| (19) |
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(11) |
EP 0 308 636 A3 |
| (12) |
EUROPÄISCHE PATENTANMELDUNG |
| (88) |
Veröffentlichungstag A3: |
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06.12.1989 Patentblatt 1989/49 |
| (43) |
Veröffentlichungstag A2: |
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29.03.1989 Patentblatt 1989/13 |
| (22) |
Anmeldetag: 03.08.1988 |
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| (84) |
Benannte Vertragsstaaten: |
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BE CH DE ES FR GB IT LI LU NL SE |
| (30) |
Priorität: |
24.09.1987 DE 3732476
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| (71) |
Anmelder: ATOTECH Deutschland GmbH |
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D-10553 Berlin (DE) |
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| (72) |
Erfinder: |
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- Hübel, Egon
D-8501 Feucht (DE)
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| (74) |
Vertreter: Effert, Udo, Dipl.-Ing. |
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Patentanwalt
Radickestrasse 48
12489 Berlin
12489 Berlin (DE) |
| (56) |
Entgegenhaltungen: :
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| (54) |
Verfahren zur Angleichung der Teilströme in einem elektrolytischen Bad |
(57) Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Angleichung der Teilströme It in einem elektrolytischen
Bad zur Verbesserung der Schichtdickenverteilung, dadurch gekennzeichnet, daß in die
technologisch bedingten Teilstromkreise des elektrolytischen Gesamtstromkreises passive
Vorwiderstände Rvt eingebracht werden, wobei in der so gebildeten Serienschaltung
die Größe der Teilströme It von dem Vorwiderständen bestimmt wird, sowie eine Vorrichtung
unter Verwendung dieses Verfahrens.