(57) Kapazitive Schallwandler sehr kleiner Bauart, insbesondere Mikrofone, bestehen aus
mindestens zwei zusammengefügten Halbleiterchips, welche eine Membraneinheit und eine
feststehende Gegenelektrodenstruktur verkörpern und mittels bekannter Methoden der
Halbleitertechnologie hergestellt werden. Durch die sehr kleine Bauart entstehen
hohe Strömungsverluste, welche zu einem hohen Rauschen und einer geringen Empfindlichkeit
und einem schlechten Frequenzgang führen.
Der Wandler nach der Erfindung weist besonders geringe Strömungsverluste auf, wodurch
die genannten Nachteile stark vermindert werden. Er ist dadurch gekennzeichnet, daß
der akustisch aktive Teil der Membraneinheit (1) mit mindestens einer Gegenelektrodenstruktur
(3), welche von der Membraneinheit durch einen Luftspalt getrennt ist, ein einem
Feldeffekttransistor vergleichbares System bildet. Die aus halbleitendem Grundmaterial
gebildete Membraneinheit umfaßt eine akustisch aktive Membranfläche (2), deren der
Gegenelektrodenstruktur zugewandte Seite (5) elektrisch leitend ist. Die Gegenelektrodenstruktur
(3) besteht aus einer aus halbleitendem Grundmaterial herausgearbeiteten durch eine
Source-Drain-Anordnung begrenzte Kanalstrecke (8), deren geometrische Breitenabmessung
in der Größenordnung von einem Zehntel der lateralen Abmessung der aktiven Membranfläche
liegt.
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