertiefungen (22.1) aufwei­sen und die beidseits der wannenförmigen Vertiefung (22.1) mit Fortsätzen (22.2, 22.3) versehen sind, von denen der dichtmittelseitige Profilfortsatz (21.2) mit dem zugeord­neten Dichtflansch (13) des korrespondierenden Trägerprofils (11) und der spannmittelseitige Profilfortsatz (22.3) mit Spannmitteln zusammenwirken, wobei der Überstand des dicht­mittelseitigen Profilfortsatzes (22.2) höchstens gleich der Dicke der als umlaufendes Dichtprofil (32; 33) ausgebilde­ten Dichtmittel ist, und wobei der äußere Überstand des Dichtflansches (13) mindestens der Tiefe der umlaufenden wannenförmigen Vertiefung (22.1) entspricht.

Beschreibung

[0001] Die Erfindung betrifft eine Filterwand/-decke für rein­raumtechnische Anlagen, mit in ein aus Trägerprofilen zusammengefügtes Rahmenwerk eingesetzten Filterzellen, wobei jeder der Filterzellen mit einem umlaufenden Filter­zellenrahmen versehen ist, in den jeweils ein Filter­pack mit Vergubmasse abgedichtet eingefügt ist, wobei die Trägerprofile des Rahmenwerks im wesentlichen als T-Profile ausgebildet sind, deren Flanschen als Dicht­flansche die Auflager für die Filterzellen bilden und die über an deren insbesondere als Hohlkammerprofile ausgebildeten Stegen Steh- bzw. Hängebolzen fest mit Wand bzw. Decke eines Reinraumes verbindbar sind, wobei an den Bolzen gegen diese abgestützte Spannmittel vorgesehen sind, deren freie Enden auf den Filterzellen­rahmen wirkend die Filterzellen gegen die Dichtflanschen anpressen und wobei zwischen den Dichtflanschen und den Zellenfilterrahmen Dichtmittel angeordnet sind.

[0002] In der Reinraumtechnik wird in vielen Fällen mit turbu­lenzarmer Verdrängungsströmung gearbeitet. Dabei wird der gesamte Querschnitt eines Raumes von der Luftströmung mit gleichförmiger Geschwindigkeitsverteilung durchsetzt. Unmittelbar vor Eintritt in den reinen Bereich des Rein­raumes wird die Luft in Filtern gereinigt, die in ein Rahmenwerk eingesetzt sind, das zuluftseitig den gesamten Raumquerschnitt überdeckt. Dieses Rahmenwerk kann vor eine Wand gesetzt sein, der Luftstrom durchsetzt dann den reinen Bereich als Querströmung horizontal, es kann auch unter der Decke vorgesehen sein, der Luftstrom durchsetzt dann den reinen Bereich als Fallströmung vertikal. Wesent­liche Voraussetzung für das Erreichen der für eine Fer­tigung in diesem reinen Raum notwendigen Luftqualität ist neben der entsprechenden Filterung die Gleichförmigkeit der Geschwindigkeitsverteilung. Dabei bilden die zwischen den Filterzellen liegenden Profilabschnitte des Filter­zellen tragenden Rahmenwerks ein wesentliches Problem, die Filterzellen im allgemeinen einen umlaufenden Stehflansch aufweisen, der in eine mit flüssigen oder elastischen Dichtmitteln gefüllte Rinne am Rand der Profilabschnitte eintaucht und so die Dichtheit herstellt. Bei dieser Konstruktion bildet sich eine Hohlkammer, in die Luft unkontrolliert ein- und ausströmt, wobei diese Luft aus dem Luftvorrat der strömungstoten Zone können sich nun im Arbeitsbereich des Reinraumes freigesetzte Teilchen anreichern, so daß über die dichtungsbedingte Strömungsstörung eine gewisse Wahrscheinlichkeit dafür besteht, daß störende Teilchen in den Luftstrom gelangen.

[0003] Davon ausgehend liegt der Erfindung die Aufgabe zugrun­de die Konstruktion so weiter zu bilden, daß derartige Hohlräume vermieden und der Anschluß der Filterzellen an den Arbeitsbereich des Reinraumes "stoßfrei" ausgebildet ist.

[0004] Diese Aufgabe wird durch die im Kennzeichen des Anspruchs 1 angegebenen Merkmale gelöst; vorteilhafte Weiterbil­dungen und Ausgestaltungen sind in den Unteransprüchen 2 bis 12 beschrieben.

[0005] Die Ausbildung des Filterzellenrahmens aus einzelnen Profilabschnitten mit wannenförmiger Vertiefung und beid­seits davon angeordneten Fortsätzen stellt sicher, daß das Filterpack mit Vergußmasse einwandfrei am Filter­zellenrahmen befestigt ist, so daß seitliche Leckagen vermieden werden. Die dichtmittelseitige Außenseite der rechtwinklig zum Seitenprofilabschnitt verlaufenden, die wannenförmige Vertiefung bildenden Wand bildet dabei den Gegenflansch für den Dichtflansch des Trägerprofils des Rahmenwerks. Zwischen beiden ist ein umlaufendes Dicht­profil angeordnet, entweder auf dem Dichtflansch oder auf dem den Gegenflansch bildenden Teil des Zellenrahmens. Es versteht sich von selbst, daß dieses umlaufende Dichtungsprofil dort festgelegt sein kann. Durch den dichtmittelseitigen Überstand an den Profilabschnitten des Filterzellenrahmens wird der Spalt zwischen Filter­zelle und Trägerprofilen des die Filterzelle aufnehmen­den Gitterwerks überbrückt und damit geschlossen. Da dieser Überstand höchstens gleich der Dicke des Dichtprofils sein soll, wird da­rüber hinaus sichergestellt, daß das Dichtprofil beid­seits anliegt und somit abdichtet. Ein geringfügiges Untermaß dieses Fortsatzes erlaubt ein Anpressen des Dichtprofiles, wobei die Größe des Untermaßes von der Steifigkeit bzw. der elastischen Verformbarkeit des Dich­tungsmaterials abhängt, so daß das Zusammendrücken bis zum Schließen des Spaltes eine zur Abdichtung hinreichende Ver­formung des Dichtungsprofils bewirkt.

[0006] Um die Luftzufuhr zu den einzelnen Filterzellen auch dann sicher zu stellen, wenn der Deckenraum selbst als Luftkammer benutzt werden kann, werden Lufteintritts- ­und Verteilungshauben benutzt, wobei die spannmittelsei­tigen Profilfortsätze mit Auflageleisten für diese versehen sind. Auf diese Weise gelingt es Filterzelle und Luftzuführungs- und Verteilungshaube zu einer Ein­heit zusammen zu fassen, wobei die Luftverteilungshaube einen Flansch aufweist, der mit dem Steg verschraubt wird und wobei zur besseren Abdichtung noch Verguß- oder Dichtmasse aufgebracht sein kann. Durch diese Haube ist es auch möglich innerhalb des Arbeitsbereichs des Rein­raumes unterschiedliche Klimazonen zu schaffen, oder andere lüftungstechnische Bedingungen einzuhalten, wobei die diesen Sonderbereichen zugeordneten Hauben mit dem­entsprechend besonders aufbereiteter Luft versorgt werden, die - etwa über flexible Rohre - den Luftein­trittsstutzen dieser Hauben zugeleitet wird.

[0007] Zum Anpressen der Filterzellen dienen Schraubenfedern, die auf den Steh- bzw. Hängebolzen die zur Befestigung des Rahmenwerks an der Wand bzw. der Decke des Reinraumes dienen vorgesehen sind. Die als Gewindebolzen ausge­führten Bolzen tragen eine Mutter mit Widerlagerscheibe, die einer Schraubenfeder als Widerlager dient, wobei das andere Ende der Schraubenfeder auf eine Spannbrücke wirkt, die ihrerseits auf die Stehkanten der spannmittel­seitigen Fortsätze der Filterzellen drückt. Durch diese Spannbrücke wird eine gleichmäßige Krafteinleitung in jeweils zwei nebeneinander liegende Filterzellen er­reicht, wobei diese Spannmittel auf den Schmal- und auf den Langseiten in unterschiedlicher Anzahl vorgesehen sein können im allgemeinen reichen für die Schmalseite einer Filterzelle zwei Spannelemente aus. Es versteht sich von selbst, daß für die am Rand der Filterwand/-decke angeordneten Filterzellen eine entsprechende Unterfüt­terung für die Spannbrücke vorzusehen ist, so daß die Spannbrücke auch in dieser Position beidseits ein Wider­lager findet.

[0008] Zum sauberen Einbringen der Filterzelle ist es vorteil­haft, wenn an den Stegen der Trägerprofile in Verbindung mit den Spannmitteln Führungs- und Klemmeinsätze vorge­sehen sind, deren Breite dem Abstand der Außenflächen der spannmittelseitigen Fortsätze zweier benachbarten Filterzellen entspricht. Dadurch wird ein Verkanten von vornherein vermieden und ein einwandfreies Aufsetzen des Gegenflansches zum Dichtflansch des Trägerprofils auf das umlaufende Dichtprofil (oder umgekehrt !) sicherge­stellt. Eine an den freien Enden des Führungs- und Klemm­einsatzes vorgesehene Umbiegung erleichtert das Einführen der Filterzelle, wenn der Führungs- und Klemmeinsatz als Federeinsatz aus entsprechendem Federstahl ausgebildet ist, der im Ruhezustand etwas weiter nach außen übersteht und erst beim Einsetzen der Filterzelle auf das Abstandsmaß zusammengedrückt wird.

[0009] Das umlaufende Dichtprofil kann eine Rundschnurdichtung sein, es ist jedoch auch vorteilhaft zwei im Abstand voneinander angeordnete Rundschnurdichtungen vorzusehen. Alternativ dazu kann ein U-Profil vorgesehen sein, mit zum gegenüberliegenden Flansch offenem U. In beiden letzteren Fällen ist zwischen den beiden Rundschnurdich­tungen bzw. zwischen den beiden Schenkeln des U ein um­laufender Raum, der als Prüfrille genutzt werden kann.

[0010] Derartige an sich bekannte Prüfrillen dienen zur Über­ prüfung der Dichtheit eines Dichtsitzes, wobei der Raum der umlaufenden Rille unter Über- oder Unterdruck gesetzt wird und die Veränderung des Druckes als Maß für die Un­dichtheit beobachtet wird. Eine Verbindung nach außen ermöglicht diese Drucküberwachung.

[0011] Um Beleuchtungseinrichtungen, Versorgungseinrichtungen o.dgl. im Arbeitsbereich des Reinraumes vorsehen zu können, können bei allen oder einigen Trägerprofilen des Rahmenwerks die Querschenkel des T-Profils im Bereich des Steges dichtmittelseitig einen Schlitz aufweisen, der die unterste Hohlkammer des Steges nach außen öffnet. Dadurch bildet sich eine "T-Nut", in die entsprechende, mit Gewindebolzen oder Gewindebohrungen versehene Mutter­steine eingeführt werden können zum Festschraub von Lichtleisten, Steckerleisten o.dgl.. Es versteht sich von selbst, daß derartige Anordnungen im Hinblick auf die von innen bedingten Strömungsstörungen bei der Organi­sation des Arbeitsablaufs im Arbeitsbereich des Rein­raumes berücksichtigt werden müssen. Die Strömungs­störungen können dabei minimiert werden, wenn abström­seitige Strömungsleitkörper vorgesehen sind, z.B. als Überfanghauben bei Leuchtstoffröhren. Nicht benötigte Schlitze können mit einer Abdeckung versehen sein, um zum reinen Arbeitsbereich hin offene Hohlräume zu ver­meiden. Auch hier kann der Einsatz mit einer in den Strömungsbereich weisenden Profilierung versehen sein, die dreieckförmig, oval, vorteilhaft spitz-oval ausge­bildet die Todwassergebiete der Rahmenprofile ausfüllt. Die in den Reinraumbereich hineinreichende Länge dieser Strömungsleitprofile wird dabei vorteilhaft im Bereich des Dreifachen der Basisbreite gehalten. Diese Länge ent­spricht bei den üblichen Störmungsbedinungen im reinen Raum der Länge der sich hinter den Trägerprofilen des Rahmenwerks ausbildenden Todwasserbereichs.

[0012] Das Wesen der Neuerung wird anhand der Fig. 1 bis 9 beispielhaft näher erläutert dabei zeigen

Fig. 1: Ansicht der Filterwand/-decke von der Abström­seite (Eck-Abschnitt; schematisch),

Fig. 2: Ansicht der Filterwand/-decke von der Anström­seite (Eck-Abschnitt; schematisch),

Fig. 3: Querschnitt durch Filterwand/-decke (Aus­schnitt; schematisch),

Fig. 4: Querschnitt durch Filterwand/-decke, Filter­zellen mit Lufteintritts- und Verteilhauben (Ausschnitt; schematisch),

Fig. 5: Einzelheit Filterzellenbefestigung am Träger­profil (schematisch),

Fig. 6: Einzelheit Abdichtung Filterzelle gegen Dichtflansch des Trägerprofils mit Doppel­Rundschnurdichtung,

Fig. 7: Einzelheit wie Fig. 6 jedoch mit Profil­dichtung,

Fig. 8: Einzelheit Trägerprofil mit Führungs- und Klemmeinsatz (schematisch),

Fig. 9: Einzelheit Trägerprofil mit angesetztem Strömungsleitkörper.

[0013] Die Figuren 1 und 2 zeigen einen Eckausschnitt der Decke in Aufsicht, wobei die Fig. 1 die Luftaustrittsseite als Abströmseite, und die Fig. 2 die Lufteintrittsseite als Anströmseite darstellen. Ein Rahmenwerk (10), mit der Größe der Filterzellen (20) entsprechenden Öffnungen, ist aus Abschnitten der Trägerprofile (11) gebildet, die mit Verbindungsstücken (11.1) (zweiarmig für die Eckverbinder, dreiarmig für die Randverbinder und vierarmig für innere Verbindungsstücke) zusammengefügt ist. In die so ent­standenen rechteckigen Räume sind die Filterzellen (20) eingefügt. Die Trägerprofile (11) werden als T-Profile ausgebildet, wobei vorteilhafterweise der Steg (12) (Fig. 8) der Trägerprofile mit durchgehenden Hohlkammern (12.1, 12.2 und 12.3) (Fig. 8) versehen ist und der Flansch (13) (Fig. 8) der Trägerprofile den Dichtflansch gegenüber der Filterzelle (20) bildet. Dieser Flansch (13) (Fig. 8) ist mit einem Schlitz (14) versehen, der sich in den Verbindungsstücken (11.1) fortsetzt und der zum Anhängen von Beleuchtungskörpern, Versorgungsein­richtungen für elektrischen Strom, Druckluft oder anderen Medien dient. Dazu werden mit einer Gewindebohrung oder mit einem Bolzen versehene Steine in die durch den Schlitz (14) geöffnete untere Hohlkammer (12.3) (Fig. 8) einge­führt, was sie z.B. über die Vierung der Schlitze (14) in den vierarmigen Verbindungsstücken (11.1) leicht bewerk­stelligen läßt. Das Rahmenwerk (10) ist an Steh- bzw. Hängebolzen (16) mit der das Rahmenwerk (10) tragenden Wand bzw. Decke des Reinraumes verbindbar, wobei diese Bolzen (16), die mit Spannbrücken (19) versehene Spann­vorrichtung zum dichten Einsetzen der Filterzellen (20) versehen sind. Die Spannbrücken (19) stützen sich dabei jeweils auf zwei gegenüberliegende Filterzellen (20) ab, es versteht sich von selbst, daß bei randständigen Verbindungs­brücken (19) diese Abstützung durch entsprechende Bei­lagen (19.1) hergestellt werden muß. Bei der oberen Reihe der Filterzellen (20) - die Filterzellen sind als Falten­filter dargestellt, wobei die Lage der Falten durch die paralellen Striche verdeutlicht ist - ist ihre Anström­seite frei zugängig, der Raum zwischen Filterwand/-decke und Wand bzw. Decke des Reinraumes bildet eine Druckkam­mer für die Zuluft. Bei der unteren Reihe in der Dar­stellung der Fig. 2, sind die Filterzellen mit Luftzu­führungs- und Verteilungshauben (27) versehen, die über die Stuten (28) mit einer Lüftungszentrale verbindbar sind (nicht näher dargestellt). Durch den Lufteintritts­stutzen (28) der Hauben (27) sind die Filterfalten der Filterzellen zu erkennen. Bei dieser Art der Luftzuführung können den Filterzellen unterschiedliche Luftmengen pro Zeiteinheit und/oder unterschiedlich aufbereitete Luft zugeführt werden. Die Abströmseiten der Filterzellen sind, unabhängig von der Gestaltung und der Zuluftführung auf der Zuströmseite,einheitlich frei und gestatten den Aus­tritt der Zuluft über die gesamte Filterfläche hinweg.

[0014] Die Figuren 3 und 4 zeigen einen Querschnitt durch die Filterwand/-decke im Ausschnitt, wobei Fig. 3 die Aus­bildung der Filterwand/-decke für freie Einströmung und Fig. 4 die Ausbildung der Filterwand/-decke für eine Luft­zuführung über Luftzuführungs- und Verteilungshauben ver­deutlichen. In das aus Trägerprofilen (11), mit Hilfe der Verbindungsstücke (11.1) (Fig. 1) zusammengefügte Trag­werk, nimmt die Filterzellen (20) auf, die mit Hilfe einer an den T-förmig ausgebildeten Trägerprofilen (11) vorge­sehenen Spanneinrichtung angespannt und abgedichtet werden. Die T-förmigen Trägerprofile (11) bestehen aus einem Steg (12), der als Hohlkammer-Profil ausgebildet ist und einem Flansch (13), dessen nach außen gerichtete Teile den Dichtflansch zum Abdichten der Filterzellen (20) gegen das Tragwerk bilden. An den Stegen (12) sind die Bolzen (16) (16.1 für die geschnittenen Trägerprofile, 16.2 für die dazu querlaufenden Trägerprofile) befestigt, wobei bei Ausbildung der Stege (12) als Hohlkammerprofile die einfache Befestigungsmöglichkeit dadurch gegeben ist, daß der Bolzen (16) durch ein in der Stirnwand des Steges (12) vorgesehenes Loch (15) (Fig. 8) geführt und dort mit den beiden Muttern (16.3 und 16.4) festgelegt ist. Die oberste Kammer (12.1) (Fig. 8) des Hohlkammerprofils nimmt dabei eine der beiden Muttern auf. Eine auf dem Bolzen vorgesehene Feder (17) die zwischen einer Wider­lagerplatte (18) und einer Spannbrücke (19) mit Hilfe der Mutter (18.1) gespannt werden kann, wirkt über die Spann­brücke (19) auf die hochstehenden Enden (22.3) des um­laufenden Rahmens (22) der Filterzelle (20). Die dabei auf die spannmittelseitige Fortsätze (22.3) ausgeübte Kraft überträgt sich und drückt letztendlich die Dicht­fläche (22.5) (Fig. 6) der Filterzelle (20) gegen die Dichtungen (32), die hier als Doppel-Rundschnurdichtung ausgebildet dargestellt sind. Ein Führungs- und Klemmein­satz (26) sorgt für die ordnungsgemäße Ausrichtung der eingesetzten Filterzellen (20). Die Filterzellen (20) sind aus Seitenprofil-Abschnitten (22) zusammengefügt, wobei die Seitenprofile (22) eine umlaufende wannenartige Vertiefung (22.1) (Fig. 6) aufweisen, in die das Filter­pack (23) eingesetzt und mit Vergußmasse (24) (Fig. 5) eingekittet und eingedichtet ist. Es ist dabei vorteilhafte die Vergußmasse (24) so einzustellen, daß das Filtermedium des Filterpacks (23) etwa soweit eingetaucht bzw. luftun­durchlässig ist, daß der luftdurchlässige Bereich bündig mit der spannmittelseitigen Forts tze (22.3) des Profil­abschnitts liegt (in Fig. 5 als 24.1 gestrichelt ange­deutet). Auf der Dichtungsseite befindet sich eine dicht­mittelseitige Fortsätze (22.2) die wiederum mit dem Dichtflansch (13) des Rahmenwerks zusammenwirkt. Zwischen der Dichtfläche (22.5) (Fig. 6) und der Innenseite des Dichtflansches (13) sind Dichtungen angeordnet, die als einfache Rundschnurdichtung, als doppelte Rundschnur­dichtung (32) oder als Profildichtung (33) (Fig. 7) aus­gebildet sein können. Die Kraft der Feder (17), über­tragen durch die Spannbrücke (19) und die Seitenprofil­abschnitte (22) des Zellenrahmens wirken auf diese Dich­tungen, pressen sie zusammen, wobei die Länge des dicht­mittelseitigen Überstandes (22.2) die Stärke der Dichtung und ihre Kompressilibität so aufeinander abgestimmt sind, daß der dichtmittelseitige Fortsatz (22.2) des Zellen­rahmens bei gepresster Dichtung gerade auf dem Dicht­flansch (13) des Tragwerkes (10) aufsteht. Zur Zuführung besonders aufbereiteter Luft oder unterschiedlicher Luft­ menge pro Zeiteinheit, wird die Zuströmseite der Filter­zellen (22) mit einer Haube (27) abgedeckt, der Luft über die Stutzen (28) zugeführt werden kann. Dazu erhalten die umlaufenden Seitenprofilabschnitte (22) des Zellenrahmens Auflageleisten (22.4) auf die der umlaufende Flansch der Haube (27) aufgelegt und befestigt werden kann. Die Fig.5 zeigt diese Einzelheit der Befestigung nochmals vergrößert, wobei zur Befestigung der Haube (27) eine Verschraubung mit Hilfe der Schrauben (25.1) vorgesehen ist und zur Ab­dichtung eine Auflage von Dichtmasse (25.2).

[0015] Die Figuren 6 und 7 zeigen eine weitergeführte Ausbildung der Dichtungsanordnung im Bereich des Dichtflansches (13) des aus Steg (12) und Dichtflansch (13) gebildeten Träger­profils (11) (Fig. 3). Hier ist auch ohne eingezeichnetem Filterpack (23) (Fig. 5) die wannenartige Vertiefung (22.1) zu erkennen, die in die Seitenprofile (22) des umlaufenden Zellenrahmens eingeformt ist und in die das Filterpack (23) (Fig. 5) eingelegt und mit Vergußmasse (24) (Fig. 5) in dieser Position eingekittet und abgedichtet wird. Die (in der Darstellung untere) Außenseite dieser wannen­artigen Vertiefung bildet die Gegenfläche (22.5) zum Dicht­flansch (13) und wirkt mit diesem unter Zwischenschaltung der Dichtung (32), einer doppelten Rundschnurdichtung oder (33) einer mit zwei Dichtspitzen versehenen Profil­dichtung zusammen. Durch den Druck den die Feder (17) der Spannvorrichtung auf den Zellenrahmen (22) überträgt, werden die zwei Grundschnurringe der Doppel-Rundschnur­ringdichtung (32) oder die beiden vorteilhafterweise dachförmig abgeschrägten Dichtlippen der Profildichtung (33) zusammengepresst, wodurch die Abdichtung hergestellt wird. Der Raum zwischen den beiden Dichtringen der Doppel­Rundschnurdichtung (32) bzw. zwischen den beiden Dicht­lippen der Profildichtung (33), kann vorteilhaft zur Über­prüfung des Dichtsitzes verwandt werden. Dazu wird dieser Raum unter Überdruck oder Unterdruck gesetzt und die Ver­änderung dieses Druckes überwacht. Neben dieser qualitati­ven Aussage zur Dichtheit ist auch eine quantitative Aus­sage möglich, in dem kontinuierlich Luft eingeblasen oder abgesaugt wird, so daß der sich in dem Zwischenraum ein­stellende Überdruck bzw. Unterdruck konstant gehalten wird. Die pro Zeiteinheit zugeführte bzw. abgesaugte Luft­menge ist dabei direkt ein Maß für die erreichte Dicht­heit. Für reinraumtechnische Belange ist dabei ein Ab­saugen vorzuziehen um Verunreinigungen durch aus dem Dicht­raum austretende Luft zu vermeiden. Zur Druckhaltung und Überwachung ist eine Leitung (35) vorgesehen, die über Bohrungen (34) mit dem Zwischenraum in Verbindung steht. Dies kann in einfachster Weise - wie in Fig. 6 dargestellt- ­durch den Dichtflansch (13) erfolgen. Eine andere Aus­führungsmöglichkeit ist dadurch gegeben, daß das Hohl­kammerprofil - vorteilhafterweise ein stranggepresstes Leichtmetallprofil - im Bereich des Dichtflansches (13) mit weiteren Kammern, die die Funktion der Verbindungs­leitung (35) übernehmen, versehen ist. Die Profildich­tung (33) wird dann direkt auf den Dichtflansch (13) auf­gebracht, wobei der Dichtflansch (13) um mindestens die Dicke der dichtmittelseitigen Fortsätze (22.2) über­steht. Durch diesen Überstand ist eine stossfreies An­legen des Zellenrahmens (22) mit seiner dichtmittelseiti­gen Fortsätze (22.2) an das äußere Ende des Dicht­flansches (13) gewährleistet. Vom inneren Zwischenraum der Profildichtung (33) geht die Bohrung (34) zu der als Sammelkanal (35) dienenden durchlaufenden Hohlkammer, die im Bereich der (in der Darstellung der Fig. 7 untersten) Hohlkammer (12.3) vorgesehen ist. Dabei wird die Funktion dieser Hohlkammer (12.3) nicht behindert, die in die Hohlkammer (12.3) einführbaren mit Gewindebohrungen oder mit Gewindebolzen versehenen Befestigungssteine, lassen sich nach wie vor einführen und als Befestigungselemente für untergehängte Einrichtungen benutzen.

[0016] In der Fig. 8 ist schließlich noch inmal ein Querschnitt durch das Trägerprofil mit Steg (12) und Dichtflansch (13) dargestellt, wobei die Kammer (12.1), deren Außenseite mit dem Loch (15) versehen ist, zur Aufnahme der Be­festigungsmittel für die Trägerprofile an Wand bzw. Decke eines Reinraumes dient und die Kammer (12.3), die über den Dichtflansch (13) vorgesehenen Schlitz (14) nach auben geöffnet ist, der Befestigung zusätzlicher Mittel dient. Die dazwischen angeordneten Kammern (12.2) dienen im wesentlichen der Stabilisierung, sie können jedoch auch die Verbindungsmittel zu den Anschlußarmen der Verbindungs­stücke (11.1) (Fig. 1) aufnehmen und die mit ihnen über­tragenen Zugkräfte in das Trägerprofil einleiten. Zur Positionierung der in das Tragwerk (10) (Fig. 1) einge­setzten Filterzellen (20) (Fig. 1) dienen die Führungs- ­und Klemmeinsätze (26),die ebenfalls mit einem Loch für den Steh-/Hängebolzen (16) (Fig. 5) versehen, auf diese Bolzen aufgesetzt werden und mit ihren nach außen ge­richteten Seitenteilen (26.1) die Filterzellen auf den für eine ordnungsgemäße Lage, auch im Hinblick auf die Dichtung am Dichtflansch (13) vorgesehene Position bringen. Es versteht sich von selbst, daß diese Führungs- ­und Klemmeinsätze federnd ausgebildet und vorteilhafter­weise aus Federstahl gefertigt sind, wobei zum erleichtern der Entnahme der Filterzellen die freien Enden der nach außen verweisenden Seitenteile (26.1) nach innen ge­richtete Abwinklungen (26.2) aufweisen. Die durch den Schlitz (14) zum Reinraum offene Kammer (12.3) des Steges (12) im Trägerprofil (11) (Fig. 1) wird zweckmäßiger­weise an den Stellen, an denen keine zusätzlichen Unter­bauten vorgesehen sind, mit Einsätzen verschloßen. Diese Einsätze können als Strömungsleitkörper, entsprechend Fig. 9, ausgebildet sein. Diese Ausbildung ist in der Lage, die Strömungsstörungen durch das Gitterwerk der Trägerprofile (11) (Fig. 1) des Rahmenwerks (10) (Fig.1) zu verringern und für eine Verbesserung der Homogenität der Luftverteilung Sorge zu tragen. Diese Einsätze (36) werden mit Hintergreifungsköpfen (36.1) in die Schlitze (14) eingeklipst und bilden für jede Filterzelle eine Art "Diffusor" und sorgen so für die störungsfreie Auf­weitung der Strömung. Es versteht sich von selbst, daß diese Einsätze (36) auch für Sekundäraufgaben herange­zogen werden können. Bei der Verwendung eines dichtdurch­lässigen Materials zum Herstellen dieser Einsätze (36) lassen sich Beleuchtungsmittel, vorteilhafterweise Leucht­stoffröhren, in diesen Einsätzen unterbringen, zur allge­meinen Raumbeleuchtung. Die von diesen Beleuchtungsmittel freigesetzte Wärme kann nach außen abgeführt werden durch eine Lüftung an die die Hohlprofile dieser Einsätze an­geschloßen sind.

Ansprüche

1. Filterwand/-decke für reinraumtechnische Anlagen, mit in ein aus Trägerprofilen zusammengefügtes Rahmenwerk eingesetzten Filterzellen, wobei jede der Filterzellen mit einem umlaufenden Filterzellenrahmen versehen ist, in den jeweils ein Filterpack mit Vergußmasse abge­dichtet eingefügt ist, wobei die Trägerprofile des Rahmenwerks im wesentlichen als T-Profile ausgebildet sind, deren Flanschen als Dichtflansche die Auflager für die Filterzellen bilden und die über an deren insbesondere als Hohlkammerprofile ausgebildeten Ste­gen befestigte Steh- bzw. Hängebolzen fest mit Wand bzw. Decke eines Reinraumes verbindbar sind, wobei an den Bolzen gegen diese abgestützte Spannmittel vorge­sehen sind, deren freie Enden auf den Filterzellen­rahmen wirkend die Filterzellen gegen die Dicht­flanschen anpressen und wobei zwischen den Dichtflan­schen und den Filterzellenrahmen Dichtmittel ange­ordnet sind, dadurch gekennzeichnet, daß die Filter­zellenrahmen (21) aus Seitenprofilabschnitten (22) gebildet sind, die zur Aufnahme des Filterpacks (23) wannenförmige Vertiefungen (22.1) aufweisen und die beidseits der wannenförmigen Vertiefung (22.1) mit Fortsätzen (22.2, 22.3) versehen sind, von denen der dichtmittelseitige Profilfortsatz (22.2) mit dem zuge­ordneten Dichtflansch (13) des korrespondierenden Trägerprofils (11) und der spannmittelseitige Profil­ fortsatz (22.3) mit den Spannmitteln zusammenwirken, wo­bei der Überstand des dichtmittelseitigen Profilfortsat­zes (22.2) höchstens gleich der Dicke der als umlaufen­des Dichtprofil (32: 32, 33) ausgebildeten Dichtmittel ist, und wobei der äußere Überstand des Dichtflansches (13) mindestens der Tiefe der umlaufenden wannenförmigen Vertiefung (22.1) entspricht.

2. Filterwand/-decke nach Anspruch 1, dadurch gekennzeich­net, daß die Seitenprofilabschnitte (22) mindestens eines Filterzellenrahmens (21) im Bereich der spannmittelseiti­gen Profilfortsätze (22.3) mit Auflageleisten (22.4) versehen sind und auf den Auflageleisten eine Luftver­teilungshaube (27) mit Lufteintrittsstutzen (28) aufge­legt und abgedichtet mit diesen verbunden ist, wobei die Lufteintrittsstutzen (28) jeder der mit Luftverteilungs­hauben (27) versehenen Filterzellen (20) mit einer Lüftungszentrale verbindbar sind.

3. Filterwand/-decke nach Anspruch 1 oder 2, dadurch ge­kennzeichnet, daß als Spannmittel auf den Steg- bzw. Hängebolzen (16) eine Schraubenfeder (17) angeordnet ist, deren eines Ende an einer Widerlagerscheibe (18), die mit einer Spannmutter (18.1) verstellbar ist anliegt und de­ren anderes Ende an einer Spannbrücke (19) anliegt, wobei die Spannbrücke (19) mit den Oberkanten der spannmittel­seitigen Profilfortsätze (22.3) zusammenwirken und wobei jeder Trägerprofilabschnitt (11) des Rahmenwerks (10) mindestens zwei derartige Spannmittel aufweist.

4. Filterwand/-decke nach einem der Ansprüche 1 bis 3, da­durch gekennzeichnet, daß am spannmittelseitigen Ende des Steges (12) vorzugsweise im Bereich der Befestigung der Steh- bzw. Hängebolzen (16) ein zentrierender, ein mit der /den Filterzelle/-n (20) zusammenwirkender, diese zentrierender Führungs- und Klemmeinsatz (26) angeordnet ist, wobei der Führungs- und Klemmeinsatz (26) abge­ winkelte Seitenteile (26.1) aufweist.

5. Filterwand/-decke nach Anspruch 4, dadurch gekennzeich­net, daß die abgewinkelten Seitenteile (26.1) der Führungs- und Klemmeinsätze (26) an ihren freien Enden nach innen gerichtete Umbiegungen (26.2) als Einführ­hilfen aufweist.

6. Filterwand/-decke nach einem der Ansprüche 1 bis 5, da­durch gekennzeichnet, daß das umlaufende Dichtprofil eine Rundschnurdichtung (31) ist.

7. Filterwand/-decke nach einem der Ansprüche 1 bis 5, da­durch gekennzeichnet, daß als umlaufendes Dichtprofil zwei im Abstand voneinander angeordnete Rundschnurdich­tungen (32) vorgesehen sind.

8. Filterwand/-decke nach einem der Ansprüche 1 bis 5, da­durch gekennzeichnet, daß das umlaufende Dichtprofil von einer U-förmigen Profildichtung (33) gebildet ist, wobei die U-Schenkel nach außen gerichtet und ihre freien En­den vorzugsweise dachförmig abgeschrägt sind.

9. Filterwand/-decke nach Anspruch 7 oder 8, dadurch ge­kennzeichnet,daß der Raum zwischen den beiden Rundschnur­dichtungen (32) oder zwischen den beiden freien U-Schen­keln der U-förmig ausgebildeten Profildichtung (33) eine umlaufende Prüfrille ebildet, die mit mindestens einem nach außen geführten Anschluß versehen ist.

10. Filterwand/-decke nach einem der Ansprüche 1 bis 9, da­durch gekennzeichnet, daß der Steg (12) mindestens eines der Profilabschnitte (11) des Rahmenwerks (10) dicht­mittelseitig einen Schlitz (14) aufweist, der mit der dichtmittelseitigen Hohlkammer (12.3) eine hinterschnit­tene Nut bildet, in die Gewindebolzen oder mit Gewinde­ bohrung versehene Mutternsteine als Verbinder für an­bringbare Versorgungs-, Beleuchtungs- o.dgl. Leisten einführbar sind.

11. Filterwand/-decke nach Anspruch 10, dadurch gekennzeich­net, daß Profileinsätze vorgesehen sind, die in den Schlitz (14) einsetzbar sind.

12. Filterwand/-decke nach Anspruch 11, dadurch gekenn­zeichnet, daß die Profilstücke mit einem vom Profilab­schnitt (11) abstehenden, vorzugsweise im Querschnitt ein spitzes Oval bildenden Strömungsleitkörper versehen sind, mit einer sich in Strömungsrichtung erstreckenden Tiefe von etwa dem 3-fachen seiner der Breite des Profil­abschnittes (11) entsprechenden Basisbreite.

Zeichnung