(19)
(11) EP 0 314 726 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag:
10.05.1989  Patentblatt  1989/19

(21) Anmeldenummer: 88903918.0

(22) Anmeldetag:  04.05.1988
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC): 
H01L 21/ 306( . )
G01N 27/ 42( . )
 G01B 7/ 06( . )
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/HU1988/000030
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 1988/009053 (17.11.1988 Gazette  1988/25)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AT BE CH DE FR GB IT LI LU NL SE

(30) Priorität: 04.05.1987 HU 19870001989

(71) Anmelder: Magyar Tudományos Akadémia Müszaki Fizikai Kutato Intézete
H-1047 Budapest IV. (HU)

(72) Erfinder:
  • FERENCZI, György
    H-1124 Budapest (HU)
  • ERDEIYI, Katalin
    H-1046 Budapest (HU)
  • SOMOGYI, Mária
    H-1025 Budapest (HU)
  • FÜLE, György
    H-2119 Pécel (HU)
  • ASZODI, Gábor
    H-1124 Budapest (HU)
  • Boda, Janos
    H-1148 Budapest (HU)

(74) Vertreter: Patentanwälte Viering, Jentschura & Partner 
Postfach 22 14 43
D-80504 München
D-80504 München (DE)

   


(54) VERFAHREN UND ANLAGE ZUR SCHICHTDICKEBESTIMMUNG BEI HALBLEITER-SCHICHTKONSTRUKTIONEN